High-k в 45-нм нормах – быть!

ПредыдущаяСледующая
1174

Консорциум производителей полупроводниковых микросхем Sematech сообщает о достижении новых показателей подвижности носителей электрического заряда в транзисторах, созданных с использованием high-k диэлектриков (с высокой диэлектрической проницаемостью) под металлическими затворами. Согласно ожиданиям Sematech, последние достижения делают возможным использование high-k диэлектриков в КМОП-процессах с соблюдением 45-нм норм.

Напомним, что до недавних пор излюбленным материалом, используемым в качестве диэлектрика в полевых транзисторах, была двуокись кремния (кварц). Однако, при уменьшении размеров транзисторов был обнаружен ряд паразитных эффектов, связанных с тем, что увеличился ток утечки, а емкость уменьшилась, приводя к увеличению влияния флуктуаций заряда на проводимость транзистора. Диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью допускают большую толщину изолирующего слоя при той же или большей емкости затвора.

Одними из наиболее вероятных кандидатов на внедрение в качестве high-k материала являются соединения оксидов металлов с гафнием. Однако, проблемы интеграции таких материалов в производственный процесс не решены до сих пор.

Поэтому, сообщение Sematech об использовании нитрида титана (TiN) в качестве материала затвора на слое изолятора из силиката гафния (HfSiO) позволяет надеяться, что эти проблемы могут быть решены в обозримом будущем. Утверждается, что подвижность носителей заряда в затворе толщиной около 10 ангстрем составляет 90% от подвижности носителей заряда на универсальной кривой подвижности, определенной для кварца. Толщина и подвижность носителей заряда соответствуют спецификациям 45-нм технологических норм ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors).

26 апреля 2005 Г.

16:05

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

BMW отзывает все автомобили BMW i3 и временно прекращает продажи модели: Продажи автомобиля будут возобновлены, когда BMW внесет необходимые изменения в конструкцию1

По подсчетам IDC, в первом полугодии рынок бизнес-сервисов и IT-сервисов вырос на 4,0%: В денежном выражении он достиг 475 млрд долларов

На сайте Samsung появилась страница, имеющая отношение к смартфону Galaxy X со сгибающимся экраном: Вариант Samsung Galaxy X для южнокорейского рынка носит индекс SM-G888N0 4

В десятку лучших устройств этого года по версии Time вошли Nintendo Switch, iPhone X, Galaxy S8 и Apple Watch Series 3: Первое место досталось инновационной игровой консоли Nintendo Switch7

Продажи ноутбуков в Индии более чем удвоились всего за квартал: Индийский рынок ПК растет на фоне сокращения мирового рынка

Представлена АС Amazon All-new Echo Product (RED) edition: Начало продаж запланировано на 6 декабря этого года1

Смартфон OnePlus 5 скоро исчезнет из продажи: Сегодня в продажу поступает смартфон OnePlus 5T1

Toshiba выпустит акции на 5,4 млрд долларов, так что продажа полупроводникового производства становится необязательной: Риск, что Toshiba снимут с торгов на токийской бирже, будет устранен1

Samsung представила Galaxy S8 в красном цвете перед появлением iPhone X в Южной Корее: Три корейских мобильных оператора подтвердили, что iPhone X был распродан по предварительным заказам буквально за несколько минут28

Следующий хромбук Samsung может получить отсоединяемую клавиатуру: Новинка должна поступить в продажу в следующем году4

Oukitel K5 предложит безрамочный дизайн и емкий аккумулятор при цене $100 : В продажу смартфон поступит в начале декабря

Фотография смартфона Samsung Galaxy A7 (2018) демонстрирует сдвоенную фронтальную камеру: Выход смартфона ожидается в начале следующего года

В продажу поступила гарнитура Razer Hammerhead iOS Mercury Edition: Цена наушников составляет 100 долларов1

Смартфон Xiaomi Mi Note 3 стал более доступным, правда и объем ОЗУ тоже уменьшился: Все остальные характеристики устройства остались неизменными1

Uber приобретёт у Volvo 24 000 кроссоверов XC90 для создания автопарка беспилотных машин: Volvo предоставит Uber 24 000 автомобилей XC907

Ноутбук Surface Book 2 пополнил список неремонтопригодных устройств Microsoft: Ноутбук Surface Book 2 получил iFixit один балл10

997
1318

iXBT TV

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

1212

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать