Компания ASML Holding N.V., известный производитель литографических инструментов, объявила о получении заказа на специальные литографические инструменты от Headway Technologies, входящей в состав TDK. Компания Headway специализируется на разработке и выпуске пишущих головок для винчестеров.
Согласно подпсанному контракту, Headway получит от ASML сканеры семейства PAS 5500/800, которые будут установлены на фабрике Headway в Милитпасе уже в июле 2002 года.
В последнее время ASML все активнее внедряется на рынок специальных литографических инструментов для областей применения как выпуск пишущих головок, микроэлектромеханические системы (MEMS), комбинированные полупроводники и специализированные чипы (ASIC). В апреле компания представила новое семейство степперов 5X i-line для работы с MEMS приложениями и пр. Новый степпер от ASML - SA 5200, является законченным интегрированным решением на базе инструментов SA 5200 /45C и /55C плюс дополнительного комплекта MEMS 5201. MEMS 5201, в свою очередь, позволяет наладить массовое производство MEMS компонентов - 3Dalign, 3DMetrology и 2DStitching.
Теперь, после заключения сделки с Headway, ASML является стала партнером трех крупнейших поставщиков тонкопленочных головок и имеет все шансы стать лидером рынка поставщиков таких решений.