ADI о MEMS: история, современность и перспективы

ПредыдущаяСледующая
1174

Как мы недавно сообщали, технологии микроэлектромеханических систем (MEMS) находятся на пороге мирового признания и сулят огромную выгоду, что привело к появлению на рынке немалого количества фирм-новичков. Однако, среди тех, кто производит и разрабатывает MEMS-системы, есть и такие мэтры, как Analog Devices (ADI), создавшая свой первый датчик ускорения в 1989 году. С той поры утекло немало воды, а компания поставила сотни миллионов датчиков ускорения (акселерометров) для автомобильной промышленности, но в бытовой электронике «засветилась» лишь в этом году с порядка миллиона трехмерных акселерометров для Nintendo Wii.

В дальнейшем, ADI планирует расширить диапазон применения MEMS на такие сферы, как микрофоны/акустические датчики, медицинское оборудование/системы направленного действия медикаментов, высокочастотные резонаторы и фильтры, а также в новых поколениях высокоточных измерительных приборов.

Первый акселерометр, над которым в компании начали работать в 1987-1988 годах совместно с профессором Бостонского университета Стивеном Шерманом, и который применяется в подушках безопасности, изначально задумывался как сенсор для настраиваемой под различные дорожные условия подвески. Однако, именно применение акселерометра позволило заменить несколько сенсоров удара, расположенных по всему корпусу автомобиля, на один, намного более дешевый и достаточно надежный.

ADI была одной из первых, кто создал технологию производства механических структур MEMS на КМОП (CMOS) электронном кристалле. В этой технологии при обработке полупроводниковой подложки по BiCMOS-процессу (для создания биполярных транзисторов), требующему высоких температур, в центре кристалла остается место для поликристаллических низкотемпературных MEMS-структур.

В дальнейшем, компании удалось достаточно легко создать сенсор, измеряющий ускорение в двух ортогональных измерениях, но вот на создание трехмерного акселерометра для портативных игровых приставок, мобильных телефонов и манипуляторов, ушло почти десять лет. Главная проблема была в том, что смещение электромеханического вдоль вертикальной оси приводит к чрезвычайно малому отклику (ёмкость ёмкостного датчика ADI меняется на атто- и цептофарады, 10^-18 и 10^-21 Ф, соответственно), что потребовало создания очень чувствительной электроники без модификации планарной КМОП-структуры.

В компании ADI видят наибольшие перспективы для многомерных датчиков ускорения, применение которых в манипуляторах и приставках будет расширяться, а их цена – снижаться. Однако, есть и другие направления развития MEMS-систем, одним из которых являются микрогироскопы, которые уже готовы к коммерческому внедрению, но пока что не востребованы рынком. Также в компании созданы MEMS-ключи, работающие на частотах в десятки гигагерц, что делает их применимыми для высокочастотных узлов коммуникационных модулей и измерительного оборудования.

29 декабря 2006 Г.

13:34

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Смартфон Little Pepper S11 пытается копировать iPhone X, но у него это не получается: Смартфон Little Pepper S11 на первый взгляд можно спутать с iPhone X, но только на первый и очень затуманенный9

Разрешение изображений, пересылаемых Facebook Messenger, увеличено до 4096 х 4096 пикселей: Разработчики заверили, что увеличение разрешения не скажется на скорости пересылки1

Блок питания в корпусах FSP CMT110 и CMT120 располагается внизу: Модель FSP CMT110 отличается от CMT120 прозрачной боковой панелью4

Анонс Samsung Galaxy S9 и S9+ теперь ожидается на CES 2018: Consumer Electronics Show 2018 пройдет в Лас-Вегасе с 9 по 12 января 2018 года8

Uber хочет запатентовать средства, предотвращающие укачивание в самоуправляемых автомобилях: Правильное освещение, потоки воздуха и вибрирующие сиденья могут препятствовать укачиванию7

