Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

1174

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.

Дело в том, что в отрасли нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.

По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.

Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.

Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.

Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.

Источник: EE Times

21 февраля 2006 Г.

11:54

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Несмотря на далеко не топовые параметры, смартфон HTC U11 Life доступным не будет: HTC U11 Life будет стоить 400 долларов19

По прогнозу IC Insights, в этом году продажи микросхем DRAM вырастут на 74%: DRAM является крупнейшей категорией интегральных микросхем3

Irix предлагает собственную систему фильтров для широкоугольных объективов: Крепление IFH-100 позволяет ставить два фильтра, не опасаясь виньетирования5

Apple обвинили в намеренном нарушении прав на торговую марку Animoji: Компания Emonster k.k. подала на Apple в суд32

Huawei тоже работает над гибким смартфоном, который может выйти уже в следующем году: Huawei разрабатывает гибкий смартфон8

Смартфон HTC U11 Plus получил экран со скругленными углами: Смартфон HTC U11 Plus замечен в базе TENAA 11

За квартал компания ASML продала 55 литографических систем, три из которых — для EUV: Опубликован отчет ASML за третий квартал 2017 года2

Фотографии подтверждают, что смартфон Xiaomi Redmi Note 5 станет первым аппаратом семейства, оснащённым дисплеем 18:9: Xiaomi Redmi Note 5 получит вытянутый экран14

Представлены платы Asus ROG Strix X370-I Gaming и Strix B350-I Gaming: Данных о ценах на платы Asus ROG Strix X370-I Gaming и Strix B350-I Gaming пока нет2

Intel предлагает использовать её набор Speech Enabling Developer Kit при разработке устройств с поддержкой Alexa: Набор для разработчиков Intel Speech Enabling Developer Kit стоит 400 долларов1

Популярность криптовалют вселила оптимизм в производителей 3D-карт: По прогнозу Asus, тенденция роста, связанная с добычей криптовалют, сохранится как минимум до конца 2017 года3

Слухи говорят о том, что Apple готовит более доступную версию iPhone X: iPhone X может немного подешеветь за счёт уменьшения объёма памяти32

Apple хочет получать 30% выручки с «бесплатного» раздела Facebook : Facebook и Apple не могут договориться касательно внедрения платной подписки10

Пользователи Facebook Messenger получили возможность отправлять и получать деньги с помощью PayPal : Кроме того, заработал первый бот PayPal для Messenger4

Адаптер Sonnet Thunderbolt 3 to Dual HDMI 2.0 может выводить картинку 4К с одного ПК на два дисплея: Цена адаптера составляет 90 долларов1

Обновления ноутбуков Apple MacBook Pro в этом году можно не ждать: Один из руководителей Apple подтвердил, что в этом году компания не планирует представлять какие-либо новинки3

Курс Bitcoin превысил $6000: С начала года стоимость Bitcoin выросла более чем на 520%17

Опубликованы модельные номера смартфонов Samsung Galaxy S9 и S9+, которые получат 6 ГБ ОЗУ и сдвоенные камеры: Что касается камеры, то она перекочует в новинки из Galaxy Note82

Vivo выйдет на рынок России: Со временем Vivo также планирует начать официальные продажи своей продукции на территории Европы7

LG, как и Samsung, предупреждает, что дополнительные пошлины на стиральные машины могут поменять планы компании в США: В августе LG заявила, что планирует инвестировать 250 млн долларов в новый завод по производству стиральный машин10

997
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A3 формата APS-C со сменными объективами

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-A10 формата APS-C со сменными объективами

  • Планшеты для подводного чтения, дешевый безрамочный смартфон и автономная VR-гарнитура

  • Обзор 3D-принтера Funtastique Evo: дешевая, но вполне функциональная DIY-модель

  • Обзор робота-пылесоса Polaris PVCR 0920WV Rufer с функцией влажной протирки полов

  • Новинки Google на любой вкус: Pixel 2, Pixel 2 XL, Pixelbook, Clip, Home Mini и Max

  • Обзор водонепроницаемого бинокля Canon 10x42L IS WP с оптическим стабилизатором

  • Обзор компактного вертикального пылесоса Kitfort КТ-525

  • Обзор 15-дюймового игрового ноутбука MSI GE63VR 7RF Raider 4K с 4K-экраном

  • Ракета вместо самолета, умные AC Amazon, робот-мяч

  • Обзор парогенератора MIE Stiro Pro для глажки, отпаривания и уборки дома

  • Обзор изогнутого 37,5-дюймового IPS-монитора Acer XR382CQK с соотношением сторон 21:9

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать