Консорциум G450C использует лазер Gigaphoton GT64A в разработке серийного техпроцесса с использованием пластин диаметром 450 мм

ПредыдущаяСледующая
1174

Отсутствие в последнее время новостей о том, как отрасль осваивает или хотя бы собирается осваивать полупроводниковое производство с использованием пластин диаметром 450 мм, могло навести на мысль, что движение в это направлении прекратилось. Однако, это не так.

На сайте компании Gigaphoton, являющейся основным производителем источников света для литографии, появилось сообщение о том, что флагманская модель мощного эксимерного лазера GT64A для иммерсионной литографии, рабочим телом которого является смесь аргона и фтора (ArF), будет использоваться участниками консорциума Global 450 Consortium (G450C) в качестве источника света для первого сканера, рассчитанного на пластины размером 450 мм. Мощность лазера — 120 Вт.

Мощность лазера GT64A — 120 Вт

Лазер будет установлен в Олбани, штат Нью-Йорк, на площадке университета штата (SUNY), точнее говоря, входящего в его состав колледжа нанотехнологий (CNSE). Этот колледж является штаб-квартирой консорциума G450C, в который входят компании Intel, IBM, Globalfoundries, TSMC и Samsung.

Лазер будет использоваться для тестирования и разработки техпроцесса, рассчитанного на массовое производство микросхем с использованием пластин диаметром 450 мм. Доставка лазера в CNSE намечена на апрель 2015 года.

Напомним, летом прошлого года компания Nikon получила заказ на 450-миллиметровый иммерсионный сканер для G450C.

Источник: Gigaphoton

18 февраля 2014 Г.

09:30

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Jaguar Land Rover начинает испытания самоуправляемых машин на дорогах общего пользования: Испытания будут продолжены в будущем году

Компания Megabots хочет провести первый в мире турнир по боям огромных роботов: В следующем году может быть проведёт первый турнир по боям гигантских роботов3

Видео дня: робот Boston Dynamics Atlas делает сальто назад: Робот Boston Dynamics Atlas научился запрыгивать на препятствия23

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения17

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро4

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью71

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания10

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

Samsung продолжит использовать в смартфонах тепловые трубки: По крайней мере, в 2018 году25

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать