Semicon West: ASML, Nikon и Canon готовы к внедрению иммерсионных технологий в производство

1174

Как мы уже сообщали на прошлой неделе, еще до начала выставки-конференции Semicon West компании ASML и Nikon сделали ряд интересных сообщений, касающихся иммерсионных литографических технологий. Но, разумеется, самое интересное произошло в ходе самой выставки – в гонке за технологическое первенство к ASML и Nikon подключилась Canon и теперь все три компании спешат выпустить на рынок иммерсионные сканеры с числовой апертурой (numerical aperture, NA), равной 1,3. Такие сканеры ожидается применять в производстве полупроводниковых микросхем по 45-нм нормам, что может начаться уже через пару лет.

Итак, напомним, что незадолго до выставки Nikon выступила с сообщением о выпуске сканера с апертурой 1,07, предназначенного для массового производства по 55-нм нормам и выпуска пробных экземпляров с соблюдением 45-нм норм.

В ходе Semicon Nikon обнародовала некоторые детали своего сканера следующего поколения. Названный S6xx, инструмент использует 193-нм источник света, двухступенчатый дизайн и многоосевую катадиоптрическую оптическую систему, числовая апертура которой достигает 1,3. Размеры обрабатываемой области составляют 26х33 мм, и предназначается S6xx для производства микросхем по нормам 45-нм и выше. Как ожидается, доступен он будет в конце 2006 – начале 2007 года.

Чуть ранее, ASML сообщила о готовящемся к выпуску XT1700i – 193-нм иммерсионного сканера с апертурой 1,20, в то же время, есть данные, что компания работает над созданием XT1900i – также 193-нм сканера, но уже со значением NA, равным 1,3. Как и XT1700i, в XT1900i будет использован «двухстадийный» (dual-stage) дизайн и одноосевая катадиоптрическая оптическая система. Как ожидается, XT1900i будет объявлен в конце 2007 года, однако, под давлением со стороны Nikon, ASML будет сжимать сроки выпуска, чтобы не опоздать «к раздаче слонов».

Canon, сохранявшая безмолвие всю прошлую неделю, на Semicon решилась выступить с сообщением о своем первом иммерсионном продукте – 193-нм сканере, выполненном по двухступенчатой архитектуре и с числовой апертурой 1,3. Названный FPA7000, инструмент будет доступен в январе 2007 года.

Любопытно, что если ASML и Nikon взяли на вооружение тактику постепенного наращивания числовой апертуры в каждом новом поколении своих иммерсионных сканеров, то Canon решила «протуннелировать» этот процесс и сразу перейти от «сухих» 193-нм технологий к иммерсии.

Что также нельзя не отметить, так это то, что всем трем разработчикам, после фиаско 157-нм технологий, понадобилось сравнительно немного времени на то, чтобы переориентироваться на иммерсию. Однако, хотя Питер Сильверман (Peter Silverman), директор направления стратегических капиталовложений Intel и доволен прогрессом в этой области, в Intel пока не спешат говорить безоговорочное «да» иммерсионным технологиям и готовы ждать «статистически значимых данных» в течение еще нескольких месяцев.

13 июля 2005

16:01

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Опубликованы официальные изображения смартфона LG V30 и сравнение с предшественниками: Смартфон будет представлен в конце месяца

Motorola запатентовала экран для смартфонов, который сможет восстанавливаться от трещин: Возможно, полимерное покрытие дисплея будет восприниматься на ощупь не так комфортно, как привычное стекло

Ford запатентовала съемные педали и руль для своих будущих автомобилей: Стоит отметить, что пока что это только патент

Безрамочный смартфон Umidigi S2 Pro получит 6 ГБ ОЗУ и аккумулятор емкостью 5100 мА•ч: Umidigi утверждает, что это первый безрамочный смартфон с таким высоким показателем автономности2

Финансовые показатели Cisco снизились: Cisco отчиталась за 2017 финансовый год6

Polaroid представила смартфоны Cosmo K и K Plus, а также планшет Jet C7: Цены не сообщаются1

Продажи смартфонов в Индии в прошлом квартале выросли всего на 1,6% : Лидером рынка Индии продолжает оставаться Samsung3

Масштабное отключение электричества на Тайване не отразилось на производстве новых смартфонов iPhone: Отключение света ощутили жители около 7 млн домов8

В США отзывают аккумуляторы для смартфонов Samsung Galaxy Note 4 из-за риска возгорания: Основанием для начала отзывной кампании послужил всего один случай перегрева, в ходе которого никто не пострадал18

По слухам, умные часы Apple Watch Series 3 поступят в продажу в сентябре: Аналитики уверены, что Apple Watch Series 3 с модемом LTE будут пользоваться большим спросом2

Опубликованы шпионские фото телевизора Apple [Обновлено]: По еще одной версии, это может быть не телевизор, а профессиональный монитор для пользователей Mac7

Анонс Xiaomi Redmi Note 5A намечен на 21 августа: На официальном изображении устройства, которое опубликовали в Weibo, мы видим доступные цветовые варианты

В мониторе ViewSonic VP2785-4K установлена 27-дюймовая панель 4К типа IPS: Рекомендованная цена ViewSonic VP2785-4K — $12003

Компания Jawbone Health Hub собиралась сотрудничать с Microsoft, чтобы заполучить её корпоративных клиентов : Стали известны планы компании Jawbone Health Hub

29 августа MediaTek представит однокристальные системы Helio P23 и Helio P30 : SoC Helio P23 и Helio P30 анонсируют через две недели2

Galax Graphics Card Power Board — внешняя плата для экстремального разгона видеокарт, оснащённая 16-фазной подсистемой питания: Galax представила плату Graphics Card Power Board и стакан для жидкого азота3

Здравоохранение станет основным фактором роста рынка носимой электроники в ближайшем будущем: Рынок носимой электроники будет расти за счёт медицинских возможностей1

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

  • Обзор электрической скороварки Unit USP-1090D: готовим под давлением

  • Обзор материнской платы Gigabyte GA-Z270-Gaming K3 c возможностью подъема напряжения на USB-портах

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать