Имя корпорации Nikon знакомо массовому потребителю, прежде всего, по фотокамерам. Между тем, японский производитель является одним из ведущих поставщиков оборудования для фотолитографии, используемого в полупроводниковом производстве.
Сегодня было объявлено о начале поставок иммерсионного сканера NSR-S621D, который характеризуется высокой производительностью и точностью, необходимой в технологии двойного формирования рисунка. Компания называет S621D «новейшим развитием» платформы Streamlign Platform, которая уже используется в серийном производстве в лице иммерсионных сканеров NSR-S620D и сканера для «сухой» литографии NSR-S320F. Объединение систем Stream Alignment и Five-Eye FIA позволило получить производительность на уровне 200 пластин диаметром 300 мм в час (125 экспозиций каждой). Кроме того, система контроля Bird’s Eye Control на базе интерферометров обеспечивает точность совмещения слоев ≤ 2 нм, при этом разрешение ≤ 38 нм. Максимальное уменьшение равно 1/4, числовая апертура — 1,35, максимальная площадь экспозиции — 26 x 33 мм. Применение компоновки Modular2, по словам компании, упрощает установку и техническое обслуживание изделия.
Оборудование такого уровня сейчас очень востребовано в связи с переходом отрасли в серийном производстве на техпроцессы следующего поколения. В техпроцессах 20-нанометрового класса для формирования наиболее важных слоев применяется иммерсионная литография с аргон-фторидным лазером и двойным формированием рисунка. При этом опора на существующую платформу Streamlign Platform помогает свести к минимуму затраты, получить высокие показатели производительности и выхода годной продукции.
Источник: Nikon