Главная » Новости » 2007 » 06 » 26 26 июня 2007

Intel рассматривает обратную литографию, как альтернативу EUV

Столкнувшись с задержками в разработке EUV-литографии, компания Intel решила подстраховаться, уделив внимание технологиям, которые способны открыть резервы применения оптических сканеров в техпроцессах с нормами до 22 нм.

В частности, Intel работает над тем, что компания называет «вычислительной литографией» (computational lithography). По словам источника, это вариант так называемой обратной литографии. Обратная литография, EUV и double patterning находятся в числе кандидатов, которые Intel оценивает на роль технологии для 22-нм (полушаг норм 32 нм) логических микросхем.

Обратная литография, как следует из ее названия, построена на обратном ходе при изготовлении масок, отталкивающемся от заданных результатов. Попросту говоря, форму маски «вычисляют» по рисунку, который она должна оставить на пластине в результате экспонирования. Такой подход связан с разработкой специальных алгоритмов и интенсивными математическими операциями. Зато он позволяет решить многие проблемы, возникающие при переходе к условиям, когда формируемые в ходе литографии элементы должны быть значительно меньше длины волны излучения, используемого для экспонирования, и, как ожидается, поможет расширить действие оптической литографии за предел 45 нм.

Другими словами, обратная литография поможет отсрочить потребность в EUV-литографии, которая и так уже припозднилась из-за технических проблем. Сейчас в планах Intel – освоить применение EUV для производства 22-нм логических чипов к 2011 году.

Пока EUV технология не готова. Более того, поскольку сроки ее предполагаемой готовности соответствуют срокам ожидаемого перехода отрасли на 22-нм нормы, некоторые наблюдатели сомневаются, что EUV вообще выйдет на стадию практического применения. Кроме чисто технических проблем, есть и другие – например, высокая стоимость оборудования для EUV: эксперты называют цифры порядка 70-100 млн. долл.

Источник: EE Times

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



июнь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2007

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.