До сих пор основным источником микросхем для по-настоящему массовых продуктов были Тайвань, Япония и Южная Корея. Однако еще одна азиатская страна, долгое время остававшаяся несколько в стороне от рынка высокотехнологичных продуктов, коими микросхемы являются по праву, несмотря на свои немалые размеры и огромное население, начинает выходить на самый передовой технологический уровень. Как вы уже догадались, речь идет о Китае.
Китайская корпорация SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corp.) уже начала производство чипов по нормам 0,13-мкм техпроцесса и сообщает о покупке 193-нм литографического сканера, который будет использован при переходе на 90-нм техпроцесс.
Конечно, SMIC идет несколько позади тайваньских TSMC и UMC, однако, во-первых, компания никуда не торопится, а во вторых, уже к концу этого года сканер будет интегрирован в производство, а у разработке 90-нм процесса инженеры приступят в начале следующего года. Поставщиком оборудования для китайской корпорации выступила европейская компания, название которой не сообщается, но аналитики сходятся во мнении, что этой компанией, скорее всего, является ASM Lithography.
Поставщиком 0,13-мкм технологии также выступил европейский консорциум, IMEC. Примечательно, что в процессе IMEC используются пленки с малой диэлектрической проницаемостью (low-k).
Поэтому, кстати, SMIC не слишком-то и торопится: пока на рынке нет достаточно сформировавшегося общего мнения о перспективах применения low-k пленок в процессах с химическим замещением в парах (CVD). Но несмотря на экспортные ограничения, с которыми компании пришлось столкнуться в поисках необходимого оборудования в США, SMIC придерживается намеченной ранее программы. Производительность первого завода корпорации должна будет составить 25000 пластин в месяц к началу 2003, а открытого недавно Fab 2 – 7000 пластин к декабрю текущего года.