Современное полупроводниковое производство построено на использовании пластин-подложек диаметром не более 300 мм. Хотя разговоры о переходе к пластинам диаметром 450 мм идут достаточно давно, практическое движение в указанном направлении сдерживается многими факторами. Прежде всего, прогресс упирается в колоссальные затраты, связанные с переоборудованием.
На этой неделе инициативу проявила компания Altatech Semiconductor SA, выпустившая систему контроля подложек AltaSight DarkView. Такие системы служат для обнаружения дефектов в пластинах перед началом их использования.
В AltaSight DarkView применена подсветка на нескольких длинах волн и технология рассеивания лазерного луча, объединенная с системой сбора света, что позволяет одновременных выполнять несколько тестов на передней, задней и боковых поверхностях пластин диаметром до 100 до 450 мм.
Как утверждается, бесконтактный метод инспекции позволяет обнаружить 100% дефектов за один проход. Минимальный размер дефектов, которые выявляет система, равен 50 нм. Пропускная способность — 100 пластин в час.
Примем заказов уже начат. Отправка AltaSight DarkView заказчикам начнется в январе 2012 года.
Источник: Altatech Semiconductor