ASML Twinscan XT:1900i - сканер для 40-нм и 32-нм иммерсионной литографии

1174

Компания ASML Holding официально представила 193-нм сканер для иммерсионной литографии Twinscan XT:1900i. Новинка является представителем пятого поколения сканеров этого производителя (ASML начала производство иммерсионных инструментов в 2003 году) и предназначена для массового производства на уровне 40-нм и ниже. Поставки сканера начнутся в середине 2007 года.

Показатель преломления для XT:1900i составляет 1,35, что близко к физическому пределу для иммерсионной технологии на водной основе (показатель преломления дистиллированной воды - 1,44). Как мы уже сообщали, Nikon уже успела представить сканер NSR-S610C, у которого этот показатель составляет 1,30. Canon, последний участник "Большой тройки", также собирается анонсировать аналогичный инструмент.

С помощью платформы Twinscan, способной работать с двумя 300-мм пластинами одновременно, XT:1900i позволяет достичь производительности в 131 пластину в час. Точность позиционирования составляет 6 нм. Сообщается, что сканер даёт возможность наладить массовое производство логических устройств вплоть до 32-нм норм, а чипов памяти - на уровне 40-нм и ниже.

Вице-президент компании Пол ван Аттекум (Paul van Attekum) сообщил, что как минимум один из клиентов ASML, имя которого не разглашается, собирается начать производство с использованием "мокрой" литографии до конца 2006 года. По всей вероятности, речь идёт о 45-нм производстве с использованием сканера предыдущего поколения - XT:1700i (по всему миру их продано 20 штук).

12 июля 2006

17:23

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Появились изображения упаковок настольных процессоров Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения. Core i3 пока ждать не стоит: CPU Intel Core i5 и Core i7 восьмого поколения будут оснащены GPU UHD Graphics 6305

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой 3

Представлена операционная система Android 8.0 Oreo : Google представила Android Oreo33

Nikon сосредоточится на поддержке в камерах видео 8K : Другой приоритет — выпуск медицинского оборудования30

В конфигурацию ноутбука Acer Nitro 5 Spin входит процессор Intel Core восьмого поколения: Продажи новинки должны начаться в октябре, по цене $9995

Серия массивов твердотельных накопителей IntelliFlash N пополнила каталог Tegile Systems: Производитель называет IntelliFlash N первым унифицированным массивом NVMe корпоративного класса

TowerJazz и Tacoma Semiconductor Technology договорились построить фабрику в Китае: Израильская компания поделится опытом, Tacoma Semiconductor Technology возьмет на себя расходы2

Новому смартфону Apple iPhone приписывают способность распознать лицо пользователя «за миллионные доли секунды»: Кроме того, 3D-сканер будет использоваться в приложениях дополненной реальности43

DockCase — чехол и стыковочная станция для ноутбука Apple MacBook Pro: Минимальный взнос, позволяющий надеяться на получение DockCase в ноябре 2017 года, равен $796

1318

iXBT TV

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать