NEC в содружестве с тайваньской TSMC анонсировала новую технологию производства чипов UX6, используя которую, уже с первого квартала 2003 года компании намерены производить чипы по нормам 0,10 мкм техпроцесса, с напряжением питания транзисторов менее одного вольта и тактовыми частотами выше 1 ГГц.
0,10 мкм технология UX6 основана на использовании 193 нм литографии, при этом будут применяться новые оксинитридные пленки, а затворы транзисторов будут иметь длину всего в 65 нм (0,065 мкм) для достижения высоких тактовых частот и снижения потребляемой мощности. Помимо этого, по словам представителей NEC, технология UX6 подразумевает использование в качестве диэлектрика специальных пленок с низким k-фактором (k < 2.4).
Источник: Silicon Strategies