IBM об иммерсионной литографии: можно использовать те же фоторезисты

ПредыдущаяСледующая

На International Sematech Immersion Workshop, прошедшей на прошлой неделе, IBM обнародовала детали исследования свойств фоторезистивных покрытий в условиях иммерсионных (проходящих при погружении в воду) технологических процессов. Из отчета следует, в частности, что фотолитографические резисты не меняют своих ключевых для литографии свойств, даже находясь под водой. В лабораториях Almaden Research Center IBM исследовались полупроводниковые пластины, покрытые обычным химически-активным фоторезистом, находившемся в воде в течение минуты. После погружения в воду фоторезисты высушивались и обрабатывались таким же обычным 193-нм сканером. Как утверждают исследователи, степень деградации полученных рисунков в сравнении с «сухими» незначительна.

Ученые были удивлены полученными результатами, так как до этого многие эксперты высказывали опасение, что для иммерсионной литографии придется разрабатывать новые типы фоторезистов. Конечно, фоторезист присоединял воду, но это почти не повлияло на контрастность полученной картины.

Напомним вкратце суть иммерсионной литографии: воздушная прослойка между фокусирующей линзой сканера и подложкой заполняется водой, имеющей другой коэффициент преломления, в результате чего размер светового пятна становится меньше. Перспективы применения иммерсионной литографии исследовали в MIT, показав, что технология может быть использована для обработки полупроводниковых пластин в процессах с нормами вплоть до 32 нм. К сожалению, результат IBM нельзя рассматривать слишком обнадеживающим: компания не имеет возможности проводить полностью иммерсионные процессы, в которых длительность времени, проводимого фоторезистом в воде, существенно больше. IBM ждет поставок иммерсионных сканеров от ASML, Canon и Nikon. Кроме того, для исследовательских целей достаточно утверждать о субъективно «слабом» влиянии воды на свойства фоторезиста, которое впоследствии может оказаться объективно значащим для промышленности.

15 июля 2003 Г.

04:53

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Однокристальная система MediaTek Helio P60 замечена в тесте Geekbench: Показатели Helio P60 сопоставимы с показателями Qualcomm Snapdragon 6601

Названа цена и срок начала продаж объектива Sigma 14-24mm F2.8 DG HSM | Art: Объектив будет предложен в вариантах для камер Canon, Nikon и Sigma1

Водоблок EK-FC Titan V для 3D-карты Nvidia Titan V стоит 130 евро: Водоблок EK-FC Titan V выпускается в двух вариантах3

В базе данных Geekbench замечен смартфон Moto G6: Судя по записи в базе данных Geekbench, устройство работает под управлением Android Oreo

LG Electronics в этом году тоже собирается представить телевизор micro-LED : Конкуренция с Samsung Electronics переносится в новый сегмент14

Китайские свиноводы делают ставку на искусственный интеллект: Платформу ET Brain используют компании Tequ Group и Dekon24

Готов черновой вариант спецификации Digital Key, позволяющей использовать смартфон как ключ от машины: В числе разработчиков стандарта — Audi, BMW, LG Electronics, NXP, Panasonic, Qualcomm, Samsung и Volkswagen7

Samsung Electronics начинает строительство производственной линии, где будет использоваться литография EUV: Строительство завершится во втором полугодии 2019 года, а к началу производства линия должна быть готова в 2020 году13

Емкость аккумулятора смартфона Energizer Power Max P16K Pro равна 16000 мА∙ч: Конфигурация устройства включает SoC MediaTek Helio P25, 6 ГБ ОЗУ и 128 ГБ флэш-памяти30

Названа точная дата начала продаж камеры Olympus Pen E-PL9 : Камера будет предложена отдельно и в комплекте с объективом M.Zuiko Digital ED 14-42mm F3.5-5.6 EZ2

Производитель чехлов подтвердил наличие трех модулей в основной камере смартфона Huawei P20 Plus : Производителем чехлов выступает компания Laudec

68% американских родителей признали себя зависимыми от мобильных устройств: 47% американцев считают свои детей зависимыми от смартфонов4

Названы цены Samsung Galaxy S9 и S9+, опубликованы высококачественные изображения этих смартфонов: На изображениях хорошо видно, что сдвоенная основная камера будет только у старшей модели48

Смартфон Xiaomi Mi5 может получить обновление Android Oreo: Завтра смартфону исполнится два года3

Официальные изображения подтверждает, что смартфон Huawei P20 получил сдвоенную камеру: У нас есть фотографии модели, которая, с высокой долей вероятности, является финальной

Компания Universal Display отчиталась за минувший квартал и 2017 год в целом : Доход Universal Display за 2017 год составил 335,6 млн долларов1

Первые смартфоны с Android Oreo (Go edition) стоимостью до $50 покажут на MWC: Кроме того, на MWC будут показаны новые смартфоны программы Android One2

Смартфон Oppo R15 с поддержкой 20-ваттной зарядки тоже похож на iPhone X: Дактилоскопический датчик расположили на задней панели6

Фотогалерея дня: официальные изображения планшета Huawei MediaPad M5 : Презентация новинки ожидается 25 февраля34

Компьютерный корпус Corsair Obsidian 500D оценен в $150: К особенностям корпуса можно отнести наличие разъема USB-C на панели ввода-вывода

Представлены смартфоны BQ Aquaris VS и VS Plus: Главным отличием является диагональ экрана1

Анонсированы продажи объектива Tokina Firin 20mm F2 FE AF: Полнокадровый объектив Tokina Firin 20mm F2 FE AF предназначен для камер с креплением Sony E2

Президента Ford North America уволили из-за сексуальных домогательств: Причиной стало внутреннее расследование, которое подтвердило обвинения в «неуместном поведении»23

Светодиодные лампы должны полностью вытеснить традиционное освещение в Индии уже в 2019 году: В этом году Индия закупит 200 млн светодиодных ламп 7

Представлен защищенный смартфон Cat S61: Смартфон Cat S61 оснащен тепловизором4

AUO начнет поставки телевизионных панелей 8K в первой половине 2018: При этом спрос на телевизоры 4K продолжит расти

Смартфон Huawei Mate 10 Pro использовали для управления автомобилем Porsche Panamera: Система искусственного интеллекта позволяет распознавать препятствия на пути, корректируя траекторию движения8

iXBT TV

  • Обзор сетевого накопителя Synology DS918+ на 4 винчестера

  • Обзор экшн-камеры Gmini MagicEye HDS8000 с ненастоящим 4K-видео

  • Обзор многофункционального сетевого CD-ресивера Pioneer NC-50DAB

  • Обзор блока питания Thermaltake Toughpower iRGB Plus 1250W Titanium с программно-аппаратным комплексом мониторинга

  • [6.07] Подкаст PRO игры: cтрасти вокруг Kingdom Come: Deliverance, вымирание слэшеров, русский колорит

  • Обзор компактной фотокамеры Sony RX10 IV с сенсором 1″ и несменным 25-кратным зум-объективом

  • Обзор карты памяти SanDisk Extreme Pro CFast 2.0 емкостью 128 ГБ

  • Обзор портретного объектива Fujinon XF 50mm f/2 R WR для компактных беззеркальных камер Fujifilm

  • Запуск Falcon Heavy, убытки Илона Маска, умные очки Intel

  • Обзор недорогого корпуса Deepcool Earlkase RGB со стеклянной стенкой и RGB-подсветкой

  • Обзор кинокамеры Canon EOS C200: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров в формате Cinema RAW Light

  • Обзор «камуфляжного» игрового ноутбука MSI GE62VR 7RF Camo Squad Limited Edition

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс