Импринт-литография сделает возможным производство по 10-нм нормам

ПредыдущаяСледующая

Появившаяся сравнительно недавно импринт-литография привлекает к себе все больше внимания и в Сети уже давно ходит множество слухов о ее преимуществах перед традиционной. В Европе, США и Японии прошло несколько конференций, посвященных импринт-литографии, а на страницах EE Times Online появилось довольно подробное описание технологии, как его дала компания MII (Molecular Imprints Inc.), первым клиентом которой, если верить слухам, будет Motorola. Изложим основные положения.

Прежде всего, скажем пару слов о том, почему импринт-литография возбудила такой к себе интерес среди полупроводниковой промышленности: считается, что в перспективе применение наноскопической печати на полимерах через маску масштаба 1:1 и использование света в ультрафиолетовом диапазоне будет намного дешевле традиционных методов, так как нет необходимости городить сложную и дорогую оптику. В настоящее время для нанесения рисунка используются маски масштаба 4:1 и если нужно точное уменьшение рисунка маски, требуется хорошая оптика. В принципе, в качестве альтернативы можно использовать фазосдвигающие маски, но опять-таки встает вопрос об их стоимости.





Итак, процесс нанесения рисунка на подложку до травления или напыления в импринт-литографии не зависит от качества применяемой оптики. Мономер, покрывающий поверхность кристалла, под действием ультрафиолетового излучения полимеризуется и застывает на поверхности. Этот процесс аналогичен использованию фоторезиста для печатных плат, но в отличие от фоторезиста мономер содержится в растворе и легко удаляется при необходимости, оставляя желаемый рисунок на поверхности подложки. При этом на формирование рисунка требуется всего несколько нанолитров.

В 1997 году исследователи из Принстонского Университета уже демонстрировали литографическую технологию, позволяющую рисовать дорожки шириной 10 нм. Однако проблемы начинаются, когда требуется выровнять слои полупроводника, коих в типичных микросхемах бывает до 20 штук. До сих пор MII и Nanonex смогли представить технологии, позволяющие выровнять уровни лишь с точностью не лучше 500 нм, хотя в современной полупроводниковой промышленности требуется не более 50-100 нм. Правда, Nanonex утверждает, что в скором будущем сможет решить проблему с выравниванием слоев, используя обратный сканирующий туннельный микроскоп, разработанный в Принстоне. Таким образом, та компания или исследовательская группа, что сможет решить проблему с выравниванием слоев, сможет смело сушить лавры и на них почивать.

А когда импринт-литография дойдет до стадии применения в промышленности, тут уже начнутся чудеса: производительность полупроводникового завода может достигнуть небывалых высот, ведь для нанесения одного слоя требуется всего 20-30 с, а в час возможна обработка до 2500 пластин! Кроме того, импринт-литография откроет новые горизонты для молекулярной электроники, дав возможность почти в буквальном смысле печатать схемы с точностью до нескольких молекул мономера.

23 декабря 2002 Г.

16:36

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Пользователи, покупавшие товары в онлайн-магазине OnePlus, вскоре после этого обнаружили мошеннические транзакции по своим картам: В онлайн-магазине OnePlus может быть дыра в уязвимости4

Энтузиаст портировал полноценную Windows 10 на смартфон Lumia 1520: Windows 10 запустили на Lumia 15209

Samsung хочет за пять лет удвоить выручку на африканском континенте: Samsung усиленно возьмётся за рынки Африки12

Появились параметры семи новых CPU Intel, включая модель семейства Cannonlake: CPU Cannonlake всё-таки получат встроенное графическое ядро 23

OnePlus сумела вдвое нарастить выручку в прошлом году: OnePlus выручила более 1,4 млрд долларов за прошлый год1

Огромная скидка на моноблоки Apple iMac Pro может указывать на плохой спрос : Apple iMac Pro уже можно купить за 4000 долларов 63

Проблемой замедления смартфонов Apple заинтересовались и в Китае: Организация Shanghai Consumer Council может подать в суд на Apple 17

Стали известны параметры смартфона Vivo, который получит подэкранный сканер отпечатков пальцев: Первый аппарат Vivo с подэкранным дактилоскопом будет очень крупным3

BlackBerry Jarvis — сервис для проверки автомобильного ПО на наличие уязвимостей: BlackBerry представила автомобильного защитника Jarvis 1

Планшеты iPad не подвержены снижению производительности при устаревании аккумулятора: Функция снижения производительности работает только для iPhone26

Умные часы TAG Heuer Connected Modular 45 Full Diamond стоят, как Bentley Bentayga: TAG Heuer Connected Modular 45 Full Diamond оцениваются почти в 200 000 долларов18

Правительственным организациям США могут запретить использование оборудования Huawei и ZTE даже через посредников: Huawei и ZTE могут оказаться в немилости у правительства США 33

Функция Face Unlock вскоре появится на смартфонах OnePlus 3 и 3T: OnePlus 3 и 3T тоже получат Face Unlock5

Шестиядерный процессор Intel Core i5-8500 замечен в базе данных SiSoftware Sandra: Базовая частота Intel Core i5-8500 – 3,0 ГГц19

Электромобили ведут к росту популярности светодиодного освещения в автомобильной индустрии: Автомобильное светодиодное освещение используется больше в электромобилях, чем в традиционных машинах12

У процессорного охладителя Jonsbo CR-301 появилась белая версия: Даже тепловые трубки новой версии Jonsbo CR-301 - белые 6

За день до анонса в Сеть попали все параметры смартфона Meizu M6s: Meizu M6s получит новую камеру9

Умные часы Tag Heuer Connected Modular 41 меньше оригинальной модели, но имеют лучший экран и больше памяти: Умные часы Tag Heuer Connected Modular 41 стоят 1100 евро5

Ноутбуку MacBook Air исполнилось 10 лет: Максимальная версия предлагалась по цене 3098 долларов48

Samsung и LG выпустят новые кондиционеры с системами ИИ: В этих кондиционерах используются технологии глубокого обучения12

Новый американский завод Samsung начал работу: На новом заводе ежегодно должны собирать 1 млн стиральных машин14

Новый контроллер Marvell для SSD с памятью QLC демонстрирует производительность в 670 000 IOPS : Marvell показала высокоскоростной контроллер для SSD с QLC 22

Опубликовано изображение смартфона Moto E5: Дисплей новинки должен сохранить привычное соотношение сторон 16:9 и широкие рамки со всех сторон экрана

Samsung не увеличит ёмкость аккумуляторов в новых флагманских смартфонах: Samsung Galaxy S9 и Galaxy S9+ получат те же аккумуляторы, что и текущие флагманы 50

Опубликованы характеристики смартфона Sony Xperia XZ Pro : Выход Sony Xperia XZ Pro ожидается в июне этого года10

Смартфону Xiaomi Mi Max 3 приписывают семидюймовый дисплей: В продажу Xiaomi Mi Max 3 поступит в июне по цене около $2656

Intel показала световое шоу, созданное сотней дронов: Intel показала новый формат светового шоу5

Корпус смартфона Samsung Galaxy S10 будет изготовлен из алюминиево-магниевого сплава: Предположительно, смартфоны Galaxy S9, Galaxy S9+ и Galaxy Note9 получат стеклянные корпуса, как и их предшественники8

Cherry MX Low Profile RGB — низкопрофильные механические переключатели с подсветкой: Cherry представила переключатели MX Low Profile RGB 3

Представлен смартфон HTC U11 EYEs : HTC U11 EYEs получил стеклянную заднюю панель, которая придает устройству премиальный вид1

Первым смартфоном с Android Oreo (Go Edition) станет Micromax Bharat Go: Его анонс ожидается 26 января, когда в Индии празднуют День Республики

Intel разрабатывает собственные дискретные GPU, чтобы заменить решения AMD в процессорах вроде Kaby Lake G: У Intel будет свой производительный дискретный GPU30

SSD Intel 660p будут использовать память 3D NAND QLC: Стали известны параметры SSD Intel 760p, 700p и 660p10

Перенос анонса смартфона LG G7 связан с тем, что компания решила начать разработку с нуля: LG G7 полностью переделают7

Смартфон-раскладушка Gionee W919 получил два экрана и 6 ГБ ОЗУ: Gionee W919 поступит в продажу этой весной

-

iXBT TV

  • Обзор недорогого Full HD DLP-проектора BenQ W1050 для домашнего кинотеатра

  • Процессор Intel с графикой AMD, экраны любой формы и размера

  • Критическая уязвимость Intel, разбор Apple iMac Pro, Dell XPS 13 стал тоньше

  • Обзор компактной беспроводной колонки JBL Playlist с поддержкой Chromecast

  • Обзор игрового IPS-монитора LG 34UM69G с соотношением сторон 21:9

  • Обзор блока питания Aerocool P7-750W Platinum с гибридной системой охлаждения

  • Apple специально замедляет старые iPhone, VR-революция, крошечный телефон

  • Обзор широкоугольного объектива Canon EF 35 mm F1.4L II USM

  • Обзор робота-пылесоса Kitfort KT-516 со сменными уборочными блоками

  • iMac Pro за $13 000, космический туризм, клавиатурные шпионы от HP

  • Обзор продвинутых сетевых накопителей QNAP D2 Pro и D4 Pro

  • Обзор воздухоочистителя и тепловентилятора Dyson Pure Hot+Cool

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

-