SPIE: 157 нм литография не за горами

ПредыдущаяСледующая

Несмотря на задержки с разработкой, 157 нм оборудование все же таки появится на рынке литографических инструментов. Такую надежду вселяют представленные на конференции SPIE Microlithography роадмэпы ведущих производителей литографических инструментов, в которых, значится 65 нм (0,065 мкм) техпроцесс к 2005 - 2006 годам.

157 нм сканеры были объявлены еще несколько лет назад, начало массовых поставок ожидалось в 2002 или 2003 году, но из-за технических проблем, обнаруженных при разработке 157 нм литографии, вендоры были вынуждены отложить начало поставок на 2004 - 2005 годы.

Одной из главных трудностей, вставшей перед 157 нм технологией, стало двойное лучепреломление во фториде кальция (CaF2), из которого изготавливаются линзы. Помимо этого, материала для изготовления качественных линз и фоторезиста сейчас явно недостаточно, что вряд ли способствует скорому началу поставок 157 нм сканеров. Имеются также прогнозы, что когда сканеры все же выйдут, то их стоимость "зашкалит" за $25 млн.

В это же время "большая тройка" изготовителей литографических инструментов: ASML, Canon и Nikon утверждает, что успешно преодолела стоящие перед ними трудности. Nikon планирует начать поставки 157 нм инструмента, который будет способен создавать чипы с размером элемента 65 нм при помощи двоичных фотошаблонов, и чипы с размером элемента 55 и 35 нм при помощи фазосдвигающих масок. Компания собирается начать поставки где-то во второй половине 2004 г.

Canon, в свою очередь, разрабатывает FS1, 157 нм сканер для обработки чипов с размером элемента 65 нм и меньше. Как и в инструменте Nikon, в сканере используется зеркально-оптический (или катадиоптрический) объектив, сводящий на нет негативный эффект двойного лучепреломления. Canon планирует начать поставки в конце 2004 или начале 2005 года.

ASML, в свою очередь, старается не отстать от японцев, разрабатывая 157 нм инструмент Micrascan VII. AMSL не сообщила, когда планирует начало поставок, но есть мнение, что поставки Micrascan VII также начнутся не раньше конца 2004 - начала 2005.

10 марта 2002 Г.

08:19

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В прошлом году в мире на мобильные приложения было потрачено 86 млрд долларов: Среднестатистический пользователь проводит в мобильных приложениях 43 дня в году

Moto Folio — самый доступный модуль для смартфонов Moto Z: Модуль Moto Folio является чехлом-книжкой2

Iiyama XB2779QQS — 27-дюймовый монитор 5K стоимостью 800 евро: Монитор Iiyama XB2779QQS получил 27-дюймовую панель 5K3

Samsung и LG договорились о поставке гораздо большего количества телевизионных ЖК-панелей: LG поставит Samsung 1 млн телевизионных панелей 6

Частота процессора AMD Ryzen 5 2600 будет на 200 МГц выше, чем у Ryzen 5 1600: CPU Ryzen 5 2600 получит небольшую прибавку к частотам 9

Рынок технологий умных городов будет расти на 11% в год: К 2026 году рынок технологий умных городов достигнет 62 млрд долларов1

Появилось первое изображение смартфона Xiaomi Mi 7: Xiaomi Mi 7 засветился на первом изображении

Apple позволит пользователям отключить функцию замедления смартфонов iPhone: Функцию замедления iPhone можно будет отключить 74

Команда Apple, которая занимается созданием оригинального видеоконтента, обосновалась в новом офисе в Калвер-Сити: Apple арендует новое здание в Калвер-Сити5

Процессор Core i7-8705G сравнили с GeForce MX150 в современной игре: Core i7-8705G существенно быстрее GeForce MX150 в играх36

Samsung начала массовое производство микросхем GDDR6 плотностью 16 Гбит: Что немаловажно, память GDDR6 потребляет на 35% меньше энергии, так как ее рабочее напряжение составляет 1,35 В против 1,55 В у GDDR557

Внешний аккумулятор Dodocool емкостью 20100 мА•ч может полностью зарядить MacBook: Компания Dodocool представила внешний аккумулятор емкостью 20100 мА•ч с выходной мощностью 45 Вт12

Смартфон Xiaomi Mi Mix 2s могут представить на MWC 2018: Xiaomi уже подтвердила, что она проведет свою пресс-конференцию 26 февраля2

Первая партия смартфонов Meizu M6s получит логотип mBlu: В продажу новинка поступит 19 января по цене от 155 долларов1

Полноэкранный смартфон AllCall Mix 2 получил Helio P23 и 6 ГБ ОЗУ: Даты начала продаж у смартфона пока нет13

Поставщики комплектующих для iPhone ожидают снижение уровня заказов в первом квартале 2018: Некоторые поставщики планируют временно остановить производство в феврале этого года, отправив сотрудников на недельные каникулы27

Поставки игровых ноутбуков в этом год увеличатся не более, чем на 10%: В Юго-Восточной Азии, Европе и Азиатско-Тихоокеанском регионе Asustek и MSI по объему поставок являются лучшими производителями игровых ноутбуков

Sony представит новые смартфоны 26 февраля 2018: В этом году выставка Mobile World Congress 2018 пройдет в Барселоне с 26 февраля по 1 марта22

Складной смартфон ZTE Axon M выпустят в Европе в первом квартале 2018: Более интересной для наших читателей станет информация о том, что устройство также будет выпущено на территории Европы2

Apple вложит в экономику США 350 млрд долларов в последующие пять лет: Apple рассказала, как будет инвестировать в экономику США 32

Samsung представила однокристальную систему Exynos 7872: SoC Exynos 7872 всё-таки содержит GPU Mali-G71 MP115

Смартфон Samsung Galaxy On7 Prime (2018) не получил экрана AMOLED, но может предложить неплохие параметры: Смартфон Samsung Galaxy On7 Prime (2018) оценили в 200 долларов3

194
-

iXBT TV

  • Обзор автомобиля Mercedes-Benz E 220 d 4Matic All-Terrain Luxury: полноприводный внедорожный универсал

  • Обзор складной гладильной системы MIE Maxima: утюг, отпариватель для одежды и гладильная доска

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

  • iMac Pro за $13 000, космический туризм, клавиатурные шпионы от HP

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

-