Semicon West: ASML, Nikon и Canon готовы к внедрению иммерсионных технологий в производство

ПредыдущаяСледующая

Как мы уже сообщали на прошлой неделе, еще до начала выставки-конференции Semicon West компании ASML и Nikon сделали ряд интересных сообщений, касающихся иммерсионных литографических технологий. Но, разумеется, самое интересное произошло в ходе самой выставки – в гонке за технологическое первенство к ASML и Nikon подключилась Canon и теперь все три компании спешат выпустить на рынок иммерсионные сканеры с числовой апертурой (numerical aperture, NA), равной 1,3. Такие сканеры ожидается применять в производстве полупроводниковых микросхем по 45-нм нормам, что может начаться уже через пару лет.

Итак, напомним, что незадолго до выставки Nikon выступила с сообщением о выпуске сканера с апертурой 1,07, предназначенного для массового производства по 55-нм нормам и выпуска пробных экземпляров с соблюдением 45-нм норм.

В ходе Semicon Nikon обнародовала некоторые детали своего сканера следующего поколения. Названный S6xx, инструмент использует 193-нм источник света, двухступенчатый дизайн и многоосевую катадиоптрическую оптическую систему, числовая апертура которой достигает 1,3. Размеры обрабатываемой области составляют 26х33 мм, и предназначается S6xx для производства микросхем по нормам 45-нм и выше. Как ожидается, доступен он будет в конце 2006 – начале 2007 года.

Чуть ранее, ASML сообщила о готовящемся к выпуску XT1700i – 193-нм иммерсионного сканера с апертурой 1,20, в то же время, есть данные, что компания работает над созданием XT1900i – также 193-нм сканера, но уже со значением NA, равным 1,3. Как и XT1700i, в XT1900i будет использован «двухстадийный» (dual-stage) дизайн и одноосевая катадиоптрическая оптическая система. Как ожидается, XT1900i будет объявлен в конце 2007 года, однако, под давлением со стороны Nikon, ASML будет сжимать сроки выпуска, чтобы не опоздать «к раздаче слонов».

Canon, сохранявшая безмолвие всю прошлую неделю, на Semicon решилась выступить с сообщением о своем первом иммерсионном продукте – 193-нм сканере, выполненном по двухступенчатой архитектуре и с числовой апертурой 1,3. Названный FPA7000, инструмент будет доступен в январе 2007 года.

Любопытно, что если ASML и Nikon взяли на вооружение тактику постепенного наращивания числовой апертуры в каждом новом поколении своих иммерсионных сканеров, то Canon решила «протуннелировать» этот процесс и сразу перейти от «сухих» 193-нм технологий к иммерсии.

Что также нельзя не отметить, так это то, что всем трем разработчикам, после фиаско 157-нм технологий, понадобилось сравнительно немного времени на то, чтобы переориентироваться на иммерсию. Однако, хотя Питер Сильверман (Peter Silverman), директор направления стратегических капиталовложений Intel и доволен прогрессом в этой области, в Intel пока не спешат говорить безоговорочное «да» иммерсионным технологиям и готовы ждать «статистически значимых данных» в течение еще нескольких месяцев.

13 июля 2005 Г.

16:01

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

SoftBank стала крупнейшим инвестором Uber, приобретя около 15% акций компании: SoftBank инвестировала в Uber около 9,3 млрд долларов

За накопитель Intel Optane 800P объёмом 120 ГБ придётся отдать больше 300 долларов: SSD Intel Optane 800P получились дорогими30

Квартальная выручка IBM выросла впервые за несколько лет: IBM отчиталась за 2017 год

Nintendo Labo — уникальный интерактивный конструктор, «оживляющий» картонные творения посредством консоли Switch: Конструктор Nintendo Labo существует в виде трёх наборов18

В некоторых случаях Apple будет менять iPhone 6 Plus на iPhone 6s Plus : У Apple закончились iPhone 6 Plus для замены 18

Ноутбук Xiaomi Mi Notebook Air наконец-то оснастили четырёхъядерными процессорами Intel: Ноутбук Xiaomi Mi Notebook Air получил CPU Intel Kaby Lake Refresh22

Hynix тоже готова отгружать клиентам память GDDR6: У Hynix уже готова память GDDR617

Слабый спрос приведёт к тому, что Apple прекратит производство iPhone X сразу после выхода преемника: Минг-Чи Куо считает, что смартфоны Apple 2018 года будут успешнее текущих54

Опубликованы новые фотографии клона смартфона Samsung Galaxy S9+ : Анонс Galaxy S9 ожидается 26 февраля на MWC 201848

ОС Android 9.0 проходит под кодовым названием Android Pi: Однако часто кодовые названия Android вовсе не совпадали с финальными15

Умная АС Apple HomePod прошла сертификацию FCC и может выйти в любой момент: HomePod будет продаваться по цене 349 долларов23

iXBT TV

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс