Super-k: VESTA Technology и ATDF создали альтернативу пленкам на основе оксидов гафния и циркония

ПредыдущаяСледующая
1174

Специалисты компаний VESTA Technology и ATDF, создали пленки со сверхвысокой диэлектрической постоянной (Super High-k или Super-k) – новый продукт для полупроводникового производства, работающего с пластинами диаметром 200 и 300 мм. Одновременно с анонсом этой пленки представлена технология, которая открывает новые возможности в процессе низкотемпературной обработки пластин.

После нанесения, пленки Super-k имеют диэлектрическую постоянную (k) примерно вдвое более высокую, чем у пленок на основе «революционного» оксида гафния (HfO2) и оксида циркония (ZrO2). В сочетании с системой нанесения пленок осаждением атомарных слоев (atomic-layer deposition, ALD, в отечественной литературе иногда используется термин «молекулярное наслаивание»), созданной специалистами VESTA, пленки Super-k позволят производителям формировать емкости для ячеек DRAM и структуры флэш-памяти по нормам 45 нм. Кстати, интересующиеся ALD могут посмотреть весьма наглядный ролик, демонстрирующий суть технологии. (Внимание! Размер ролика – 9,6 Мб).

Созданию пленки Super-k предшествовала многомесячная совместная работа VESTA и ATDF.

Что касается упомянутой выше технологии для низкотемпературной обработки пластин, VESTA и ATDF предложили неразрушающий процесс, который позволяет наносить пленки на основе нитрида титана (TiN), не содержащие углерода, при температурах на 30% ниже, чем ранее.

По утверждению разработчиков, эта технология открывает новую эру, связанную с применением низких температур (350°C) в процессах, раньше доступных только при температурах выше 500°С. В частности, речь идет о формировании кремненикелевых интегральных приборов (NiSi) и других структур, обычно формируемых химическим осаждением паров (chemical-vapor deposition, CVD).

Источник: ATDF

15 июля 2007 Г.

10:44

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В Денвере хотят построить сеть наземных тоннелей, схожих по своей идее с теми, что строит The Boring Company: В Денвере построят наземный аналог тоннелей The Boring Company8

Компания Wal-Mart уже заказала 15 грузовиков Tesla Semi: Компания Wal-Mart серьёзно заинтересовалась электрическими грузовиками Tesla Semi17

Производство гибких панелей AMOLED опережает спрос: Популярность экранов 18:9 сказалось на спросе на гибкие панели AMOLED1

Простой патч для одной из современных игр позволил повысить производительность Radeon RX Vega 64 на 22%: Radeon RX Vega 64 после патча для Wolfenstein II: The New Colossus обгоняет GTX 1080 Ti13

Tesla выпустила свой портативный аккумулятор для смартфонов: Tesla Powerbank стоит 45 долларов17

E Ink отметила рост всех основных финансовых показателей: E Ink показала отличные финансовые результаты

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году62

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI5

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года19

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже1

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать