Новая технология электронной микроскопии: ионные пучки вместо электронных

Корпорация Alis утверждает, что совершила прорыв в технологии электронной микроскопии, мало изменившейся с 1960-х годов. Разработчики компании предлагают использовать пучок ионов гелия, а не электронов, что, по их оценкам, должно будет значительно улучшить разрешающую способность сканирующих электронных микроскопов.

Преимущества использования ионных пучков заключаются, во-первых, в возможности фокусировки в пятно меньшего размера, что обуславливается меньшей скоростью взаимодействия ионов друг с другом, хотя взаимодействие обладающих большим зарядом ионов друг с другом намного больше, чем у электронов. Кроме того, утверждается, что при использовании ионных пучков требования к степени подготовки сканируемого образца гораздо слабее, чем при использовании электронных пучков.

Разработка микроскопов на пучках ионов велась в течение десяти лет, и сейчас Alis сообщает о готовности начать предоставлять коммерческие продукты. Такие микроскопы планируется использовать, в частности, в анализе качества полупроводниковых микросхем.

Сообщается, что в числе инвесторов Alis такие фирмы, как Arch Venture Partners и Kodiak Venture Partners.

Автор:

| Источник: EE Times

Все новости за сегодня

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс