Nikon анонсирует иммерсионный сканер для освоения норм 32 нм

ПредыдущаяСледующая
1174

Корпорация Nikon объявила о намерении выпустить иммерсионный сканер для технологии двойного экспонирования с двойным шаблоном (Double Patterning, DP), который будет основан на известной платформе NSR-S610C. Как утверждается, заказчики получат сканер в четвертом квартале текущего года. Усовершенствования, выполненные в NSR-S610C, позволили удовлетворить критические требования по совмещению, предъявляемые указанной технологией. Таким образом, Nikon удалось, что называется, «малой кровью» — в данном случае, с минимальным техническим риском, поскольку используется уже опробованное в серийном производстве оборудование — проложить дорогу к освоению более тонких норм техпроцесса, к тому же, сохранив все достоинства платформы Tandem Stage и технологии Local Fill Technology.

Иммерсионная литография показала свой потенциал, как средство серийного 45-нм производства. При переходе к нормам 32 нм, наиболее вероятным кандидатом на роль технологии массового выпуска претендует иммерсионная литография с DP. Коротко говоря, она заключается в разделении одного шаблона с плотным размещением элементов на два, в которых элементы расположены дальше друг от друга — настолько, что работать с каждым из них можно с помощью существующих инструментов. Выполнив экспозицию дважды — по одному разу для каждого шаблона — можно получить такое же плотное размещение элементов на поверхности полупроводниковой пластины, как было на исходном шаблоне.

Очевидно, что одной из ключевых особенностей этой технологии, образно говоря, бросающих вызов разработчикам, является необходимость чрезвычайно точного совмещения двух шаблонов. Поскольку окончательное смещение определяется, как сумма двух смещений (по одному для каждой экспозиции), пространство для маневра существенно сокращается: в настоящее время допустимые пределы смещения не превышают 3-4 нм (для одной экспозиции).

Между тем, освоение норм 32 нм в серийном производстве намечено на 2011-2013 годы. Чтобы осуществить эти планы, необходимо перейти к созданию соответствующей технологии в конце 2008 или в начале 2009 года.

Источник: Nikon

21 февраля 2008 Г.

00:07

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В Денвере хотят построить сеть наземных тоннелей, схожих по своей идее с теми, что строит The Boring Company: В Денвере построят наземный аналог тоннелей The Boring Company22

Компания Wal-Mart уже заказала 15 грузовиков Tesla Semi: Компания Wal-Mart серьёзно заинтересовалась электрическими грузовиками Tesla Semi42

Производство гибких панелей AMOLED опережает спрос: Популярность экранов 18:9 сказалось на спросе на гибкие панели AMOLED3

Простой патч для одной из современных игр позволил повысить производительность Radeon RX Vega 64 на 22%: Radeon RX Vega 64 после патча для Wolfenstein II: The New Colossus обгоняет GTX 1080 Ti18

Tesla выпустила свой портативный аккумулятор для смартфонов: Tesla Powerbank стоит 45 долларов19

E Ink отметила рост всех основных финансовых показателей: E Ink показала отличные финансовые результаты

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году68

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI6

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года19

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже1

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать