Иммерсионная литография: 32-нм нормы под вопросом

1174

Находящийся на стадии внедрения в массовое производство 65-нм технологический процесс, как известно, в некоторых случаях, в частности, Intel, удалось обеспечить без использования иммерсионных технологий (подразумевающих погружение обрабатываемых полупроводниковых пластин в воду или иную жидкость с показателем преломления больше 1). Микропроцессорный гигант уже дал понять, что, вполне вероятно, не будет использовать иммерсию и для 45-нм норм, рассматривая технологию в качестве кандидата на внедрение для 32-нм норм, если к тому моменту EUV-литография (использующая источники «жесткого» ультрафиолета) так и не будет готова к внедрению. Учитывая, что за 32-нм среди сторонников разных технологий развернулась настоящая битва, иммерсионной литографии вообще может не найтись места на заводах Intel.

В отличие от Intel, тайваньский контрактный производитель TSMC заявил о намерении внедрить иммерсионные инструменты для производства по 45-нм нормам. В дальнейшем, TSMC рассматривает возможность использования иммерсионных технологий для норм 32 нм, электронно-лучевой литографии или EUV – для норм 22 нс.

Однако, опасения по поводу того, что материалы с высоким показателем преломления, необходимые для эффективной работы иммерсионных инструментов, работающих с источниками света с длиной волны 193 нм, созданы вовремя не будут, в последнее время раздаются все чаще и громче. Эксперты утверждают, что современные 193-нм иммерсионные литографические инструменты, использующие дистиллированную воду (показатель преломления – 1,44), обеспечат производство вплоть до норм 32 нм. ASML, Canon и Nikon уже предлагают 193-нм иммерсионные сканеры, которые можно использовать для 45-нм производства. Дальнейшие перспективы иммерсии зависят от разработки жидкостей и материалов оптической системы с более высоким показателем преломления, и ряд компаний, в частности, DuPont и JSR, ведут работы в этом направлении, утверждая о достижении величины показателя преломления в 1,64. Однако, с этими жидкостями возникает масса нерешенных до сих пор проблем (например, токсичность, способность вступать в химические реакции с кремнием, дороговизна и т. д.), посему общее настроение в отрасли таково, что промышленники все больше смотрят в сторону таких технологий, как электронно-лучевая литография (используемая, в общем-то, уже давно, но не применяющаяся в массовом производстве из-за малой скорости обработки) и уже упоминавшаяся EUV-литография. Например, в ASML не верят, что материалы с высоким показателем преломления будут готовы в срок – к 2009 году, и предлагают производителям настраиваться на EUV-литографию.

22 мая 2006

16:37

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Приложение Microsoft Surface научилось показывать уровень заряда аккумуляторов периферийных устройств, подключенных по Bluetooth : Помимо этого, в новой версии исправлены некоторые ошибки1

Кроссовер Volvo XC60 получил накладку на панорамную крышу для наблюдения за солнечным затмением: Накладка получила магнитный каркас, который надежно прикрепляется к крыше автомобиля9

Пятикилограммовая портативная АС JBL Boombox работает без подзарядки 24 часа: Цена колонки составит около 515 долларов18

Смартфон ZTE TL99 с камерой разрешением 20 Мп появился в базе данных TENAA: Основой устройства служит неназванная однокристальная система с четырехъядерным процессором1

Ассортимент Xilence Technology пополнили блоки питания серии Performance X: Блоки питания Xilence Performance X снабжены защитой от разнообразных нештатных ситуаций

Рекламная брошюра Samsung Galaxy Note 8 подтверждает информацию о возможностях устройства: Samsung Galaxy Note 8 представят 23 августа

Отделы исследований и разработок Samsung и LG получат в этом году рекордные суммы : Затраты на исследования и разработки Samsung и LG за первые шесть месяцев года составили 7,1% и 6,9% от доходов компаний соответственно4

BlackBerry прислушалась к критике и усилила конструкцию смартфона Keyone: BlackBerry усилила смартфон Keyone2

Bluboo S2 станет первым безрамочным смартфоном с четырьмя камерами и оптическим дактилоскопическим датчиком: Соотношение сторон экрана составит 18:9, он будет занимать 91,6% площади лицевой панели6

Аналитики Juniper Research назвали три страны, которые будут лидерами внедрения 5G: По прогнозу Juniper Research, к 2025 году число подключений 5G достигнет 1,4 млрд 5

Новое поколение Apple Watch поможет компании продать 20 млн умных часов в следующем году: Apple сможет существенно нарастить продажи умных часов

Обновлена серия вентиляторов Noctua IndustrialPPC, рассчитанных на напряжение питания до 24 В: В новых моделях используется микросхема драйвера NE-FD42

Подтверждены цены и параметры смартфона YotaPhone 3: YotaPhone 3 будет стоить от 360 до 480 долларов5

Для Lenovo минувший квартал оказался убыточным, хотя средняя цена ПК и планшетов выросла: Компания Lenovo отчиталась за первый квартал 2017/2018 финансового года1

Дизайнер Xiaomi Mi Mix 2 показал, как будет выглядеть новый безрамочный смартфон: По слухам, новинка может выйти в сентябре6

В AnTuTu доминируют смартфоны с SoC Snapdragon 835: iPhone 7 Plus, который был свергнут с позиции лидера в мае этого года, переместился уже на шестую строчку3

Опубликованы фотографии беспроводных ЗУ для новых смартфонов iPhone: Ожидается, что все три новых смартфона iPhone получат поддержку беспроводной зарядки11

Опубликованы характеристики SoC Kirin 970: Новая однокристальная система будет поддерживать сдвоенные камеры с максимальным разрешением до 42 Мп3

Смартфон Meizu M6 Note может получить влагозащищенный корпус: Версия с 4 ГБ ОЗУ будет стоить около $2351

На карте расширения Alphacool HDX5 расположен контроллер RAID, два слота M.2 и два порта SATA, а в комплект входят два радиатора: C помощью Alphacool HDX5 накопители можно объединять в массив RAID 0 или 117

Модули памяти Galax DDR4-4133 HOF Extreme Limited Edition с хромированными радиаторами выпущены очень небольшой партией: Комплекты суммарным объемом 16 ГБ включают по два модуля DDR4-41336

В Apple изобрели акустическую систему в виде массива излучателей, учитывающую местонахождение слушателя: Заявки на патенты уже поданы26

Доход Alibaba Group в прошлом квартале превысил 7,4 млрд долларов: Чистая прибыль Alibaba Group — 2,070 млрд долларов

Samsung добавила своим умным телевизорам поддержку ПО Shazam: Shazam теперь работает и на умных телевизорах Samsung7

Водоблок Alphacool Eisblock Flatboy предназначен для процессоров AMD Ryzen Threadripper : Пока изделие находится в стадии прототипа3

Фотогалерея дня: смартфон Samsung Galaxy Note8 предстал на «живых» снимках: Samsung Galaxy Note8 позирует живьём9

Asus обновит до Android O все смартфоны семейств ZenFone 4 и ZenFone 3: Смартфоны Asus ZenFone 3 тоже получат Android O3

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

1212

Календарь

май
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать