Nikon официально представляет NSR-S610C для 45-нм и 32-нм производства

ПредыдущаяСледующая
1174

Корпорация Nikon, как и предполагалось ранее, вчера официально представила свой первый иммерсионный литографический сканер, использующий 193-нм источник света (эксимерный ArF-лазер) и предназначенный для производства микросхем по нормам 32 и 45 нм.




Главное – то, что NSR-S610C обеспечивает именно массовое, а не пилотное производство по 45-нм нормам, для которых заявлена способность обработки всех критически важных слоев со скоростью, достаточной для массового производства. Для 32-нм норм новинку тоже можно использовать, но, как утверждается в пресс-релизе, для производства пробных партий.




NSR-S610C использует технологию иммерсии, то есть, погружения в воду. Численное значение апертуры – 1,30. Помимо катадиоптрической оптической системы, в NSR-S610C используется технология Polano (описываемая источниками как поляризационная технология четвертого поколения). Двухэтапный подход к обработке пластин позволяет обрабатывать более ста тридцати 300-мм полупроводниковых подложек в час. Точность позиционирования – не хуже 6,5 нм.

Что ж, от себя заметим, что NSR-S610C, первый иммерсионный сканер Nikon с апертурой 1,30, может стать первой надеждой на широкое внедрение технологии – если, конечно, окажется, что его или аналоги можно будет использовать не только для 45-нм, но и 32-нм техпроцессов. Ведь, как мы уже сообщали, вопрос использования иммерсионных технологий для 45-нм производства до сих пор открыт – например, Intel, Samsung и Hynix вполне могут попытаться обойтись традиционной, «сухой» литографией, о чем компании уже заявляли. Однако, как раз на 32-нм производстве в сообщении о NSR-S610C главный акцент все же не ставится.

По материалам Nikon, EE Times, iXBT.com.

7 июля 2006 Г.

13:59

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Samsung покажет телевизоры micro-LED на CES 2018: Consumer Electronics Show 2018 пройдет с 9 по 12 января3

Apple запатентовала еще одно устройство со сгибающимся дисплеем: Apple действительно прорабатывает различные прототипы сгибающегося iPhone23

Безрамочный смартфон 360 N6 Pro, оснащенный SoC Snapdragon 660 и 6 ГБ ОЗУ, набрал более 110 тыс. баллов в AnTuTu: Смартфон должны представить 28 ноября

Meiigoo Note8 внешне копирует Samsung Galaxy Note8, при этом смартфон оснащен системой распознавания лиц пользователей: Смартфон получил дисплей с соотношением сторон 18:9, сдвоенную камеру и дактилоскопический датчик на задней панели2

Подводный бокс Nauticam NA-G9 предназначен для камеры Panasonic Lumix DC-G9: Бокс с каталожным номером 17715 оценен производителем в $26502

Смартфон Google Pixel 2 XL хотя бы в тестах JerryRigEverything показал себя лучше младшей модели: Смартфон Google Pixel 2 XL не трескается при попытке его согнуть7

Блок питания FSP FSP2000-A0AGPBI мощностью 2000 Вт имеет сертификат 80 Plus Platinum: Кабельная система FSP2000-A0AGPBI — полностью модульная11

Представлена системная плата Gigabyte X299 Aorus Gaming 7 Pro: Цену новинки производитель не называет9

Asus готовит ноутбук-трансформер TP370QL на платформе Snapdragon и под управлением Windows 10: Asus TP370QL получит 13-дюймовый дисплей11

997
1318

iXBT TV

  • Обзор гладильного пресса MIE Romeo II для глажения постельного белья и одежды простых форм

  • Робот-гимнаст, неудачи Microsoft, переносы Apple, электрический трактор

  • Обзор проекционного документ-сканера Doko BS16

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать