Globalfoundries рассматривает возможность использования безмасочной технологии при переходе к нормам менее 20 нм

ПредыдущаяСледующая
1174

Производители полупроводниковой продукции продолжают осваивать более тонкие нормы техпроцесса, приближаясь к моменту, когда придется выбрать новую технологию литографии.

Компании по-разному выстраивают свою стратегию. В частности, Globalfoundries предлагает единственный вариант 28-нанометрового техпроцесса — с использованием диэлектриков с высокой диэлектрической постоянной и металлическими затворами (high-k/metal-gate). Основной конкурент, TSMC, предлагает как этот вариант, так и вариант с затворами из поликристаллического кремния. Кроме того, TSMC настойчиво стремится к использованию 450-миллиметровых пластин, тогда как Globalfoundries и другие участники альянса во главе с IBM не спешат с переходом на пластины большего диаметра.

Globalfoundries высоко оценивает потенциал EUV и недавно стала проявлять больший интерес к безмасочной литографии. В свою очередь, TSMC делает ставку именно на отказ от масок, но не списывает со счетов и EUV. Партнером TSMC по поставке оборудования выступает ASML Holding NV. Globalfoundries работает сразу с двумя поставщиками — ASML и Nikon. В прошлом году у ASML было заказано серийное оборудование для EUV.

Начиная с 45-нанометрового техпроцесса, Globalfoundries применяет иммерсионную литографию с длиной волны 193 нм. По мнению компании, эта технология позволит дойти, по крайней мере, до норм 20 нм. На этапе 20 нм Globalfoundries планирует предложить заказчикам два варианта техпроцесса: EUV и иммерсионный, с длиной волны источника 193 нм и двойными шаблонами. Ожидается, что EUV будет дешевле, но пока эта технология далека от серийного производства.

Компания рассчитывает установить оборудование для EUV, заказанное у ASML, во второй половине 2012 года. Тогда же начнется пилотное производство, к 2013 году будут приняты первые заказы на выпуск по нормам 22 и 20 нм, а к 2014 или 2015 году компания надеется использовать EUV в массовом производстве.

С какой технологией будет связано дальнейшее продвижение в микромир, пока неясно. Известно лишь, что компания рассматривает возможности безмасочной литографии. Сейчас эту технология считают перспективной для выпуска небольших партий продукции и изготовления заказных больших интегральных схем.

Источник: EE Times

3 марта 2011 Г.

19:25

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Компания Megabots хочет провести первый в мире турнир по боям огромных роботов: В следующем году может быть проведёт первый турнир по боям гигантских роботов1

Видео дня: робот Boston Dynamics Atlas делает сальто назад: Робот Boston Dynamics Atlas научился запрыгивать на препятствия3

Смартфон Samsung Galaxy J2 Pro в новом поколении наконец-то получит современную платформу: Стали известны детали о смартфонах Samsung Galaxy J2 Pro и Galaxy J5 Prime нового поколения7

Volkswagen собирается выделить на электромобили и самоуправляемые машины более 34 млрд евро: Общая сумма инвестиций на период до 2022 года примерно равна 72 млрд евро

Китай намерен создать космический корабль с ядерным двигателем: Ядерные космические корабли могут стать реальностью63

PowerColor похвасталась изображениями видеокарты Radeon RX Vega 64 Red Devil: Radeon RX Vega 64 Red Devil получит 12-фазную подсистему питания6

Набор модулей памяти G.Skill Trident Z DDR4-4400 суммарным объемом 32 ГБ работает с задержками CL19-19-19-39: По словам производителя, это самый быстрый набор DDR4 такого объема6

Samsung продолжит использовать в смартфонах тепловые трубки: По крайней мере, в 2018 году24

Virgin Hyperloop One изучает возможность строительства в Индии сети маршрутов высокоскоростных поездов: О сроках реализации проекта пока данных нет16

997
1318

iXBT TV

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

  • Обзор видеокамеры Canon XF405: съемка 4K-видео с высокой частотой кадров

1212

Календарь

март
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать