Главная » Новости » 2007 » 01 » 12 12 января 2007

Ученые играют в «лего» кремниевыми пластинами

Исследователи из университета, расположенного в английском Саутгемптоне (University of Southampton), разработали технологию, которая позволит точно и недорого группировать пластины кремния в объемные структуры.

Одна из наиболее заметных сложностей при изготовлении «многоэтажных» полупроводниковых микросхем связана с точным позиционированием слоев. Другими словами, возникает задача совмещения структур, находящихся на разных пластинах.

Принятый учеными подход строится на формировании на поверхности пластин своеобразных выпуклых «пирамидок» и вогнутых ямок. Иначе говоря, для выравнивания пластин используются элементы, напоминающие те, что используются в популярном детском конструкторе. После обработки, пластины успешно совмещаются друг с другом. Точность, продемонстрированная участниками проекта, соответствует линейному размеру 200 нм.

На начальном этапе были попытки использовать оптические методы для выравнивания пластин, однако, они требуют значительных затрат времени и часто приводят к ошибкам.

Новая разработка получила название «метод эффективного пассивного выравнивания для достижения совмещения с наноточностью». Важным преимуществом нового метода является экономичность.

Источник: EE Times

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



Sorry, temp error.
январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2007
Sorry, temp error.

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.