Nikon выпускает литографический сканер с апертурой 1,07

1174

Nikon сообщает о выпуске первого иммерсионного инструмента с числовой апертурой (NA, numerical aperture) более единицы. Использующий 193-нм источник света, NSR-S609B обеспечивает значение NA 1,07 и способен обрабатывать не менее 130 300-мм полупроводниковых пластин в час. Nikon позиционирует новый сканер для выпуска микросхем по 55-нм нормам и тестирования 45-нм технологий.

Таким образом, с выпуском S609B у Nikon, намекавшей на скорый выпуск этого устройства на конференции SPIE Microlithography Conference, появился шанс немного обойти своих конкурентов ASML и Canon, на рынке оборудования для иммерсионной литографии.

В ответ ASML собирается представить сканер 1700i, также обеспечивающий апертуру более единицы, но, скорее всего, как и Canon, не успеет начать его поставки до конца этого года.

Nikon, в свою очередь, подчеркивает, что была первой, кто начал поставки систем с числовой апертурой 0,85 для производства по 90-нм нормам. Помимо высокой апертуры, S609B интересен еще и тем, что в нем использована технология «локального заполнения» (local fill – водой, надо полагать) и двухступенчатая конструкция, позволяющая добиться высокой скорости обработки подложек. На первой ступени происходит экспозиция пластин, на второй – калибровка. Ошибка при нанесении литографических рисунков не превышает 7 нм.

Что касается «локального заполнения», то эта технология, помимо скорости обработки 500 мм/с, позволяет избежать загрязнения обратной поверхности пластины и появления других неприятных эффектов, например, микропузырьков. Наконец, еще одна изюминка нового сканера – система подсветки Polano, в которой используется поляризованный свет. Утверждается, что контрастность изображений Polano на 20% выше, чем в системах с неполяризованным светом.

Ожидается, что поставки S609B начнутся во второй половине текущего года.

1 июля 2005

00:05

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

По оценке IC Insights, в этом году капитальные вложения в полупроводниковое производство вырастут не меньше, чем на 20%: Лидером отрасли по капвложениям является Samsung

Samsung подтвердила факт разработки конкурента Apple HomePod и Amazon Echo: «Возможно, мы анонсируем колонку в ближайшее время, — отметил Донджин Кох. — Я уже принимаю участие в ее разработке»1

Анонс смартфона Google Pixel 2, оснащенного SoC Snapdragon 836, запланирован на 5 октября: Snapdragon 836 будет отличаться от Snapdragon 835 повышенной частотой работы ядер1

Массив AccelStor NeoSapphire H710 включает 48 твердотельных накопителей: К областям применения NeoSapphire H710 производитель относит облачные и суперкомпьютерные вычисления1

Поставки смартфонов Xiaomi в третьем квартале 2017 могут достигнуть 30 млн единиц: Активный выпуск новых моделей смартфонов позволит Xiaomi в третьем квартале отгрузить от 25 до 30 млн мобильных устройств

Система воздушного охлаждения Arctic Freezer 33 Penta оценена производителем в 46 евро: Через основание Freezer 33 Penta проходят четыре медные тепловые трубки

Поставки настольных ПК HP за год сократились на 3%: Компания HP опубликовала отчет за третий квартал 2017 финансового года

Представлен смартфон YotaPhone 3 стоимостью 21 500 руб.: Объем оперативной памяти составляет 4 ГБ, флэш-памяти может быть 64 или 128 ГБ7

Мобильные операторы сообщают, что анонс iPhone 8 состоится 12 сентября: Apple должна подтвердить дату проведения пресс-конференции в ближайшие дни10

Смартфон Lamborghini Alpha-One оценен в $2450 : Lamborghini Alpha-One оснащен усилителем и ЦАП, а также двумя громкоговорителями и поддержкой Dolby Atmos6

Представлена камера Nikon D850: Рекомендованная производителем цена новинки примерно равна $330018

Опубликовано изображение, на котором сравниваются Xiaomi Mi Mix, Xiaomi Mi Mix 2 и Samsung Galaxy S8: Анонс Xiaomi Mi Mix 2 может состояться в сентябре3

Беспроводная гарнитура Meizu EP52 оценена в $45: Гарнитура защищена от попадания влаги в соответствии с требованиями класса IPX5

Надписи на клавишах клавиатуры Cherry MX Board 5.0 выполнены эксклюзивным шрифтом: Цена новинки — 159 евро6

Предыдущие владельцы Galaxy Note7 могут сэкономить при покупке Note8 до $425: Акция ограничена онлайновым магазином Samsung в США19

Описание умного браслета Samsung Gear Fit2 Pro замечено на сайте производителя: О цене официальной информации пока нет

1318

iXBT TV

  • Обзор изогнутого монитора Samsung C24FG70FQI с поддержкой AMD FreeSync и частоты 144 Гц

  • Электро-Maybach, топовая Nokia и действительно оригинальный смартфон

  • Обзор видеоускорителя AMD Radeon RX Vega 64

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

1212

Календарь

июль
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать