Главная » Новости » 2013 » 02 » 19 19 февраля 2013

Лазер Gigaphoton GT64A подходит для фотолитографии с использованием пластин диаметром 450 мм

Японская компания Gigaphoton, специализирующаяся на выпуске источников света для фотолитографии, объявила о доступности для заказов эксимерного аргон-фторидного (ArF) лазера Gigaphoton GT64A. По словам производителя, этот лазер подходит для фотолитографии с использованием 450-миллиметровых пластин.

Унаследовав у своих предшественников двухкамерную архитектуру и проверенные технологии управления выходной мощностью и выравнивания луча, новый лазер отличается повышенной мощностью и стабильностью, а также максимальными по отрасли показателями надежности и срока службы.

Лазер имеет чрезвычайно высокую эффективность, а его мощность достигает 120 Вт. Выходная мощность может автоматически подстраиваться на оптимальный уровень световой энергии с учетом особенностей конкретного техпроцесса.

В числе достоинств лазера — высокая стабильность энергетических и спектральных характеристики и характеристик луча, в сочетании с импульсами увеличенной длительности позволяющая повысить точность работы и улучшить качество краев, что чрезвычайно важно для литографии с многократным формированием структур.

Производитель также отмечает снижение эксплуатационных затрат, связанных с энергопитанием и охлаждением, до «самого низкого возможного уровня».

Подробная информация о новом лазере Gigaphoton будет представлена на мероприятии SPIE Advanced Lithography 2013, которое пройдет с 24 по 28 февраля в Сан-Хосе, Калифорния.

Источник: Gigaphoton

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ВИКТОРИНА PATRIOT

Какие продукты, помимо компьютерной памяти, представлены в линейке Patriot – Viper Gaming?
февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2013

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.