Semicon Japan: Nikon расширяет возможности NSR-S610C до норм 39 нм

1174

Корпорация Nikon в ходе выставки Semicon Japan сообщила о возможности создания на поверхности полупроводниковых подложек рисунков размером 39 нм, используя иммерсионную литографическую систему с 193-нм источником света (ArF-лазер), NSR-S610C. Компания позиционирует литографический инструмент для 45-нм производства и создания пробных образцов интегральных схем по 32-нм нормам.

Напомним, что Nikon и ASML в области развития иммерсионных технологий идут «ноздря в ноздрю» - свой первый иммерсионный сканер для 45-нм производства (Twinscan XT:1900i) голландская компания представила в июле, как и Nikon.

В S610C, как и в Twinscan XT:1900i, используется катадиоптрическая оптическая система, а размер пятна излучения в 39-нм удается получить с использованием поляризатора Nikon Polano. При этом возможен вариант применения фоторезиста с растворимым в проявителе верхним слоем – тогда глубина фокусировки составляет 900 нм, либо без такового – в последнем случае глубина фокусировки составляет 800 нм.

Nikon намеревается захватить не менее половины рынка 193-нм иммерсионных литографических инструментов к 2008 году. Очевидно, что демонстрации расширенных возможностей уже поставляемого клиентам оборудования также служит цели создать благоприятную почву для продления жизненного цикла иммерсионной литографии на 32-нм нормы, вопрос о технологической базе которых, как известно, до сих пор открыт.

11 декабря 2006

16:35

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Поисковик Google теперь будет предоставлять короткие превью для видеороликов: Поисковая система Google сможет показывать превью-видео

Смартфон HomTom S8 также копирует дизайн Samsung Galaxy S8: Цена устройства составит 190 долларов

Процессоры Intel Core восьмого поколения не будут дороже актуальных CPU: Intel не поднимет цены на CPU при выходе Coffee Lake

AMD пока не может гарантировать наличия в магазинах видеокарт Radeon RX Vega 64 по рекомендованным ценам: AMD призналась в дефиците карт Vega

Смартфон Xiaomi Redmi Note 5A первым в серии получит два выделенных слота для SIM-карт и слот для карты памяти: Одна из версий Xiaomi Redmi Note 5A получит фронтальную камеру разрешением 16 Мп со светодиодной вспышкой

Hyundai сконцентрируется на электромобилях вместо машин на топливных элементах : Hyundai увеличит объёмы выпуска электромобилей

Samsung Pay отмечает два года, сумма платежей составила $8,77 млрд: Samsung Pay в данный момент работает в 18 странах мира

Samsung готовится к глобальному запуску Bixby: Персональный помощник по-прежнему недоступен во многих странах мира

Умные кроссовки Xiaomi Free Tie Leather оценены в $30: Кроссовки оснащены светодиодной подсветкой, процессором, а также модулем Bluetooth 4.0

Семейство 3D-карт Colorful iGame Vulcan X пополнили модели GTX 1080 Ti, GTX 1080, GTX 1070 и GTX 1060: Общей чертой этих 3D-карт является система охлаждения, в кожух которой встроен жидкокристаллический индикатор

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет1

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

декабрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать