Компания ASML Holding NV (ASML) недавно опубликовала обновлённую информацию о пожаре, который произошёл 3 января на её заводе в Берлине. За прошедшие дни производитель ключевого оборудования для полупроводникового производства выполнил предварительную оценку ущерба.
Пожар произошёл в части одного производственного здания на площадке в Берлине, а дым частично затронул соседнее здание. Компании уже удалось возобновить производство в некоторых частях этих зданий. Остальные части завода не пострадали и полностью функционируют.
Хотя оценка ущерба продолжается, текущее представление ASML о нём выглядит так:
Планы выпуска продукции для метрологии и контроля не затронуты, поскольку в ней не используются компоненты, производимые в Берлине.
Производство компонентов для литографии в глубоком ультрафиолетовом диапазоне (DUV) возобновлено. Несмотря на то, что на этом участке были некоторые сбои, в компании рассчитывают исправить их так, чтобы это не повлияло на выполнение производственного плана.
Что касается EUV, огонь затронул часть производственных площадей, где выпускаются зажимы для полупроводниковых пластин — важные модули EUV-систем. Сейчас завершается разработка плана восстановления этой производственной зоны и мер, которые позволят свести к минимуму потенциальное воздействие на заказчиков — как с точки зрения выпуска систем, так и с точки зрения их обслуживания.
Производитель планирует 19 января опубликовать отчёт за четвёртый квартал 2021 года и за весь год в целом. Одновременно он рассчитывает представить дополнительную информацию об инциденте.