Cymer начинает поставки источника света для литографии по нормам 45 нм

1174

Компания Cymer, поставщик источников ультрафиолетового излучения для полупроводникового производства, объявила о первой поставке изделия XLA 300. Событие важное - по сути дела, оно знаменует начало нового этапа в производстве: XLA 300 - первый в мире источник света на базе фторида аргона (ArF, длина волны 193 нм) с частотой следования импульсов 6 кГц. Он был разработан для использования в массовом производстве полупроводниковых изделий по технологии иммерсионной фотолитографии с соблюдением норм 45 нм.

Как утверждается в пресс-релизе, частота следования импульсов 6 кГц - максимальная среди источников света такого типа на данный момент. Выходная мощность XLA 300 достигает 60 Вт, что позволяет снизить энергию каждого импульса, одновременно сохранив среднюю мощность излучения. За счет этого сводится к минимуму повреждение оптических материалов самой лампы и проекционной оптики. Высокая частота, кроме того, позволяет точнее дозировать энергию - важное свойство с точки зрения производителей полупроводников, поскольку оно обуславливает точное соблюдение так называемых "критических размеров".

Ожидается, что источник четвертого поколения, основанный на проверенной разработке Cymer Master Oscillator Power Amplifier (MOPA), будет быстро принят рынком, поскольку потребность в таком оборудовании высока - производители торопятся поскорее освоить передовые технологии, укрепляя свои позиции в конкурентной борьбе.

Источник: Cymer

9 ноября 2005

20:17

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Наушники Apple EarPods и AirPods будут лучше держаться в ушной раковине с аксессуаром Dodocool: Цена набора в данный момент составляет 10 долларов

Смартфон Doogee BL7000 получил три датчика изображения Samsung ISOCELL и аккумулятор емкостью 7060 мА•ч: На стадии предзаказа смартфон предлагается по цене 160 долларов

Анонс камеры Nikon D850 ожидается 24 августа: Поставки Nikon D850 могут начаться уже в середине сентября1

Смартфон Samsung Galaxy Note8 «засветился» на сайте производителя: Кроме того, опубликовано два видеоролика с участием Samsung Galaxy Note8

Компания Mercedes-Benz показала роскошный электромобиль Vision Mercedes-Maybach 6 Cabriolet : Запас хода Vision Mercedes-Maybach 6 Cabriolet — 500 км7

Apple продолжает активно расширять офисное пространство, еще не закончив штаб-квартиру Apple Park: С 1998 года штат Apple увеличился на 1500%8

Cмартфон Xiaomi Mi Mix 2 сможет распознавать пользователей по лицам: Анонс Xiaomi Mi Mix 2 ожидается в сентябре2

Передняя панель компьютерного корпуса Sharkoon TG5 изготовлена из закаленного стекла: Корпус Sharkoon TG5 рассчитан на системные платы типоразмера ATX

IP-ядро процессора изображения Pinnacle Denali-MC поддерживает HDR: К достоинствам Denali-MC разработчик относит 16-битное представление данных

Ассортимент EK Water Blocks пополнил водоблок EK-FB GA X299 Gaming RGB Monoblock: Водоблок EK-FB GA X299 Gaming RGB Monoblock стоит 120 евро

Точка доступа EnGenius EAP2200 соответствует спецификации 802.11ac Wave 2: Продажи EAP2200 уже начались по цене $239

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

1212

Календарь

ноябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать