По следам IEDM: high-k будут запущены в коммерческое использование к 2007

ПредыдущаяСледующая

Пока AMD рассказывала о своих успехах в применении диэлектрических пленок с небольшой диэлектрической проницаемостью (low-k), на прошедшем на прошлой неделе форуме IEDM (International Electron Devices Meeting) обсуждались также перспективы использования пленок с высокой диэлектрической проницаемостью (high-k). Наблюдавшийся в прошлом году пессимизм, похоже, сменился уверенностью в том, что технологии с использованием high-k оксидов будут разработаны и освоены к 2007 году (к началу внедрения 45-нм норм).

По мнению некоторых участников конференции, рост интереса к high-k пленкам начался после того, как в начале ноября Intel сообщила о выборе типов диэлектрической пленки и металлов для изготовления транзисторных контактов, которые могут быть использованы на 45-нм нормах.

Основной проблемой с использованием high-k пленок считаются возможное снижение подвижности носителей заряда и смещение порогового напряжения, что в сумме может привести к увеличению тока утечки. На один из возможных механизмов снижения подвижности носителей заряда, вызванное генерацией «мягких» фононов, связанных с электронами в канале проводимости, указал в прошлом году Макс Фишетти (Max Fischetti) из IBM T.J. Watson Research Center, предсказав также значительное снижение тока утечки. Этот механизм был подтвержден исследовательской командой Intel, которой удалось снизить обнаруженное IBM рассеяние фононов использованием затвора, состоящего из слоя нитрида титана поверх оксида гафния. Частично бороться с снижением подвижности носителей заряда также помогают технологии «напряженного кремния» (strained silicon), и в экспериментах Intel удалось повысить подвижность в слое напряженного кремния, расположенном между толстым сжимающим слоем и буферным слоем полупроводника, содержащим 10% атомов германия.

Что касается самих high-k пленок, то, к примеру, Texas Instruments работает с силикатами гафния уже более года и, по словам исследователей компании, смогла добиться подвижности, соответствующей 85% от подвижности двуокиси кремния (SiO2), но гораздо менее значительного тока утечки. Смещение порогового напряжения составило около 10 мВ.

Texas Instruments, как и большинство, предлагает использовать процесс химического замещения в парах (CVD, chemical vapor deposition), с предпочтением PMOS в качестве материала для изготовления транзисторных контактов. Toshiba же сообщила, что способна продолжать использовать напыление вплоть до 45-нм норм благодаря разработкам «мягких» технологий напыления металлов.

И Toshiba, и Texas Instruments используют в качестве диэлектриков пленки на основе силикатов, чей коэффициент диэлектрической проницаемости (k) считается не слишком высоким (mid-k). Однако ученые из Межуниверситетского Науйно-Исследовательского Центра (Interuniversity Microelectronics Center) IMEC считают, что к тому времени, как толщина слоя оксида достигнет 7-8 ангстрем (0,7-0,8 нм), потребуется еще большее значение k и, возможно, переход на оксиды гафния. Все сходятся во мнении, что возможности дальнейшего применения SiO2 уже исчерпаны.

17 декабря 2003 Г.

10:28

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

VIA представила четырёхъядерные и восьмиядерные процессоры KaiXian KX-5000: Процессоры KaiXian KX-5000 посоперничают с Intel Atom C200017

Intel готовит новые кэширующие накопители Optane M10: SSD Optane M10 также будут недешёвыми 2

Western Digital расширяет ассортимент корпоративных накопителей на жестких магнитных дисках моделями Ultrastar 7K8 и 7K6 объемом 4, 6 и 8 ТБ: Гермозоны HDD Ultrastar 7K8 и 7K6 заполнены воздухом6

Три новых смартфона Apple в прошлом квартале продавались хуже, чем две новинки за соответствующий период 2016 года : iPhone X занял 20% продаж новых смартфонов Apple 25

ITC подозревает Samsung, SK Hynix и другие компании в ценовом сговоре, касающемся SSD: Расследование было начато через две недели после того, как компания BiTMICRO подала в ITC жалобу26

В этом году производители чаще будут использовать композитные материалы в шасси ноутбуков: Основным материалом все же останутся алюминиевые сплавы20

Acer Iconia One 8 (2018) — планшет с бюджетной платформой и 1 ГБ оперативной памяти: Планшет Acer Iconia One 8 (2018) получит мало ОЗУ16

В этом квартале предложение телевизионных ЖК-панелей превысит спрос, что приведет к снижению цен: Ожидается, что заметнее всего подешевеют 32-дюймовые панели8

Toshiba рассматривает возможность первичного публичного размещения акций дочерней компании, выпускающей флэш-память: Продажа полупроводникового производства Toshiba консорциуму во главе с Bain Capital может и не состояться1

Против Apple подали коллективный иск из-за уязвимостей Meltdown и Spectre: По мнению истцов, компания Apple нарушила «подразумеваемую гарантию» и обогащалась незаконно59

Трехслойный датчик изображения, созданный Samsung, способен снимать видео 1080p с частотой 480 к/с: Другим достоинством нового датчика является высокая скорость автоматической фокусировки59

Автомобильное зарядное устройство Xiaomi Mi Car Inverter стоит $31: Устройство подключается к автомобильному прикуривателю, предлагая пользователям стандартный разъем для китайской вилки11

Smartisan обещает показать революционный продукт, на который будут равняться другие производители в течение следующего десятилетия: Источники предполагают, что речь идет о новом флагманском смартфоне, который будет оснащен однокристальной системой Snapdragon 84518

Смартфон Xiaomi Mi 6X спереди будет напоминать Samsung Galaxy S8: Свежее изображение демонстрирует нам новый чехол с точно такими же вырезами на задней панели4

Опубликованы новые изображения полноэкранного смартфона Meizu 15 Plus: Схематическое изображение задней панели указывают на наличие вертикальной сдвоенной камеры и вспышки в виде светодиодного кольца

Смартфон Vivo X20 Plus с подэкранным дактилоскопическим датчиком выпустят 24 января: Цена устройства составит около 625 долларов4

Huawei назвали самым рекомендуемым брендом смартфонов в Китае: В рейтинге Chnbrand за 2017 году представлено около 6000 брендов, среди которых оказалось 60% китайских компаний10

Смартфон Huawei Mate 10 Pro оказался очень устойчивым к морозу: Huawei Mate 10 Pro заморозили в озере13

Google и Tencent образовали альянс, договорившись о взаимном использовании патентов: В данный момент в Китае заблокированы различные сервисы Google2

Nokia представит новые смартфоны 25 февраля: Пресс-конференция пройдет в Музее современного искусства в Барселоне

Появилось схематическое изображение смартфона Nokia с модулем из пяти камер: Смартфон Nokia с пятью камерами будет похож на Lumia 10206

Nvidia просит продавцов реализовывать видеокарты в первую очередь геймерам, а не майнерам: Nvidia хочет решить проблему дефицита видеокарт рекомендациями для продавцов64

iXBT TV

  • Обзор цветного светодиодного МФУ Xerox VersaLink C605 для малых и средних офисов

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс