Souvenir: импринт-литография окажется готова раньше EUV?

ПредыдущаяСледующая

Как сообщает источник, результатом научно-исследовательского проекта, длившегося три года, стало создание импринт-литографического инструмента, который можно использовать для обработки полупроводниковых пластин с соблюдением норм 50-нм технологического процесса. В рамках этого же проекта планируется к 2006 году создать степпер, способный работать с 300-мм пластинами.

Самым удивительным является то, что вопреки расхожему мнению о дороговизне литографических инструментов, подтверждаемому, правда, современными оптическими литографическими устройствами, стоящими около 20 млн. долларов, импринт-литографический инструмент, созданный по проекту Souvenir, стоит менее 200 тысяч евро (около 245 тысяч долларов) в базовой версии.

В сообщении о Souvenir утверждается, что компании, участвовавшие в разработке, не исследовали этот вопрос, но источник отмечает схожесть процесса Souvenir с технологией корпорации Molecular Imprints, уже создавшей несколько разных степ- и флэш-импринт литографических продуктов. Souvenir предназначается для создания наноскопических устройств в университетах и исследовательских институтах – по словам Маркуса Бендера (Markus Bender) из Applied Micro- and Optoelectronics GmbH (Мюнхен, Германия), размеры создаваемых устройством изображений могут быть порядка 10 нм. В дальнейшем, производительность инструмента планируется увеличить до показателей, достаточных для использования их в изготовлении пробных партий полупроводниковых микросхем.

В процессе Souvenir на подложку сначала методом «печати» (отсюда и название метода — импринт) с помощью формы из мягкого полимер наносится невязкий, чувствительный к ультрафиолетовому излучению материал (специальный фоторезист). Затем фоторезист подвергается воздействию ультрафиолета, вызывающего его отвердение.

В настоящее время обработка полупроводниковой пластины происходит слишком медленно и речь о коммерческом использовании, конечно же, еще не идет. Однако, значительный прогресс в области импринт-литографии, продемонстрированный разработчиками Souvenir, означает, что этот метод литографии в будущем может составить конкуренцию EUV-литографии, шансы которой на внедрение после 2007 года для создания чипов по нормам менее 45 нм сейчас очень велики.

30 августа 2005 Г.

21:45

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Xiaomi и Microsoft договорились о стратегическом партнерстве: Сотрудничество охватит устройства, облачные вычисления и искусственный интеллект

Опубликована первая фотография смартфона Xiaomi Mi 7: Основная камера включает два модуля, расположенные в левой верхней части задней панели друг над другом4

Появились первые изображения объектива Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS: Объектив Leica DG Vario-Elmarit 50-200mm f/2.8-4.0 ASPH Power OIS предназначен для камер системы Micro Four Thirds1

Видео дня: официальная презентация Samsung Galaxy S9 утекла в Сеть до анонса: Остается лишь дождаться подтверждения цены и даты выхода34

Пользователей YouTube начали отписывать от неофициальных музыкальных каналов: И подписывать на официальные каналы исполнителей12

Apple переносит данные китайских пользователей iCloud на территорию КНР: Apple добавила, что подобные перемены вовсе не подразумевают свободный доступ со стороны правительства к пользовательским данным5

Новый флагманский смартфон LG Judy получит громкоговорители Boombox и выйдет только в июне: Что касается названия, то устройство может называться не LG G7, как следовало бы его окрестить по порядку, а LG G91

Смартфон Leagoo Power 5 получит аккумулятор «честной» емкостью 7000 мА•ч : Анонс устройства ожидается 26 февраля2

Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact: официальные изображения и новые подробности: Sony Xperia XZ2 и Xperia XZ2 Compact будут полностью рассекречены уже завтра35

iXBT TV

  • ИИ в опасности, 10 000-летние часы, Apple представляет "будущее сегодня"

  • Обзор сетевого накопителя Synology DS918+ на 4 винчестера

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

Календарь

август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс