Intel надеется на иммерсионную литографию в освоении норм 11 нм

1174

В конце прошлой недели, на мероприятии LithoVision 2010, Intel рассказала о планах развития литографической технологии. Коротко говоря, компания снова продлевает жизнь иммерсионной литографии и откладывает переход на использование излучения в жестком ультрафиолетовом диапазоне (EUV). Источники с длиной волны 193 нм будут применяться при производстве с соблюдением норм 11 нм.

В настоящее время для производства 45-нанометровых логических микросхем Intel использует «сухие» 193-нанометровые сканеры. В 2009 году на предприятия поступило первое иммерсионное оборудование с длиной волны 193 нм (сканеры производства Nikon), которое позволяет выпускать 32-нанометровые чипы.

Ранее, Intel надеялась использовать EUV при переходе к нормам 22 нм, запланированном на 2011 год. Проблема заключается в том, что технология EUV не будет готова к сроку, когда должен начаться выпуск продукции по нормам 22 и даже 15 нм. По данным источника, ссылающегося на слова ведущего специалиста Intel по литографической технологии, компания рассчитывает использовать 193-нанометровую иммерсионную литографию на этапе, соответствующем нормам 22 нм. Более того, компания подтвердила, что может расширить применение указанной технологии и на нормы 15 нм, освоение которых намечено на 2013 год. Пока 193-нанометровая иммерсионная литография остается единственным претендентом на использование в серийном производстве с соблюдением норм 15 нм.

На шаге 15 нм начнется пилотное производство с применением EUV. Однако и на следующем шаге, 11 нм, Intel надеется продолжать использовать 193-нанометровую иммерсионную литографию, но уже одновременно с EUV.

Источник: EE Times

24 февраля 2010

09:20

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Пятикилограммовая портативная АС JBL Boombox работает без подзарядки 24 часа: Цена колонки составит около 515 долларов1

Смартфон ZTE TL99 с камерой разрешением 20 Мп появился в базе данных TENAA: Основой устройства служит неназванная однокристальная система с четырехъядерным процессором

Ассортимент Xilence Technology пополнили блоки питания серии Performance X: Блоки питания Xilence Performance X снабжены защитой от разнообразных нештатных ситуаций

Рекламная брошюра Samsung Galaxy Note 8 подтверждает информацию о возможностях устройства: Samsung Galaxy Note 8 представят 23 августа

Отделы исследований и разработок Samsung и LG получат в этом году рекордные суммы : Затраты на исследования и разработки Samsung и LG за первые шесть месяцев года составили 7,1% и 6,9% от доходов компаний соответственно1

BlackBerry прислушалась к критике и усилила конструкцию смартфона Keyone: BlackBerry усилила смартфон Keyone

Bluboo S2 станет первым безрамочным смартфоном с четырьмя камерами и оптическим дактилоскопическим датчиком: Соотношение сторон экрана составит 18:9, он будет занимать 91,6% площади лицевой панели1

Аналитики Juniper Research назвали три страны, которые будут лидерами внедрения 5G: По прогнозу Juniper Research, к 2025 году число подключений 5G достигнет 1,4 млрд 2

Новое поколение Apple Watch поможет компании продать 20 млн умных часов в следующем году: Apple сможет существенно нарастить продажи умных часов

Обновлена серия вентиляторов Noctua IndustrialPPC, рассчитанных на напряжение питания до 24 В: В новых моделях используется микросхема драйвера NE-FD4

Подтверждены цены и параметры смартфона YotaPhone 3: YotaPhone 3 будет стоить от 360 до 480 долларов3

Для Lenovo минувший квартал оказался убыточным, хотя средняя цена ПК и планшетов выросла: Компания Lenovo отчиталась за первый квартал 2017/2018 финансового года

Дизайнер Xiaomi Mi Mix 2 показал, как будет выглядеть новый безрамочный смартфон: По слухам, новинка может выйти в сентябре5

В AnTuTu доминируют смартфоны с SoC Snapdragon 835: iPhone 7 Plus, который был свергнут с позиции лидера в мае этого года, переместился уже на шестую строчку3

Опубликованы фотографии беспроводных ЗУ для новых смартфонов iPhone: Ожидается, что все три новых смартфона iPhone получат поддержку беспроводной зарядки9

Опубликованы характеристики SoC Kirin 970: Новая однокристальная система будет поддерживать сдвоенные камеры с максимальным разрешением до 42 Мп2

Смартфон Meizu M6 Note может получить влагозащищенный корпус: Версия с 4 ГБ ОЗУ будет стоить около $235

На карте расширения Alphacool HDX5 расположен контроллер RAID, два слота M.2 и два порта SATA, а в комплект входят два радиатора: C помощью Alphacool HDX5 накопители можно объединять в массив RAID 0 или 116

Модули памяти Galax DDR4-4133 HOF Extreme Limited Edition с хромированными радиаторами выпущены очень небольшой партией: Комплекты суммарным объемом 16 ГБ включают по два модуля DDR4-41336

В Apple изобрели акустическую систему в виде массива излучателей, учитывающую местонахождение слушателя: Заявки на патенты уже поданы21

Доход Alibaba Group в прошлом квартале превысил 7,4 млрд долларов: Чистая прибыль Alibaba Group — 2,070 млрд долларов

Samsung добавила своим умным телевизорам поддержку ПО Shazam: Shazam теперь работает и на умных телевизорах Samsung6

Водоблок Alphacool Eisblock Flatboy предназначен для процессоров AMD Ryzen Threadripper : Пока изделие находится в стадии прототипа2

Фотогалерея дня: смартфон Samsung Galaxy Note8 предстал на «живых» снимках: Samsung Galaxy Note8 позирует живьём8

Asus обновит до Android O все смартфоны семейств ZenFone 4 и ZenFone 3: Смартфоны Asus ZenFone 3 тоже получат Android O3

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать