Иммерсионная литография: 32-нм нормы под вопросом

1174

Находящийся на стадии внедрения в массовое производство 65-нм технологический процесс, как известно, в некоторых случаях, в частности, Intel, удалось обеспечить без использования иммерсионных технологий (подразумевающих погружение обрабатываемых полупроводниковых пластин в воду или иную жидкость с показателем преломления больше 1). Микропроцессорный гигант уже дал понять, что, вполне вероятно, не будет использовать иммерсию и для 45-нм норм, рассматривая технологию в качестве кандидата на внедрение для 32-нм норм, если к тому моменту EUV-литография (использующая источники «жесткого» ультрафиолета) так и не будет готова к внедрению. Учитывая, что за 32-нм среди сторонников разных технологий развернулась настоящая битва, иммерсионной литографии вообще может не найтись места на заводах Intel.

В отличие от Intel, тайваньский контрактный производитель TSMC заявил о намерении внедрить иммерсионные инструменты для производства по 45-нм нормам. В дальнейшем, TSMC рассматривает возможность использования иммерсионных технологий для норм 32 нм, электронно-лучевой литографии или EUV – для норм 22 нс.

Однако, опасения по поводу того, что материалы с высоким показателем преломления, необходимые для эффективной работы иммерсионных инструментов, работающих с источниками света с длиной волны 193 нм, созданы вовремя не будут, в последнее время раздаются все чаще и громче. Эксперты утверждают, что современные 193-нм иммерсионные литографические инструменты, использующие дистиллированную воду (показатель преломления – 1,44), обеспечат производство вплоть до норм 32 нм. ASML, Canon и Nikon уже предлагают 193-нм иммерсионные сканеры, которые можно использовать для 45-нм производства. Дальнейшие перспективы иммерсии зависят от разработки жидкостей и материалов оптической системы с более высоким показателем преломления, и ряд компаний, в частности, DuPont и JSR, ведут работы в этом направлении, утверждая о достижении величины показателя преломления в 1,64. Однако, с этими жидкостями возникает масса нерешенных до сих пор проблем (например, токсичность, способность вступать в химические реакции с кремнием, дороговизна и т. д.), посему общее настроение в отрасли таково, что промышленники все больше смотрят в сторону таких технологий, как электронно-лучевая литография (используемая, в общем-то, уже давно, но не применяющаяся в массовом производстве из-за малой скорости обработки) и уже упоминавшаяся EUV-литография. Например, в ASML не верят, что материалы с высоким показателем преломления будут готовы в срок – к 2009 году, и предлагают производителям настраиваться на EUV-литографию.

22 мая 2006 Г.

16:37

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Представлены компьютерные корпуса NZXT H700i, H400i и H200i : В корпуса NZXT H700i, H400i и H200i встроен цифровой контроллер вентиляторов и подсветки

До конца года Intel выпустит «первую в отрасли микросхему для обработки нейронных сетей» — Intel Nervana Neural Network Processor: Intel Nervana Neural Network Processor — новое имя семейства ускорителей Lake Crest

Nanya вернется на рынок серверной памяти DRAM: В текущем квартале должен начаться серийный выпуск 20-нанометровых микросхем DDR4 плотностью 8 Гбит

ПО Geekbench указывает на наличие в смартфоне Xiaomi Redmi Note 5 старой платформы Qualcomm, но результаты тестов этому не соответствуют: Xiaomi Redmi Note 5 появился в базе Geekbench4

Представлен объектив Zeiss Milvus 1.4/25 : Объектив Zeiss Milvus 1.4/25 оценен производителем в 2399 евро6

Всего за один день рыночная стоимость IBM выросла на 12,6 млрд долларов: Акции IBM, с начала года подешевевшие на 12%, показали крупнейший за последние годы рост6

Новые блоки питания Cooler Master MasterWatt характеризуются мощностью от 450 до 750 Вт: Cooler Master обновила семейство БП MasterWatt1

Панели для планшетов дешевеют: Наблюдатели ожидают, что панели для планшетов будут дешеветь в течение всего квартала3

Nanya нарастила чистую прибыль более чем в шесть раз: Nanya отчиталась за третий квартал 2017 года

Google подтверждает, что ОС Android 8.1 Oreo выйдет в ближайшие недели: Обновление активизирует процессор обработки изображений Pixel Visual Core24

В Нидерландах открыли первый в мире мост, созданный посредством 3D-печати: Первый в мире напечатанный мост появился в Голландии3

Microsoft возродила легендарную мышку IntelliMouse Explorer 3.0 в виде модели Classic Intellimouse: Microsoft Classic Intellimouse является современной копией мышки IntelliMouse Explorer 3.09

Видео дня: первый в мире бой огромных управляемых человекоподобных роботов : Роботы Megabots и Suidobashi выяснили отношения в бою8

