Компания ASML Holding официально представила 193-нм сканер для иммерсионной литографии Twinscan XT:1900i. Новинка является представителем пятого поколения сканеров этого производителя (ASML начала производство иммерсионных инструментов в 2003 году) и предназначена для массового производства на уровне 40-нм и ниже. Поставки сканера начнутся в середине 2007 года.
Показатель преломления для XT:1900i составляет 1,35, что близко к физическому пределу для иммерсионной технологии на водной основе (показатель преломления дистиллированной воды - 1,44). Как мы уже сообщали, Nikon уже успела представить сканер NSR-S610C, у которого этот показатель составляет 1,30. Canon, последний участник "Большой тройки", также собирается анонсировать аналогичный инструмент.
С помощью платформы Twinscan, способной работать с двумя 300-мм пластинами одновременно, XT:1900i позволяет достичь производительности в 131 пластину в час. Точность позиционирования составляет 6 нм. Сообщается, что сканер даёт возможность наладить массовое производство логических устройств вплоть до 32-нм норм, а чипов памяти - на уровне 40-нм и ниже.
Вице-президент компании Пол ван Аттекум (Paul van Attekum) сообщил, что как минимум один из клиентов ASML, имя которого не разглашается, собирается начать производство с использованием "мокрой" литографии до конца 2006 года. По всей вероятности, речь идёт о 45-нм производстве с использованием сканера предыдущего поколения - XT:1700i (по всему миру их продано 20 штук).