ArF-лазер ускорит внедрение 45-нм техпроцесса

1174

Компания Cymer, поставщик источников излучения ультрафиолетовой части спектра (deep-ultraviolet, DUV, длина волны - 193 нм), объявила о готовности аргон-фторового (ArF) лазера нового поколения, который предназначен для иммерсионной литографии с применением 45-нм технологического процесса.

Производитель заявляет, что его разработка обладает на 50% улучшенной энергетической стабильностью и имеет на 20% меньшую стоимость владения в сравнении с существующими аналогами. Такие лазеры позволят излучать импульсы продолжительностью от 5 до 20 нс и частотой до 2000 Гц.

В разработке, получившей название XLR 500i, традиционный каскад усиления мощности заменен рециркуляционным кольцевым, что позволило повысить стабильность энергии импульса. Увеличенная производительность позволит уменьшить количество лазерных импульсов во время обработки кремниевой подложки, что должно снизить себестоимость производства.

Напомним, что иммерсионная литография, использующая лазер с длиной волны 193 нм - это предшественница еще более тонкого техпроцесса - EUV-литографии, использующей источники "жесткого" ультрафиолета. До внедрения последней еще, по меньшей мере, 3-4 года, так, что разработка Cymer в ближайшее время будет весьма востребована.

Источник: TG Daily

6 июля 2006

16:07

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

На передней панели корпуса Gigabyte Aorus AC300W разместилось шесть разъёмов : Gigabyte представила корпус Aorus AC300W с подсветкой

Представлена операционная система Android 8.0 Oreo : Google представила Android Oreo19

Nikon сосредоточится на поддержке в камерах видео 8K : Другой приоритет — выпуск медицинского оборудования18

В конфигурацию ноутбука Acer Nitro 5 Spin входит процессор Intel Core восьмого поколения: Продажи новинки должны начаться в октябре, по цене $9994

Серия массивов твердотельных накопителей IntelliFlash N пополнила каталог Tegile Systems: Производитель называет IntelliFlash N первым унифицированным массивом NVMe корпоративного класса

TowerJazz и Tacoma Semiconductor Technology договорились построить фабрику в Китае: Израильская компания поделится опытом, Tacoma Semiconductor Technology возьмет на себя расходы1

Новому смартфону Apple iPhone приписывают способность распознать лицо пользователя «за миллионные доли секунды»: Кроме того, 3D-сканер будет использоваться в приложениях дополненной реальности35

DockCase — чехол и стыковочная станция для ноутбука Apple MacBook Pro: Минимальный взнос, позволяющий надеяться на получение DockCase в ноябре 2017 года, равен $794

Представлен смартфон Xiaomi Redmi Note 5A, который оснастили 16-мегапиксельной фронтальной камерой : Xiaomi Redmi Note 5A оценён в 135 долларов 3

1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать