Ученые IBM нашли способ использования литографии для выпуска полупроводниковой продукции по нормам «1 нм и менее»

1174

Развитие технологии полупроводникового производства является хорошим примером того, как барьеры, казавшиеся непреодолимыми, раз за разом отступают под натиском научного прогресса. Долгое время считалось, что производство микросхем по нынешним техпроцессам возможно лишь до того момента, пока технологические нормы превышают несколько десятков нанометров. Вместе с тем, уже сейчас для некоторых видов продукции освоены нормы менее 20 нанометров, а по последним оценкам, технология иммерсионной литографии с многократным формированием структур и использованием жесткого ультрафиолетового излучения сможет «обслужить» еще несколько технологических этапов — пока нормы не приблизятся к 9-10 нм.

Оспорить этот прогноз удалось ученым, работающим в исследовательском центре IBM в Цюрихе. Исследуя микроструктуры, включающие наряду с атомами кремния, преимущественно используемого сейчас в полупроводниковом производстве, атомы углерода, ученые обнаружили способность углерода «сжимать» кремниевую кристаллическую решетку. В своем эксперименте, отчет о котором будет опубликован в новом номере издания Applied Materials, специалисты IBM с помощью традиционной литографии формировали структуры, соответствующие нормам 10 нм, а затем, используя осаждение углеродной пленки, уменьшали их примерно в 5 раз. По словам участников проекта, возможно и дальнейшее уменьшение, эквивалентное переходу на технологические нормы «1 нм и менее».

Сроки коммерциализации разработки ученые пока не называют

Исследователи образно сравнивают открытый ими механизм с тем, как соль, высыхая, стягивает кожу после купания в морской воде. Нанесенная на поверхность кристалла углеродная пленка подвергается воздействию температуры, в результате в ней происходят структурные изменения: расстояние между атомами уменьшается и пленка сжимается, сжимая кристалл. После «сушки» углеродная пленка удаляется, а кристаллическая решетка кремния, не обладающая необходимой эластичностью, остается в уменьшенном состоянии.

Дополнительным выигрышем может стать выборочное удаление углеродной пленки, при котором оставшиеся участки могут играть роль проводников.

Сроки коммерциализации разработки ученые пока не называют, ограничиваясь общей оценкой — по их словам, дополнительные исследования могут занять от пяти до десяти лет.

Источник: IBM

1 апреля 2014 Г.

08:00

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Несмотря на далеко не топовые параметры, смартфон HTC U11 Life доступным не будет: HTC U11 Life будет стоить 400 долларов18

По прогнозу IC Insights, в этом году продажи микросхем DRAM вырастут на 74%: DRAM является крупнейшей категорией интегральных микросхем3

Irix предлагает собственную систему фильтров для широкоугольных объективов: Крепление IFH-100 позволяет ставить два фильтра, не опасаясь виньетирования2

Apple обвинили в намеренном нарушении прав на торговую марку Animoji: Компания Emonster k.k. подала на Apple в суд31

Huawei тоже работает над гибким смартфоном, который может выйти уже в следующем году: Huawei разрабатывает гибкий смартфон8

Смартфон HTC U11 Plus получил экран со скругленными углами: Смартфон HTC U11 Plus замечен в базе TENAA 8

За квартал компания ASML продала 55 литографических систем, три из которых — для EUV: Опубликован отчет ASML за третий квартал 2017 года2

Фотографии подтверждают, что смартфон Xiaomi Redmi Note 5 станет первым аппаратом семейства, оснащённым дисплеем 18:9: Xiaomi Redmi Note 5 получит вытянутый экран10

Представлены платы Asus ROG Strix X370-I Gaming и Strix B350-I Gaming: Данных о ценах на платы Asus ROG Strix X370-I Gaming и Strix B350-I Gaming пока нет1

Intel предлагает использовать её набор Speech Enabling Developer Kit при разработке устройств с поддержкой Alexa: Набор для разработчиков Intel Speech Enabling Developer Kit стоит 400 долларов1

Популярность криптовалют вселила оптимизм в производителей 3D-карт: По прогнозу Asus, тенденция роста, связанная с добычей криптовалют, сохранится как минимум до конца 2017 года3

Слухи говорят о том, что Apple готовит более доступную версию iPhone X: iPhone X может немного подешеветь за счёт уменьшения объёма памяти30

Apple хочет получать 30% выручки с «бесплатного» раздела Facebook : Facebook и Apple не могут договориться касательно внедрения платной подписки10

Пользователи Facebook Messenger получили возможность отправлять и получать деньги с помощью PayPal : Кроме того, заработал первый бот PayPal для Messenger4

Адаптер Sonnet Thunderbolt 3 to Dual HDMI 2.0 может выводить картинку 4К с одного ПК на два дисплея: Цена адаптера составляет 90 долларов1

Обновления ноутбуков Apple MacBook Pro в этом году можно не ждать: Один из руководителей Apple подтвердил, что в этом году компания не планирует представлять какие-либо новинки3

Курс Bitcoin превысил $6000: С начала года стоимость Bitcoin выросла более чем на 520%17

Опубликованы модельные номера смартфонов Samsung Galaxy S9 и S9+, которые получат 6 ГБ ОЗУ и сдвоенные камеры: Что касается камеры, то она перекочует в новинки из Galaxy Note81

Vivo выйдет на рынок России: Со временем Vivo также планирует начать официальные продажи своей продукции на территории Европы7

LG, как и Samsung, предупреждает, что дополнительные пошлины на стиральные машины могут поменять планы компании в США: В августе LG заявила, что планирует инвестировать 250 млн долларов в новый завод по производству стиральный машин10

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A3 формата APS-C со сменными объективами

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

1212

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать