1220

TSMC сообщает о готовности 45-нм техпроцесса иммерсионной литографии

1174

Сегодня стали известны результаты тестовых "прогонов" технологической линии TSMC, в которой используется технология иммерсионной литографии. Компания сообщала о том, что параметры полученных пластин "приемлемы для серийного производства". Более подробный отчет о своей работе исследователи TSMC намерены представить завтра на конференции SPIE Microlithography Conference.

Напомним, иммерсионная литография во многом базируется на существующей "сухой" литографии - процессе, в котором задействованы машины, несколько напоминающие по принципу действия фотоувеличители. Продление жизни этой технологии в момент перехода к нормам 45 нм и менее стало бы хорошим вариантом развития на ближайший период для всей индустрии. В иммерсионной литографии жидкая, а не газообразная среда служит для переноса изображения. Размещая ее между литографической оптикой и пластиной полупроводника, удается повысить разрешение системы, а, следовательно, уменьшить размеры формируемых на поверхности полупроводника элементов.

Как известно, где вода - там и подводные камни. Использование жидкой среды приводит к необходимости бороться с дефектами, такими, как пузырьки влияние жидкости на фоторезист. Тем не менее, исследователям из компании TSMC удалось преодолеть возникающие трудности и получить хороший результат. По данным компании, на тестовых 300-мм пластинах было зафиксировано не более семи дефектов, вызванных использованием иммерсионной технологии - это соответствует плотности 0,014 дефекта на кв.см.

Оборудование TSMC для иммерсионной литографии рассчитано на производство по нормам 45 нм.

Что ж, похоже, что именно иммерсионная литография станет преемницей существующей технологии. Насколько известно, другие разработки пока далеки от того, чтобы считаться пригодными для серийного производства.

Источник: TSMC

23 февраля 2006 Г.

23:40

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Некоторые владельцы Apple Watch Series 3 с модемом LTE столкнулись с проблемами, однако проблема не носит массовый характер: Представители Apple уже признали факт существовать проблем, пообещав выпустить соответствующее обновление в максимально сжатые сроки5

По словам Тима Кука, смартфоны iPhone 8 и умные часы Apple Watch Series 3 в первый день раскупили во многих магазинах : 14

Смартфон Asus Zenfone 5 будет выпущен в марте 2018: Asustek планирует попасть в семерку самых прибыльных производителей смартфонов1

Apple назвала 8 причин, за которые стоит любить iPhone 8: Вчера в продажу поступили новые смартфоны компании Apple16

GPU Vega 11 может получить 2048 потоковых процессоров и 4 ГБ памяти HBM2: AMD готовит 13 графических карт на основе GPU Vega 115

Замена заднего стекла в смартфонах iPhone 8 будет стоить существенно больше, чем вы думаете: Заменить заднее стекло в iPhone 8 обойдётся покупателям в 350 долларов73

Процессор Intel Core i7-8700K сравнили с основными конкурентами в ряде тестов: Intel Core i7-8700K может составить конкуренцию старшим Ryzen 720

Приставка Apple TV 4K не способна воспроизводить видео 4K на YouTube: Пользователям Apple TV 4K при просмотре YouTube придётся довольствоваться видео Full HD 47

Смартфон Apple iPhone 8 монтирует видео в несколько раз быстрее флагманов Samsung: iPhone 8 — самый быстрый смартфон на рынке73

405
1318

iXBT TV

  • Обзор кухонных весов Unit UBS-2155

  • Обзор беззеркальной среднеформатной камеры со сменной оптикой Hasselblad X1D

  • Обзор дегидратора Gochu D-310 с возможностью одновременной сушки разных продуктов

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C7030 формата A3

  • Обзор аккумуляторного секатора Stihl HSA 25 со сменными ножами

  • Начало новой эры? Чем iPhone X отличается от iPhone 8

  • Обзор полнокадровой зеркальной фотокамеры Nikon D850

  • Обзор робота-пылесоса Unit UVR-8000 с функцией протирки гладких полов

  • Смартфон с отличной камерой, мышь с трэкболом, электромобили будущего

  • Обзор российского смартфона Inoi R7 на операционной системе Sailfish OS 2

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Compact (FC8776/01) уменьшенной высоты

  • Мышь для точной стрельбы HyperX Pulsefire FPS + обзор коврика для мыши HyperX Fury S

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать