Лазер Cymer XLR 600i мощностью 90 Вт позволит производителям освоить нормы 32 нм и менее

1174

С 16 по 20 июля в Сан-Франциско пройдет конференция производителей полупроводниковой продукции SEMICON West 2007. В преддверии этого мероприятия, компания Cymer, основной мировой поставщик лазерных источников дальнего УФ-излучения (DUV), используемых в полупроводниковом производстве, представила лазер XLR 600i.

Устройство имеет выходную мощность 90 Вт и работает на частоте 193 нм. Это первый источник такой мощности на фториде аргона (ArF). Утверждается, что преимущества The XLR 600i по части производительности и доступности обеспечат производителям возможность массового выпуска продукции по самым совершенным технологиям литографии при одновременном снижении издержек.

В конструкцию лазера легли решения, проверенные на предыдущих разработках компании – лазерах XLR 500i и XLA 300. В частности, вместо каскада усиления мощности используется кольцевая рециркуляция (Recirculating Ring), а частота следования импульсов равна 6 кГц, что положительно сказывается на стабильности энергии импульса и позволяет точнее дозировать энергию. В свою очередь, это дает возможность точно соблюдать так называемые «критические размеры». Кроме того, в XLR 600i используется технология Advanced Bandwidth Stabilization (ABS), которая повышает предсказуемость и повторяемость результатов. Производитель отмечает экономичность XLR 600i – за счет применения технологии Gas Lifetime Extension (GLX), новый лазер в десять раз реже нуждается в «дозаправке» газом.

Напомним, в свое время компания Cymer выпустила первый в мире лазерный источник на базе ArF с частотой следования импульсов 6 кГц, предназначенный для серийного производства 45-нм полупроводниковых приборов. Предполагается, что новый лазер позволит применять иммерсионную фотолитографию с двойным шаблоном при переходе к нормам 32 нм и менее.

Источник: Cymer

13 июля 2007

19:49

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет

Видеокарта Radeon Vega 64 Liquid Cooled Edition оснащена ЖСО Cooler Master, благодаря которой температура GPU составляет 53 градуса: Radeon Vega 64 Liquid Cooled Edition разобрали и запечатлели внутреннее строение7

Процессоры Ryzen Threadripper 1950X и Core i9-7960X установили несколько рекордов: CPU Core i9-7960X установил два мировых рекорда7

3D-карта Asus Radeon RX Vega 64 Strix в сравнении с референсом работает на больших частотах, но с большим потреблением энергии: Появились тесты Asus Radeon RX Vega 64 Strix9

Apple может стать первой компанией, чьи умные часы массово будут использоваться в медицинских целях: Apple ведёт переговоры с Aetna50

Наушники Apple EarPods и AirPods будут лучше держаться в ушной раковине с аксессуаром Dodocool: Цена набора в данный момент составляет 10 долларов16

Смартфон Doogee BL7000 получил три датчика изображения Samsung ISOCELL и аккумулятор емкостью 7060 мА•ч: На стадии предзаказа смартфон предлагается по цене 160 долларов11

Анонс камеры Nikon D850 ожидается 24 августа: Поставки Nikon D850 могут начаться уже в середине сентября9

Смартфон Samsung Galaxy Note8 «засветился» на сайте производителя: Кроме того, опубликовано два видеоролика с участием Samsung Galaxy Note8

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать