Как мы уже сообщали, Lucent по поручению DARPA (Defense Advanced Research Projects Agency) начала работу над безмасочной литографией. Однако, исследователи из Университета штата Аризона утверждают, что уже продвинулись в этом направлении со своей «иммерсией в твердое тело» (в оригинале — solid immersion).
С помощью этой технологии, говорят ученые, возможно создание литографических инструментов с эквивалентной числовой апертурой 2,3-2,4 (теоретический предел — 3,4) и нанесение рисунков размером в 20 нм.
Детали своей технологии исследователи обнародуют сегодня, но уже известно, что «иммерсия в твердое тело», конечно же, не более чем метафора, обозначающая использование массива наноскопических зондов, аналогичных по принципу действия зонду атомно-силового микроскопа. Важно отметить, что новая технология позволяет наносить литографические рисунки (patterns) без необходимости применения фотомасок.