Китай локализовал критически важный кварц для производства памяти DRAM, но заменить материалы российской компании «Русский кварц» пока не получается
Китай заменяет импорт в полупроводниках
Китайская Jiangsu Pacific Quartz добилась важного результата в локализации материалов для полупроводниковой отрасли. Изделия, изготовленные из собственного высокочистого кварцевого сырья компании, прошли квалификацию у одного из ведущих китайских производителей оперативной памяти для обработки 300-миллиметровых кремниевых пластин. По предположению аналитика TP Huang, заказчиком может быть CXMT (однако официально название компании не раскрывается).
Pacific Quartz уже несколько лет поставляет сверхчистые кварцевые расходные материалы крупнейшим производителям оборудования для выпуска микросхем — Lam Research и Tokyo Electron. В ассортимент входят диффузионные трубы LPCVD, субстрат для кремниевых пластин, кварцевые заготовки, пластины и трубки, которые используются в высокотемпературных технологических процессах.
Для изготовления таких компонентов требуется кварц чистотой 99,995–99,999% SiO2. Даже минимальные примеси при температурах в сотни градусов способны попасть на поверхность кремниевой пластины, изменить электрические характеристики транзисторов, увеличить количество дефектов и снизить выход годных микросхем.
Главная особенность нового достижения заключается в том, что Pacific Quartz использует собственный высокочистый кварцевый песок. Это означает, что в Китае формируется локальная производственная цепочка — от очистки сырья до выпуска кварцевых деталей, применяемых непосредственно на фабриках по производству DRAM.
Однако полной независимости от зарубежных поставщиков Китай пока не получил. Кварцевые компоненты оборудования — лишь одна часть производственного процесса. Для выращивания монокристаллических кремниевых слитков используется особо чистый плавленый кварц, к которому предъявляются еще более жесткие требования по содержанию примесей.
Именно этот сегмент остается наиболее сложным. По имеющимся данным, Pacific Quartz пока не может производить материалы необходимого уровня чистоты. Ключевыми поставщиками сырья по-прежнему остаются Sibelco, The Quartz Corp. и российская компания «Русский кварц».