Аналитики Digitimes Research полагают, что в 2018 году поставки смартфонов превысят 1,5 млрд штук: Этот показатель соответствует росту рынка на 4,8%3

I-O Data DVRP-W 8 AI 2 — привод DVD для смартфонов и планшетов: I-O Data DVRP-W 8 AI 2 поддерживает Wi-Fi 802.11ac3

Серия твердотельных накопителей Colorful Plus включает модели объемом до 640 ГБ: В твердотельных накопителях Colorful Plus используются контроллеры SMI SM2258XT и флэш-память 3D TLC NAND

Функциональность камеры смартфона Razer Phone будет существенно улучшена: Камера Razer Phone получит специальный портретный режим с размытием фона, возможность записи видеороликов с частотой 60 к/с и прочие улучшения

Ассортимент блоков питания SilverStone пополнила модель Essential SST-ET450-B: Мощность блока питания SilverStone Essential SST-ET450-B равна 450 Вт

Apple подготовилась к «Черной Пятнице», сократив время ожидания iPhone X до 1-2 недель: Apple смогла существенно нарастить поставки iPhone X76

Опубликованы фотографии «полноэкранного» смартфона Meizu m1712, оснащенного боковым дактилоскопическим датчиком: Смартфон Meizu m1712 работает под управлением Android 7.0 Nougat7

В базе данных TENAA засветился смартфон Huawei в безрамочном исполнении и с четырьмя камерами: Версии новинки обозначаются HWI-AL00 и HWI-TL0

3D-карта EVGA GeForce GTX 1080 Ti K|NGP|N Hydro Copper оснащена водоблоком и разогнана производителем: Цена новинки, доступной только в фирменном онлайновом магазине, примерно равна $12501

Смартфон Samsung Galaxy A5 (2018), который может выйти под названием Galaxy A8 (2018), засветился на качественных изображениях : Компания Olixar слила в Сеть изображения смартфона Samsung Galaxy A5 (2018)7

Представлен смартфон Xiaomi Mi Mix 2 Starck Edition : Цена Xiaomi Mi Mix 2 Starck Edition составляет 710 долларов2

Слухи: смартфон Xiaomi Mi 7 сохранит цену предшественника и переберется на платформу Snapdragon 845: Выпуск Xiaomi Mi 7 ожидается на стыке первого и второго кварталов 2018 года7

Мег Уитмэн покинет пост генерального директора Hewlett Packard Enterprise: В феврале 2018 года функции гендиректора HPE возьмет на себя Антонио Нери

Смартфон OnePlus 6T может не увидеть свет: Если до конца 2018 у OnePlus не появится причин выпустить OnePlus 6T, то компания не будет делать этого3

Свежий видеоролик демонстрирует текущее состояние штаб-квартиры Apple Park: К концу года большая часть работ должна быть завершена6

Названа дата анонса «полноэкранных» смартфонов Gionee F6 и F205: Смартфоны Gionee F6 и F205 получили экраны с соотношением сторон 18:9 и узкими рамками

По данным Puls, 9 из 10 пользователей не планируют менять свои смартфоны до конца года: Многие могут просто поменять аккумуляторы в своих смартфонах вместо того, чтобы покупать новые устройства5

OnePlus 5T и ранее выпущенные смартфоны компании не получат поддержку Google Project Treble: OnePlus 3 и OnePlus 3T, а также OnePlus 5 и OnePlus 5T будут обновлены до Android 8.1

Seoul Semiconductor SunLike — первый осветительный светодиод, получивший сертификат безопасности RG 1: В светодиоде SunLike мощностью 25 Вт используется технология TRI-R, разработанная Toshiba Materials8

По прогнозу Digitimes Research, поставки планшетов в 2018 году составят 128 миллионов штук: На модели с экранами размером не менее 9 дюймов придется более 60% поставок2

997
1318

iXBT TV

  • Обзор проекционного документ-сканера Doko BS16

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать