1220

Samsung Electronics получила первую установку для EUV-литографии

1174

Компания ASML Holding NV, специализирующаяся на выпуске оборудования для полупроводникового производства, отгрузила первую в мире предсерийную установку для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV), которую сам производитель относит ко второму поколению этой продукции. Хотя ASML молчит на этот счет, по некоторым данным, получателем системы NXE:3100 является компания Samsung Electronics. Южнокорейский производитель рассчитывает использовать технологию EUV-литографии для выпуска памяти типа DRAM по нормам менее 20 нм.

Еще пять систем NXE:3100 находятся в разной степени готовности. Они будет отгружены заказчикам до середины года. Предполагается, что это оборудование получат Intel, Toshiba, TSMC, Hynix и IMEC.

Разрешение NXE:3100 равно 27 нм, числовая апертура (NA) — 0,25, при этом достигается точность позиционирования не хуже 4,5 нм, а пропускная способность равна 60 пластин в час. Цена предсерийного образца EUV-сканера составляет почти 90 млн. долларов. По некоторым оценкам, за вариант, подходящий для серийного производства, компания запросит 125 млн. долларов.

Пока неясно, насколько EUV-литография готова к использованию в производстве, поскольку разработка источников энергии и других компонентов отстает от графика. Проблемой остается пропускная способность, еще не достигшая уровня, необходимого для серийного производства, отмечает источник.

Компания Nikon, выступающая конкурентом ASML, полагает, что EUV не будет готова к использованию при переходе на нормы 22 нм. Пока японский производитель создал две тестовые установки для EUV. Одна находится в самой компании, а вторую получила японская научно-исследовательская организация Selete.

Источник: ASML, EE Times

6 февраля 2011 Г.

12:26

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Ремонтопригодность смартфона iPhone 8 всего на один балл ниже, чем у iPhone 7: iPhone 8 заработал у iFixit шесть баллов41

Некоторые владельцы Apple Watch Series 3 с модемом LTE столкнулись с проблемами, однако проблема не носит массовый характер: Представители Apple уже признали факт существовать проблем, пообещав выпустить соответствующее обновление в максимально сжатые сроки20

По словам Тима Кука, смартфоны iPhone 8 и умные часы Apple Watch Series 3 в первый день раскупили во многих магазинах : 40

Смартфон Asus Zenfone 5 будет выпущен в марте 2018: Asustek планирует попасть в семерку самых прибыльных производителей смартфонов6

Apple назвала 8 причин, за которые стоит любить iPhone 8: Вчера в продажу поступили новые смартфоны компании Apple50

GPU Vega 11 может получить 2048 потоковых процессоров и 4 ГБ памяти HBM2: AMD готовит 13 графических карт на основе GPU Vega 1113

Замена заднего стекла в смартфонах iPhone 8 будет стоить существенно больше, чем вы думаете: Заменить заднее стекло в iPhone 8 обойдётся покупателям в 350 долларов82

Процессор Intel Core i7-8700K сравнили с основными конкурентами в ряде тестов: Intel Core i7-8700K может составить конкуренцию старшим Ryzen 730

Приставка Apple TV 4K не способна воспроизводить видео 4K на YouTube: Пользователям Apple TV 4K при просмотре YouTube придётся довольствоваться видео Full HD 54

405
1318

iXBT TV

  • Обзор кухонных весов Unit UBS-2155

  • Обзор беззеркальной среднеформатной камеры со сменной оптикой Hasselblad X1D

  • Обзор дегидратора Gochu D-310 с возможностью одновременной сушки разных продуктов

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C7030 формата A3

  • Обзор аккумуляторного секатора Stihl HSA 25 со сменными ножами

  • Начало новой эры? Чем iPhone X отличается от iPhone 8

  • Обзор полнокадровой зеркальной фотокамеры Nikon D850

  • Обзор робота-пылесоса Unit UVR-8000 с функцией протирки гладких полов

  • Смартфон с отличной камерой, мышь с трэкболом, электромобили будущего

  • Обзор российского смартфона Inoi R7 на операционной системе Sailfish OS 2

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Compact (FC8776/01) уменьшенной высоты

  • Мышь для точной стрельбы HyperX Pulsefire FPS + обзор коврика для мыши HyperX Fury S

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать