Главная » Новости » 2005 » 07 » 08 8 июля 2005

ASML сделает иммерсионный сканер еще лучше, чем Nikon

В ответ на сообщение Nikon, заявившей о готовности выпустить иммерсионный сканер с числовой апертурой 1,07, ASML обещает к выставке Semicon West, начинающейся на следующей неделе в Сан-Франциско, представить сканер с числовой апертурой 1,20.

ASML XT1700i, использующий, как и остальные иммерсионные литографические инструменты, источники света на длине волны 193 нм, создан на базе двухступенчатой оптической платформы Twinscan, построенной по одноосной катадиоптрической системе (вместе с линзами в системе присутствует 3-4 рефрактивных элемента-зеркала). Как ожидается, поставки XT1700i начнутся во втором или третьем квартале 2006 года.

Помимо инструментов с апертурой, большей единицы, и ASML, и Nikon сделают доступными для исследовательских целей сканеры с апертурой менее 1,0. Новые иммерсионные сканеры предназначаются для изготовления полупроводниковых микросхем по нормам 45 нм.

ASML уже осуществила поставки нескольких иммерсионных инструментов с апертурой менее единицы нескольким своим клиентам, в том числе Albany Nanotech, Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC). Как полагают наблюдатели, Intel будет закупать иммерсионные сканеры как у ASML, так и у Nikon.

Источник: EE Times

00:05 08.07.2005
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ОПРОС на iXBT.com

Есть ли у Вас внешний аккумулятор (PowerBank)?
июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
2005

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.