Похоже, что кварцевым резонаторам, использующимся в малогабаритных стабильных генераторах тактовой частоты, придется потесниться в своей рыночной нише и впустить конкурентов – микроэлектромеханических (MEMS) резонаторов. О новой разработке MEMS-резонатора, работающего на мегагерцовых частотах, сообщает компания SiTime: её SiT0100 при размерах 0,8х,06х,0,15 мм способен работать на частоте 5,1 МГц и обладает добротностью около 80000. Резонатор также обладает малым уровнем шума (-115 дБ/Гц@10 кГц) и позиционируется для установки в бытовые электронные устройства, автомобильные и промышленные электронные системы. Энергопотребление MEMS-резонатора, совмещенного с осциллятором, находится на одном уровне с кварцевым устройством с таким же уровнем добротности.
В то же время, MEMS-резонаторы не являются полностью совместимыми с кварцевыми резонаторами, так как требуют иного подключения (контроллер устройства вырабатывает два уровня напряжения плюс стабильное напряжение смещения), однако, в отличие от кварцевых резонаторов, могут быть расположены в MCM (многочиповый модуль) и SIP-корпусах вместе с кристаллом полупроводниковой ИС.
SiT0100 производится по технологии SiTime MEMS First и EpiSeal и способен выдерживать даже экстремальные условия, что также выгодно отличает его от кварцевого резонатора, для стабильной работы которого, в частности, желательна постоянная температура.
SiTime предлагает набор разработчика SiT0100DK, LRC-модель и образцы 0,18-мкм контроллеров устройства. Стоимость самого резонатора – 0,35 доллара в партиях от 1 до 10 млн. и 0,25 доллара в партиях от 10 млн.