ASM Lithography сообщила о начале поставки в адрес фабрики Fab 12 тайваньской TSMC литографических сканеров Twinscan AT:750 для производства 300 мм кремниевых пластин. Уникальность нового оборудования состоит в том, что оно рассчитано на работу одновременно с двумя пластинами. Пока пластина, находящаяся на первой стадии обработки, экспонируется, другая подложка в это время выравнивается и "размечается" интерферометром, что здорово сокращает непродуктивные затраты времени.
С прошлого года TSMC уже использует в своем производственном процессе пилотные образцы 300 мм платформы Twinscan AT:700, обрабатывающие по одной пластине за этап и очень хорошо отзывается об этом оборудовании. Конечно, такой стратегический секрет, как количество поставляемых ASML сканеров, держится в строгой тайне. Источник: Silicon Strategies