Для Cree минувший квартал оказался убыточным: Известный производитель светодиодов опубликовал отчет за первый квартал 2018 финансового года1

Представлен объектив Leica Thambar-M 90mm f/2.2, назван срок начала продаж и цена: Полнокадровый объектив с ручной фокусировкой является современным вариантом модели 1935 года13

Смартфон Oppo F5 получил сдвоенную фронтальную камеру разрешением 12 Мп: Работает Oppo F5 под управлением Android 7 Nougat с оболочкой ColorOS 3.1

Samsung готова к производству полупроводниковой продукции по восьминанометровой технологии: Технология FinFET 8LLP прошла квалификацию Samsung29

Обозреватели разочарованы шестидюймовым смартфонным дисплеем P-OLED производства LG: У LG пока не получается выпускать качественные панели OLED для смартфонов47

HP ZBook x2 — недешевый планшет с экраном разрешением 4K, GPU Nvidia и CPU Core i7 для профессионалов : HP ZBook x2 в базовом исполнении оценен в $175022

Ноутбуки с SoC Snapdragon 835 и Windows 10 удивят временем работы без подзарядки: «Сказать по правде, мы не ожидали», — заявил Пит Бернард (Pete Bernard) из Microsoft.42

Глава Qualcomm уверен, что они с Apple смогут уладить свой конфликт : Затянувшийся спор с Apple является скорее аномалией, исключением из правил2

Samsung Galaxy S7 опередил iPhone 8 в свежем рейтинге Consumer Reports: Смартфоны Samsung Galaxy S8 и S8+ снова оказались лидерами рейтинга Consumer Reports56

Пользовательская база Samsung Pay на родине сервиса выросла вдвое за год: Пару месяцев назад Samsung Pay отметил два года с момента основания

Isuzu заимствует компоновку кузова грузовика у пчелиных сот: Разделение грузового отсека на соты позволяет эффективно использовать пространство 17

Завтра должен быть представлен смартфон Nokia 7: Как доказала Google, вовсе не обязательно использовать два модуля, чтобы сделать флагманскую камеру1

Qualcomm успешно испытала модем Snapdragon X50 5G : Qualcomm также показала первый референсный дизайн смартфонов, которые используются для тестирования и оптимизации технологии 5G14

IBM снова отчиталась о снижении выручки, но на сей раз всего на 0,5%: IBM отчиталась за третий квартал 2017 года

Все больше владельцев машин считают Android Auto и Apple CarPlay обязательными системами : В опросе приняли участие 1503 американцев, 1607 европейцев и 2003 китайца4

Системные платы с набором логики Intel Z270 всё-таки могут работать с CPU Coffee Lake. Но не будут: Причина несовместимости старых плат с новыми CPU Intel всё-таки кроется в маркетинге 36

В ноябре Samsung ждут большие перестановки в руководящем составе: Речь идет о ключевых лицах, Samsung Electronics, Samsung SDI, Samsung Electro-Mechanics, Samsung Life Insurance и Samsung Securities35

Оснащенный четырьмя камерами смартфон Huawei Mate 10 Lite уже доступен для заказа в Европе: Huawei Mate 10 Lite построен на SoC Kirin 659 и оснащен экраном диагональю 5,9 дюйма

Выпущено 90 млн камер Canon EOS и 130 миллионов объективов Canon EF: Производитель заверил, что и впредь намерен развивать семейство камер EOS и объективов EF10

Samsung готовит ещё одну модель линейки Galaxy J2: Очередной аппарат линейки Galaxy J2 получит дисплей низкого разрешения1

Razer обновила ноутбук Blade Stealth, оснастив его CPU Intel Core i7-8550U: Док-станция Razer Core v2 мало отличается от первой версии3

Основными для экранов безрамочных смартфонов являются разрешения FHD+ и HD+: Переход к безрамочным экранам совпал с переходом к соотношению сторон 18:9

Antec P110 Luce — компьютерный корпус в минималистском исполнении за 120 евро: Antec P110 Luce поддерживает возможность вертикальной установки видеокарты4

Материнская плата ASRock X299E-ITX/ac для процессоров Intel в исполнении LGA 2066 представлена официально: ASRock X299E-ITX/ac оценена в $4003

В серию твердотельных накопителей Samsung 860 Evo войдут модели объемом до 4 ТБ: Твердотельные накопители Samsung 860 Evo замечены в базе данных SATA-IO30

Казахстан запустит платформу Stasis с первой криптовалютой, обеспеченной реальными деньгами: Stasis — финансово-технологическая инфраструктура для запуска нового цифрового актива10

Тестирование мобильных APU Ryzen показывает, что они вполне могут составить конкуренцию CPU Intel поколения Kaby Lake Refresh: APU Ryzen 7 2700U сравнили с CPU Core i7-8550U35

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

  • Обзор робота-полотера Everybot RS500

1212

Календарь

май
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать