Главная » Новости » 2008 » 07 » 28 28 июля 2008

По мнению специалистов MIT, оптическая литография позволит дойти до норм 12 нм

Оптическую литографию можно будет использовать при производстве полупроводниковых микросхем по нормам 12 нм, утверждают исследователи Массачусетского технологического института (MIT). Пока им удалось продемонстрировать возможность формирования линий толщиной 25 нм с помощью разработки, получившей название литографии с интерференцией луча развертки.

Ученые полагают, что эта же самая технология позволит работать с разрешением, по меньшей мере, до 12 нм. По их словам, при дальнейшем продвижении вперед основными основными ограничивающими факторами становятся шероховатость материалов и невозможность наблюдать столь малые структуры.

В интерференционной литографии используется два лазера с разной рабочей частотой. За счет их интерференции формируется дифракционная картина с гораздо более высоким разрешением, чем обеспечивает любой из лазеров отдельно. Ограничения, не связанные с оптическими факторами, ограничивают применение интерференционной литографии процессами проверки фоторезиста, а не реальным формированием элементов электронных цепей на поверхности пластины.

Добавив возможность развертки или сканирования, ученые рассчитывают перевести интерференционную литографию в разряд коммерчески применимых технологий производства чипов по нормам 25 нм и менее.

В обычной литографии полупроводниковая пластина остается неподвижной, а в интерференционной она все время движется. К сожалению, перемещение пластины относительно лазеров приводит к доплеровскому смещению частот. Это становится причиной нерегулярностей в дифракционной картине, что препятствует практическому применению технологии. По словам исследователей из MIT, проблему удалось решить, воздействуя на пластину ультразвуковыми волнами с частотой 100 МГц, компенсирующими нежелательный эффект.

Коммерциализацией разработки будет заниматься компания Plymouth Grating Laboratory, созданная руководителем проекта.

Источники: EE Times, Plymouth Grating Laboratory, MIT

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2008

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.