На сегодняшний день можно считать, что 193-нм литографическое оборудование является основной «рабочей лошадкой» передовых компаний-производителей полупроводниковых интегральных схем. Более того, длившаяся в течение прошлого года борьба иммерсионных технологий с применением 193-нм источников света против 157-нм литографии, как известно, закончилась безоговорочной победой иммерсии. И хотя о 157-нм продолжают говорить в контексте возможной альтернативы таким будущим литографическим технологиям, как электронно-лучевая литография и EUV, никто не мог и предположить, что получившие несколько лет назад широкое распространение, а затем перешедшие в разряд аутсайдеров 248-нм инструменты вновь окажутся востребованными индустрией.
Однако, как сообщает источник, ASML, Canon и Nikon собираются рассмотреть возможность создания 248-нм иммерсионных сканеров, с помощью которых возможно продление жизненного цикла 248-нм литографии до 70-нм норм. Дело в том, что 248-нм литографическое оборудование на данный момент практически выработало свой ресурс масштабирования и не может быть использовано для выпуска чипов по нормам менее 0,13-мкм. Если, конечно же, не пойти на ухищрения, а то, в каком направлении можно развиваться, убедительно указывает успех иммерсионных технологий в 193-нм литографии.
Сообщается, что ASML, Canon и Nikon не собираются выпускать 248-нм литографические сканеры на рынок. Однако ситуация, в которой компании не захотели бы извлечь выгоду, маловероятна, так что скорее всего, производители литографического оборудования смогут заняться модернизацией производственных линий своих клиентов. Опять-таки, не всех, а лишь тех, кого не смогут убедить приобрести более новые 193-нм устройства.
К тому же, нельзя сказать, что 248-нм литография совсем умерла – за водопадом сообщений о 193 и 157-нм технологиях сообщение о том, что 248-нм сканеры пытаются переделать под 100-нм нормы с использованием технологий улучшения ращрешающей способности RET (resolution enhancement techniques) и без всякой иммерсии, осталось без внимания. Что ж, пока трудно сказать, не является ли разработка иммерсионных 248-нм технологий лишь данью моде – все решит экономическая целесообразность.