Новые материалы для 157 нм литографической оптики

ПредыдущаяСледующая

Компания SCT (Silicon Crystal Technologies) сообщила о получении патента (No. 6334899, название Continuous Crystal Plate Growth Apparatus) на технологию обработки, очистки фторида кальция и роста кристаллов. Эту технологию SCT разрабатывала с 1995 г.

Технология предназначена для очистки фторида кальция, используемого при изготовлении оптических линз для 193 нм и 157 нм литографических инструментов.

Традиционно используемые для видимого спектра линзы из кварцевого стекла не подходят для ультрафиолета, так как имеют слишком большой коэффициент поглощения оптического излучения для длин волн меньше 157 нм. Поэтому разработчикам литографического оборудования для производителей полупроводниковых микросхем приходится искать новые материалы для преодоления этой проблемы. Но с фторидом кальция тоже не все так просто - необходимо, чтобы линзы изготавливались из монокристаллического, очень чистого CaF2. Низкое качество получаемых в настоящее время кристаллов фторида кальция, к сожалению, снижает эффективность применения этого материала.

Кирилл А. Панделисев (Dr. Kiril A. Pandelisev), ведущий научный сотрудник и главный управляющий SCT сообщил, что в лучшем случае из всех кристаллов фторида кальция получается лишь 3-5%, удовлетворяющих требованиям 157-нм оптики. Поэтому был предложен новый метод очистки фторида кальция, позволяющий эффективно и подконтрольно удалить ненужные примеси. К примеру, возможно удаление Эрбия (Er) и Лютеция (Lu), которое позволяет избавиться от флуоресценции на 157 нм, что, в свою очередь, приводит к формированию более контрастного изображения. Очистка от свинца (Pb) дополнительно уменьшает поглощение на 157 нм. Помимо этого, метод SCT позволяет контролировать содержание примесей и, таким образом, влиять на оптические свойства кристалла, в том числе, на характер двойного лучепреломления.

SCT также утверждает, что разработанный способ роста кристаллов может быть использован и для других материалов, не только для фторида кальция. В частности, для роста кристаллов CaxBa1-xF2, CaxSr1-xF2 (1 < x < 0) или других кристаллов, которые невозможно вырастить по методу Бриджмана-Стокбаргера (Bridgman-Stockbarger) из-за проблем сегрегации и переохлаждения при кристаллизации.

Источник: Semiconductor Fabtech

16 февраля 2002 Г.

02:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая
194
194

Все новости за сегодня

Microsoft работала над умными часами Xbox Watch: Сравнивая пользовательский интерфейс Xbox Watch и современных умных часов, стоит признать, что он выглядел довольно архаично3

Опубликованы компьютерные изображения смартфона iPhone XI: Предположительно, в этом году Apple выпустит осенью три новых смартфона и сразу же прекратит производство iPhone X17

LG патентует складной смартфон с гибким экраном: Заявка была подана в июле прошлого года1

Несмотря на резкое снижение прибыли LG Display в четвертом квартале 2017, акции компании выросли: Акции компании после публикации отчета выросли примерно на 5%

Опубликованы характеристики SoC Xiaomi Surge S2, которая должна лечь в основу смартфона Xiaomi Mi A2: Что касается Xiaomi Mi 6X, то смартфон может выйти на мировой рынок под названием Xiaomi Mi A22

Смартфон Red Hydrogen One, оснащенный голографическим дисплеем, поступит в продажу этим летом: В голографическом режиме 4V картинка выглядит «лучше, чем в 3D»10

Опубликованы концепт-арты смартфона Google Pixel 3 : Возможно, сдвоенную камеру сохранят для Pixel 3 XL16

Xiaomi построит больше магазинов, чтобы возглавить рынок Индии: В 2017 году Xiaomi выпустила в Индии 8 моделей смартфонов, тогда как Smasung — около 40

Опубликовано новое изображение смартфона Xiaomi Mi 7: Xiaomi Mi 7 представят на Mobile World Congress 201813

В Южной Корее лидеров Apple и Apple Korea предлагают посадить в тюрьму за замедление смартфонов: В исковом заявлении указан штраф от 18,6 тыс. долларов и выше, а также тюремное заключение сроком от 3 до 10 лет26

Смартфон Oukitel U18, который похож на iPhone X, оценен в $180: Oukitel U18 поступит в продажу по цене 180 долларов 29 января6

iXBT TV

  • Обзор сверхширокоугольного светосильного зум-объектива Nikon AF-S Nikkor 14-24mm F2.8G ED

  • Обзор цветного светодиодного МФУ Xerox VersaLink C605 для малых и средних офисов

  • Apple отключит замедление iPhone, 10 лет MacBook Air, дрон спас человека

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс