Главная » Новости » 2012 » 02 » 01 1 февраля 2012

Иммерсионный сканер Nikon NSR-S621D способен обработать за час 200 пластин с точностью совмещения слоев не хуже 2 нм

Имя корпорации Nikon знакомо массовому потребителю, прежде всего, по фотокамерам. Между тем, японский производитель является одним из ведущих поставщиков оборудования для фотолитографии, используемого в полупроводниковом производстве.

Сегодня было объявлено о начале поставок иммерсионного сканера NSR-S621D, который характеризуется высокой производительностью и точностью, необходимой в технологии двойного формирования рисунка. Компания называет S621D «новейшим развитием» платформы Streamlign Platform, которая уже используется в серийном производстве в лице иммерсионных сканеров NSR-S620D и сканера для «сухой» литографии NSR-S320F. Объединение систем Stream Alignment и Five-Eye FIA позволило получить производительность на уровне 200 пластин диаметром 300 мм в час (125 экспозиций каждой). Кроме того, система контроля Bird’s Eye Control на базе интерферометров обеспечивает точность совмещения слоев ≤ 2 нм, при этом разрешение ≤ 38 нм. Максимальное уменьшение равно 1/4, числовая апертура — 1,35, максимальная площадь экспозиции — 26 x 33 мм. Применение компоновки Modular2, по словам компании, упрощает установку и техническое обслуживание изделия.

Иммерсионный сканер Nikon NSR-S621D способен обработать за час 200 пластин с точностью совмещения слоев не хуже 2 нм

Оборудование такого уровня сейчас очень востребовано в связи с переходом отрасли в серийном производстве на техпроцессы следующего поколения. В техпроцессах 20-нанометрового класса для формирования наиболее важных слоев применяется иммерсионная литография с аргон-фторидным лазером и двойным формированием рисунка. При этом опора на существующую платформу Streamlign Platform помогает свести к минимуму затраты, получить высокие показатели производительности и выхода годной продукции.

Источник: Nikon

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС Micromax

С какой периодичностью вы меняете смартфоны?
февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2012

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.