Иммерсионный сканер Nikon NSR-S621D способен обработать за час 200 пластин с точностью совмещения слоев не хуже 2 нм

1174

Имя корпорации Nikon знакомо массовому потребителю, прежде всего, по фотокамерам. Между тем, японский производитель является одним из ведущих поставщиков оборудования для фотолитографии, используемого в полупроводниковом производстве.

Сегодня было объявлено о начале поставок иммерсионного сканера NSR-S621D, который характеризуется высокой производительностью и точностью, необходимой в технологии двойного формирования рисунка. Компания называет S621D «новейшим развитием» платформы Streamlign Platform, которая уже используется в серийном производстве в лице иммерсионных сканеров NSR-S620D и сканера для «сухой» литографии NSR-S320F. Объединение систем Stream Alignment и Five-Eye FIA позволило получить производительность на уровне 200 пластин диаметром 300 мм в час (125 экспозиций каждой). Кроме того, система контроля Bird’s Eye Control на базе интерферометров обеспечивает точность совмещения слоев ≤ 2 нм, при этом разрешение ≤ 38 нм. Максимальное уменьшение равно 1/4, числовая апертура — 1,35, максимальная площадь экспозиции — 26 x 33 мм. Применение компоновки Modular2, по словам компании, упрощает установку и техническое обслуживание изделия.

Иммерсионный сканер Nikon NSR-S621D способен обработать за час 200 пластин с точностью совмещения слоев не хуже 2 нм

Оборудование такого уровня сейчас очень востребовано в связи с переходом отрасли в серийном производстве на техпроцессы следующего поколения. В техпроцессах 20-нанометрового класса для формирования наиболее важных слоев применяется иммерсионная литография с аргон-фторидным лазером и двойным формированием рисунка. При этом опора на существующую платформу Streamlign Platform помогает свести к минимуму затраты, получить высокие показатели производительности и выхода годной продукции.

Источник: Nikon

1 февраля 2012 Г.

21:58

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Samsung откроет шоурум в футуристическом торговом центре Лондона: Samsung займёт верхний этаж ТЦ Coal Drops Yard своим демонстрационным центром25

Qualcomm и Mercedes-AMG Petronas Motorsport расширили стратегическое сотрудничество: Они будут вместе разрабатывать высокоскоростную связь и беспроводное питание для гоночных машин2

Razer оценила web-камеру Kiyo и микрофон Seiren X в 100 долларов за каждую новинку: Razer представила web-камеру Kiyo и микрофон Seiren 3

FAA предлагает запретить провоз камер и других электронных устройств в багаже: Международная организация гражданской авиации (ICAO) планирует обсудить предложение FAA в ближайшее время27

Смартфон Huawei Mate 10 Pro в рейтинге DxOMark обошёл Samsung Galaxy Note 8 и Apple iPhone 8 Plus: Смартфон Huawei Mate 10 Pro в рейтинге DxOMark заработал 97 баллов54

Amazon и eBay обвинили в попустительстве мошенничеству с НДС: По оценке налогового департамента, только в прошлом и позапрошлом году недополучено 1-1,5 млрд фунтов стерлингов13

Еще одна версия Xiaomi Mi Notebook Air 13 по характеристикам оказалась хуже предыдущей : 46

Камера Detu F4 Plus снимает сферические панорамы с разрешением 8К: Камера F4 Plus позиционируется как профессиональное решение и стоит $25994

Смартфон HTC U11 Plus получит степень защиты IP68, Edge Sense и Boom Sound, но не будет представлен 2 ноября : ЖК-дисплей устройства будет иметь диагональ 6 дюймов при разрешении WQHD+ и плотности пикселей 538dpi10

Samsung Artik s — защищенные беспроводные вычислительные модули для IoT: Платформа Samsung Artik IoT будет полностью интегрирована с платформой SmartThings Cloud

Уже выпущенные телевизоры LG получат поддержку звука в формате Dolby TrueHD: Прошивка будет выпущена до конца месяца10

Опубликованы новые изображения смартфона Meizu X2, который оснащен дополнительным круглым дисплеем: Meizu X2 должен выйти в линейке Blue Charm и относиться к среднему ценовому сегменту11

Платформа для оперативной доставки и распределения финансовой информации nxFeed FPB2 построена на FPGA Xilinx Virtex UltraScale+: Платформа nxFeed FPB2 превосходит решения предыдущего поколения по производительности на 30%

Dodocool предлагает кабель для зарядки iPhone и iPad в форме брелока для ключей: 7

В базе TENAA замечен загадочный смартфон HTC с дактилоскопическим датчиком на задней панели: Основой HTC 2Q4D200 служит SoC с восьмиядерным процессором

В семействе АС Google Home появится модель Quartz с экраном: Напомним, дисплеями оснащены такие умные АС, как Amazon Echo и Echo Spot1

Умная акустическая система 808 Audio XL-V обеспечивает доступ к голосовому помощнику Amazon Alexa : Умная акустическая система 808 Audio XL-V стоит $130

По статистике Chrome, доля защищенного трафика на платформе Android за год выросла с 42% до 64%: Переход на HTTPS продолжается4

Опубликованы изображения 3D-карт Asus GeForce GTX 1070 Ti Turbo и ROG Strix GTX 1070 Ti Gaming: Сведений о частотах компонентов 3D-карт Asus GeForce GTX 1070 Ti Turbo и ROG Strix GTX 1070 Ti Gaming пока нет

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A3 формата APS-C со сменными объективами

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать