Главная » Новости » 2007 » 01 » 12 12 января 2007

Ученые играют в «лего» кремниевыми пластинами

Исследователи из университета, расположенного в английском Саутгемптоне (University of Southampton), разработали технологию, которая позволит точно и недорого группировать пластины кремния в объемные структуры.

Одна из наиболее заметных сложностей при изготовлении «многоэтажных» полупроводниковых микросхем связана с точным позиционированием слоев. Другими словами, возникает задача совмещения структур, находящихся на разных пластинах.

Принятый учеными подход строится на формировании на поверхности пластин своеобразных выпуклых «пирамидок» и вогнутых ямок. Иначе говоря, для выравнивания пластин используются элементы, напоминающие те, что используются в популярном детском конструкторе. После обработки, пластины успешно совмещаются друг с другом. Точность, продемонстрированная участниками проекта, соответствует линейному размеру 200 нм.

На начальном этапе были попытки использовать оптические методы для выравнивания пластин, однако, они требуют значительных затрат времени и часто приводят к ошибкам.

Новая разработка получила название «метод эффективного пассивного выравнивания для достижения совмещения с наноточностью». Важным преимуществом нового метода является экономичность.

Источник: EE Times

Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2007

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.