Globalfoundries рассматривает возможность использования безмасочной технологии при переходе к нормам менее 20 нм

1174

Производители полупроводниковой продукции продолжают осваивать более тонкие нормы техпроцесса, приближаясь к моменту, когда придется выбрать новую технологию литографии.

Компании по-разному выстраивают свою стратегию. В частности, Globalfoundries предлагает единственный вариант 28-нанометрового техпроцесса — с использованием диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной и металлическими затворами (high-k/metal-gate). Основной конкурент, TSMC, предлагает как этот вариант, так и вариант с затворами из поликристаллического кремния. Кроме того, TSMC настойчиво стремится к использованию 450-миллиметровых пластин, тогда как Globalfoundries и другие участники альянса во главе с IBM не спешат с переходом на пластины большего диаметра.

Globalfoundries высоко оценивает потенциал EUV и недавно стала проявлять больший интерес к безмасочной литографии. В свою очередь, TSMC делает ставку именно на отказ от масок, но не списывает со счетов и EUV. Партнером TSMC по поставке оборудования выступает ASML Holding NV. Globalfoundries работает сразу с двумя поставщиками — ASML и Nikon. В прошлом году у ASML было заказано серийное оборудование для EUV.

Начиная с 45-нанометрового техпроцесса, Globalfoundries применяет иммерсионную литографию с длиной волны 193 нм. По мнению компании, эта технология позволит дойти, по крайней мере, до норм 20 нм. На этапе 20 нм Globalfoundries планирует предложить заказчикам два варианта техпроцесса: EUV и иммерсионный, с длиной волны источника 193 нм и двойными шаблонами. Ожидается, что EUV будет дешевле, но пока эта технология далека от серийного производства.

Компания рассчитывает установить оборудование для EUV, заказанное у ASML, во второй половине 2012 года. Тогда же начнется пилотное производство, к 2013 году будут приняты первые заказы на выпуск по нормам 22 и 20 нм, а к 2014 или 2015 году компания надеется использовать EUV в массовом производстве.

С какой технологией будет связано дальнейшее продвижение в микромир, пока неясно. Известно лишь, что компания рассматривает возможности безмасочной литографии. Сейчас эту технология считают перспективной для выпуска небольших партий продукции и изготовления заказных больших интегральных схем.

Источник: EE Times

3 марта 2011

19:25

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Смартфон HomTom S8 также копирует дизайн Samsung Galaxy S8: Цена устройства составит 190 долларов

Процессоры Intel Core восьмого поколения не будут дороже актуальных CPU: Intel не поднимет цены на CPU при выходе Coffee Lake

AMD пока не может гарантировать наличия в магазинах видеокарт Radeon RX Vega 64 по рекомендованным ценам: AMD призналась в дефиците карт Vega

Смартфон Xiaomi Redmi Note 5A первым в серии получит два выделенных слота для SIM-карт и слот для карты памяти: Одна из версий Xiaomi Redmi Note 5A получит фронтальную камеру разрешением 16 Мп со светодиодной вспышкой

Hyundai сконцентрируется на электромобилях вместо машин на топливных элементах : Hyundai увеличит объёмы выпуска электромобилей

Samsung Pay отмечает два года, сумма платежей составила $8,77 млрд: Samsung Pay в данный момент работает в 18 странах мира

Samsung готовится к глобальному запуску Bixby: Персональный помощник по-прежнему недоступен во многих странах мира

Умные кроссовки Xiaomi Free Tie Leather оценены в $30: Кроссовки оснащены светодиодной подсветкой, процессором, а также модулем Bluetooth 4.0

Семейство 3D-карт Colorful iGame Vulcan X пополнили модели GTX 1080 Ti, GTX 1080, GTX 1070 и GTX 1060: Общей чертой этих 3D-карт является система охлаждения, в кожух которой встроен жидкокристаллический индикатор

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет1

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать