Главная » Новости » 2014 » 02 » 18 18 февраля 2014

Консорциум G450C использует лазер Gigaphoton GT64A в разработке серийного техпроцесса с использованием пластин диаметром 450 мм

Отсутствие в последнее время новостей о том, как отрасль осваивает или хотя бы собирается осваивать полупроводниковое производство с использованием пластин диаметром 450 мм, могло навести на мысль, что движение в это направлении прекратилось. Однако, это не так.

На сайте компании Gigaphoton, являющейся основным производителем источников света для литографии, появилось сообщение о том, что флагманская модель мощного эксимерного лазера GT64A для иммерсионной литографии, рабочим телом которого является смесь аргона и фтора (ArF), будет использоваться участниками консорциума Global 450 Consortium (G450C) в качестве источника света для первого сканера, рассчитанного на пластины размером 450 мм. Мощность лазера — 120 Вт.

Мощность лазера GT64A — 120 Вт

Лазер будет установлен в Олбани, штат Нью-Йорк, на площадке университета штата (SUNY), точнее говоря, входящего в его состав колледжа нанотехнологий (CNSE). Этот колледж является штаб-квартирой консорциума G450C, в который входят компании Intel, IBM, Globalfoundries, TSMC и Samsung.

Лазер будет использоваться для тестирования и разработки техпроцесса, рассчитанного на массовое производство микросхем с использованием пластин диаметром 450 мм. Доставка лазера в CNSE намечена на апрель 2015 года.

Напомним, летом прошлого года компания Nikon получила заказ на 450-миллиметровый иммерсионный сканер для G450C.

Источник: Gigaphoton

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС Micromax

С какой периодичностью вы меняете смартфоны?
февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2014

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.