Intel и Corning будут делать EUV-маски вместе

ПредыдущаяСледующая
1174

Продолжая развивать идею внедрения ультрафиолетовой литографии (EUV, extreme-ultraviolet), Intel сообщила о начале работы с компанией Corning над EUV-масками, выполненными из стекла Corning, обладающего очень малыми показателями температурного расширения.

Подписание соглашения с Corning руководитель литографического подразделения Intel сравнил еще с одним звеном в длинной цепочке событий, которые должны будут привести к выпуску первых чипов по 32-нм нормам, намеченному на 2009 год. Кстати сказать, для Corning, известной своими линзами, это будет дебют на рынке EUV-масок, на котором уже присутствуют японская Hoya Glass и немецкая Schott Lithotec.

Стоит отметить, что поскольку, в отличие от обычной оптики, в ультрафиолетовой литографии используются рефрактивные методы формирования изображения, дефекты зеркал оказывают решающее влияние на качество литографической системы. При этом если для норм 90 нм SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) определяет нижнюю планку размера маски-бланка, свободного от дефектов, в 150 нм, то для 32-нм норм эта величина составляет всего 50 нм. Требования к качеству полировки полупроводниковой подложки и величин коэффициентов температурного расширения в EUV-литографии также выше, чем в современной литографии.

Кстати, проблемы обеспечения достаточной мощности лазерного излучения также никуда не делись, но в связи с перечисленными выше соображениями отошли на второй план. А ведь ни ASML, ни Nikon, скорее всего, не смогут достичь требуемого уровня в 115 Вт в первом поколении своих сканеров, но обещают достичь его во втором поколении литографических инструментов, которые уже можно будет использовать в массовом производстве.

Помимо Corning, Intel также сотрудничает с Nikon (EUV-сканеры), Cymer (EUV-источники), NaWoTec (электронно-лучевая обработка EUV-масок) и Media Lario (коллекторная оптика).

Не стоит думать, впрочем, что Intel целиком и полностью доверяет только EUV-литографии. Как сообщил представитель компании, Intel продолжит вложение средств в развитие иммерсионной литографии с источниками света на длине волны 193 нм, но если к 2009 году (на который намечено внедрение 32-нм норм в соответствие с роадмэпом ITRS) EUV-инструменты будут доступны, то процессорный гигант не откажется ее использовать.

7 июля 2005 Г.

17:03

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В Денвере хотят построить сеть наземных тоннелей, схожих по своей идее с теми, что строит The Boring Company: В Денвере построят наземный аналог тоннелей The Boring Company21

Компания Wal-Mart уже заказала 15 грузовиков Tesla Semi: Компания Wal-Mart серьёзно заинтересовалась электрическими грузовиками Tesla Semi41

Производство гибких панелей AMOLED опережает спрос: Популярность экранов 18:9 сказалось на спросе на гибкие панели AMOLED3

Простой патч для одной из современных игр позволил повысить производительность Radeon RX Vega 64 на 22%: Radeon RX Vega 64 после патча для Wolfenstein II: The New Colossus обгоняет GTX 1080 Ti17

Tesla выпустила свой портативный аккумулятор для смартфонов: Tesla Powerbank стоит 45 долларов19

E Ink отметила рост всех основных финансовых показателей: E Ink показала отличные финансовые результаты

Компания Broadcom завершила покупку компании Brocade Communications Systems: Новый владелец планирует разделить Brocade

Начало продаж Apple HomePod отложено: Умная АС Apple появится на рынке в 2018 году68

Анонсирован выпуск карты для работы с видео Blackmagic DeckLink 8K Pro: Карта Blackmagic DeckLink 8K Pro предназначена для захвата и вывода видео в разрешении до 8K DCI6

Samsung SM-W2018 может стать первым смартфоном с камерой, объектив которой имеет диафрагму F/1,5: Смартфон будет представлен в Китае 1 декабря этого года19

Представлена клавиатура Zagg Slim Book для iPad Pro с подсветкой клавиш и местом для Apple Pencil: Цена устройства составляет 120 долларов2

OnePlus 5T получит обновление Android 8.O Oreo в начале 2018 года: Разработчики решили изначально оснастить его Android 7.1.1 Nougat5

В понедельник Toshiba примет решение о привлечении зарубежных инвестиций в размере 5 млрд долларов: Эти средства должны помочь Toshiba удержаться на бирже1

По прогнозу DSCC, рынок материалов OLED в ближайшие годы будет расти на 20% в год: К 2022 году он достигнет 2,25 млрд долларов

Опубликован эскиз безрамочного смартфона 360 Mobiles: Компания будет придерживаться устоявшейся традиции, предлагая пользователям смартфоны с впечатляющими характеристиками по привлекательным ценам3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

  • Обзор робота-пылесоса Philips SmartPro Active (FC8822/01) с широкой насадкой TriActive XL

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать