Лазер Gigaphoton GT64A подходит для фотолитографии с использованием пластин диаметром 450 мм

ПредыдущаяСледующая
1174

Японская компания Gigaphoton, специализирующаяся на выпуске источников света для фотолитографии, объявила о доступности для заказов эксимерного аргон-фторидного (ArF) лазера Gigaphoton GT64A. По словам производителя, этот лазер подходит для фотолитографии с использованием 450-миллиметровых пластин.

Унаследовав у своих предшественников двухкамерную архитектуру и проверенные технологии управления выходной мощностью и выравнивания луча, новый лазер отличается повышенной мощностью и стабильностью, а также максимальными по отрасли показателями надежности и срока службы.

Лазер имеет чрезвычайно высокую эффективность, а его мощность достигает 120 Вт. Выходная мощность может автоматически подстраиваться на оптимальный уровень световой энергии с учетом особенностей конкретного техпроцесса.

В числе достоинств лазера — высокая стабильность энергетических и спектральных характеристики и характеристик луча, в сочетании с импульсами увеличенной длительности позволяющая повысить точность работы и улучшить качество краев, что чрезвычайно важно для литографии с многократным формированием структур.

Производитель также отмечает снижение эксплуатационных затрат, связанных с энергопитанием и охлаждением, до «самого низкого возможного уровня».

Подробная информация о новом лазере Gigaphoton будет представлена на мероприятии SPIE Advanced Lithography 2013, которое пройдет с 24 по 28 февраля в Сан-Хосе, Калифорния.

Источник: Gigaphoton

19 февраля 2013 Г.

08:00

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В Денвере хотят построить сеть наземных тоннелей, схожих по своей идее с теми, что строит The Boring Company: В Денвере построят наземный аналог тоннелей The Boring Company1

Компания Wal-Mart уже заказала 15 грузовиков Tesla Semi: Компания Wal-Mart серьёзно заинтересовалась электрическими грузовиками Tesla Semi7

Производство гибких панелей AMOLED опережает спрос: Популярность экранов 18:9 сказалось на спросе на гибкие панели AMOLED

Простой патч для одной из современных игр позволил повысить производительность Radeon RX Vega 64 на 22%: Radeon RX Vega 64 после патча для Wolfenstein II: The New Colossus обгоняет GTX 1080 Ti11

Tesla выпустила свой портативный аккумулятор для смартфонов: Tesla Powerbank стоит 45 долларов11

E Ink отметила рост всех основных финансовых показателей: E Ink показала отличные финансовые результаты

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году58

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI5

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года18

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже1

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать