EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

ПредыдущаяСледующая
1174

В минувшем месяце, когда Intel объявляла об успешном создании прототипа SRAM с соблюдением норм 0,45-нм техпроцесса, на поверхность всплыла очень важная деталь – микропроцессорный гигант по-прежнему использует «сухую» 193-нм литографию, отказываясь от иммерсии. Более того, подобно тому, как несколько лет назад Intel поставила крест на 157-нм литографии, компания готова отказаться и от иммерсионной технологии, готовясь к 2009 году начать внедрение EUV-литографии, где подразумевается использование источников жесткого ультрафиолетового излучения.

В качестве еще одной возможной альтернативы EUVL, кроме импринт-литографии, может выступить EWL (литография с использованием исчезающее малых величин излучения), исследование которой ведется в Калифорнийском Технологическом Институте, Университете Калифорнии в Беркли и других научно-исследовательских группах. Некоторые еще называют EWL, работающую в ближнепольной зоне, «контактной литографией».

Как ожидается, в ходе посвященной микролитографии конференции SPIE, которая пройдет с 19 по 24 февраля, Рочестерский Технологический Институт (RIT) представит результаты работы, в ходе которой при помощи EWL удалось создать рисунок размером 26 нм. Как сообщают сотрудники RIT, это существенно лучше, чем удалось добиться в Калифорнийском Технологическом и в Беркли. Но самое главное – RIT сумела создать изображение без контакта с подложкой (до сих пор EWL подразумевала создание исчезающее малых полей под контактной маской), что позволяет рассматривать технологию как дальнейшее расширение оптической литографии. Изображение от последнего элемента оптической системы проецируется на подложку через среду с показателем преломления ниже, чем численное значение апертуры системы построения изображения. Причем численное значение апертуры достигло 1,85, что почти в два раза больше, чем у коммерчески доступных иммерсионных сканеров. Таким образом, иерархия оптических литографических технологий может быть выстроена следующим образом: обычная литография – иммерсионная литография (численное значение апертуры от 1 до 1,65 – предельного теоретического значения) – EWL (численное значение апертуры более 1,65).

Однако, несмотря на перспективность новой технологии в техническом плане, есть определенные сомнения в ее применимости в экономическом плане – крупнейший покупатель литографического оборудования, по сути, отказался приобретать как 157-нм, так и 193-нм иммерсионные инструменты. Без сомнения, разработчики литографических инструментов найдут себе покупателей, в частности, IBM и AMD, однако, в случае с EWL ситуация может стать еще более пикантной – в разработке RIT используются оптические элементы из сапфира (показатель преломления на длине волны 193 нм - 1,92), что вполне нормально для лабораторного устройства, но вряд ли будет хорошо для промышленности.

13 февраля 2006 Г.

12:21

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Коста-Рика установила новый рекорд по использованию возобновляемых источников энергии: Коста-Рика практически полностью перешла на возобновляемые источники энергии41

Intel подтверждает наличие уязвимости в огромном количестве процессоров из разных сегментов: Уязвимость в Intel ME касается большого числа CPU24

Внешняя видеокарта KFA2 SNPR External Graphics Card Enclosure по габаритам меньше большинства мини-ПК: KFA2 SNPR External Graphics Card Enclosure оценивается в 500 евро3

Корпоративный рынок обучающих решений VR за пять лет вырастет почти в 30 раз: Компании всё чаще будут использовать VR для обучения персонала

Фотография смартфона Xiaomi Redmi Note 5 позволяет узнать почти все параметры устройства : Xiaomi Redmi Note 5 получит SoC Snapdragon 62511

Видео дня: разгон грузовика Tesla Semi: На видео засняли разгон Tesla Semi38

Samsung останется новым лидером полупроводникового рынка и по итогам всего года: Samsung обойдёт Intel на полупроводниковом рынке на 4,6 млрд долларов5

Появилось первое изображение смартфона Honor V10: Спереди смартфон Honor V10 будет похож на Mate 10 Lite и Honor 7X8

Специалисты Apple разработали программное решение VoxelNet для улучшения работы лидаров у беспилотных авто: Специалисты Apple опубликовали статью, касающуюся технологий беспилотных авто6

Эпоха доминирования Apple закончилась. OnePlus 5T существенно опережает iPhone X в скорости запуска приложений: OnePlus 5T оказался быстрее iPhone X121

В следующем году смартфоны iPhone могут получить поддержку двух карт SIM: Смартфоны iPhone 2018 года будут поддерживать две карты SIM64

MSI Optix MAG24C — не самый типичный игровой монитор с изогнутой панелью : Монитор MSI Optix MAG24C имеет кадровую частоту до 144 Гц

Все смартфоны с ОС Android отправляют Google данные о своём местоположении, даже когда соответствующая функция отключена: Смартфоны с Android незаконно собирают данные о местоположении пользователей70

Смартфон Wileyfox Pro — слабая аппаратная начинка, широкие рамки дисплея и умирающая ОС Windows 10 Mobile: Цена устройства составит около 250 долларов27

Смартфон BlackBerry KeyTwo с 6 ГБ ОЗУ замечен в GeekBench: Все указывает на то, что это преемник BlackBerry Keyone

Uber заплатила хакерам $100 тыс., чтобы скрыть факт кражи данных 50 млн пользователей: Инцидент произошел в октябре прошлого года7

Ноутбук Asus ROG Strix GL702ZC, оснащенный CPU AMD Ryzen 7 1700 и GPU AMD Radeon RX 580, оценен в $1500: Asus ROG Strix GL702ZC можно заказать в США и в Великобритании16

Ноутбук Microsoft Surface Book 2 в играх разряжается, даже будучи подключенным к розетке: Ноутбук Microsoft Surface Book 2 не подходит в качестве геймерского решения28

Apple купила компанию Vrvana, которая специализируется на технологиях дополненной реальности: Технологии Vrvana могут быть использованы Apple при создании своей собственной гарнитуры или очков дополненной реальности5

Смартфон Xiaomi Mi Mix 3 может получить два экрана, один из которых будет занимать всю лицевую панель: Прототип, определенно, заслуживает внимания14

Xiaomi перестанет обновлять прошивки шести моделей смартфонов: Xiaomi «снимет с довольствования» модели Mi 2/2S, Mi 4i, Redmi Note 4G, Redmi 2, Redmi 2 Prime и Mi Note8

Foxconn снова использовала детский труд для сборки смартфонов Apple: В сборке iPhone X на фабрике Foxconn участвовало 3000 школьников152

Показатели Compal, Foxconn и Inventec будут расти благодаря спросу на умные АС: Inventec уже заявила, что планирует прекратить принимать заказы на производство товаров с низкой маржой

Дизайн смартфона Samsung Galaxy S9 раскрыл производитель чехлов: Первое изображение чехла для Samsung Galaxy S9 указывает на наличие разъёма для наушников7

Samsung улучшит работу сканера радужной оболочки глаза и системы распознавания лиц, но лишь на уровне ПО: Samsung хочет улучшить работу своих биометрических систем идентификации20

В Корее началась программа Upgrade to Galaxy, которая позволяет желающим опробовать Galaxy S8 и Note 8: Плата за месячный тест-драйв составит 45 долларов4

Xiaomi открыла третью фабрику в Индии: В данный момент каждую минуту завод выпускает по 7 аккумуляторов

Meizu может отказаться от использования дополнительного дисплея в своих смартфонах: Кроме того, новинка должна получить дисплей с соотношением сторон 18:9 и узкими рамками вокруг экрана2

Чтобы купить Qualcomm компании Broadcom нужно увеличить своё предложение «всего» на 10 долларов за акцию: При цене в 80 долларов за акцию компания Qualcomm согласится на сделку с Broadcom

30 ноября Samsung Bixby получит поддержку третьего языка: О поддержке русского речь пока не идет

Adata XPG Storm — активная система охлаждения для SSD формата M.2, оснащённая вентилятором с огромной скоростью вращения: СО Adata XPG Storm получила вентилятор и подсветку RGB7

Сервер HPE ProLiant DL385 Gen10 с процессорами AMD Epyc установил два новых мировых рекорда: AMD хвастает достижениями серверов на базе её CPU Epyc3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

1212

Календарь

февраль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать