High-k в 45-нм нормах – быть!

1174

Консорциум производителей полупроводниковых микросхем Sematech сообщает о достижении новых показателей подвижности носителей электрического заряда в транзисторах, созданных с использованием high-k диэлектриков (с высокой диэлектрической проницаемостью) под металлическими затворами. Согласно ожиданиям Sematech, последние достижения делают возможным использование high-k диэлектриков в КМОП-процессах с соблюдением 45-нм норм.

Напомним, что до недавних пор излюбленным материалом, используемым в качестве диэлектрика в полевых транзисторах, была двуокись кремния (кварц). Однако, при уменьшении размеров транзисторов был обнаружен ряд паразитных эффектов, связанных с тем, что увеличился ток утечки, а емкость уменьшилась, приводя к увеличению влияния флуктуаций заряда на проводимость транзистора. Диэлектрики с высокой диэлектрической проницаемостью допускают большую толщину изолирующего слоя при той же или большей емкости затвора.

Одними из наиболее вероятных кандидатов на внедрение в качестве high-k материала являются соединения оксидов металлов с гафнием. Однако, проблемы интеграции таких материалов в производственный процесс не решены до сих пор.

Поэтому, сообщение Sematech об использовании нитрида титана (TiN) в качестве материала затвора на слое изолятора из силиката гафния (HfSiO) позволяет надеяться, что эти проблемы могут быть решены в обозримом будущем. Утверждается, что подвижность носителей заряда в затворе толщиной около 10 ангстрем составляет 90% от подвижности носителей заряда на универсальной кривой подвижности, определенной для кварца. Толщина и подвижность носителей заряда соответствуют спецификациям 45-нм технологических норм ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors).

26 апреля 2005

16:05

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Процессоры Intel Core восьмого поколения не будут дороже актуальных CPU: Intel не поднимет цены на CPU при выходе Coffee Lake

AMD пока не может гарантировать наличия в магазинах видеокарт Radeon RX Vega 64 по рекомендованным ценам: AMD призналась в дефиците карт Vega

Смартфон Xiaomi Redmi Note 5A первым в серии получит два выделенных слота для SIM-карт и слот для карты памяти: Одна из версий Xiaomi Redmi Note 5A получит фронтальную камеру разрешением 16 Мп со светодиодной вспышкой

Hyundai сконцентрируется на электромобилях вместо машин на топливных элементах : Hyundai увеличит объёмы выпуска электромобилей

Samsung Pay отмечает два года, сумма платежей составила $8,77 млрд: Samsung Pay в данный момент работает в 18 странах мира

Samsung готовится к глобальному запуску Bixby: Персональный помощник по-прежнему недоступен во многих странах мира

Умные кроссовки Xiaomi Free Tie Leather оценены в $30: Кроссовки оснащены светодиодной подсветкой, процессором, а также модулем Bluetooth 4.0

Семейство 3D-карт Colorful iGame Vulcan X пополнили модели GTX 1080 Ti, GTX 1080, GTX 1070 и GTX 1060: Общей чертой этих 3D-карт является система охлаждения, в кожух которой встроен жидкокристаллический индикатор

Конструкция компьютерного корпуса Thermaltake View 71 Tempered Glass Edition включает четыре панели из закаленного стекла: Цену новинки производитель не называет1

ВИКТОРИНА ASUSTOR

Процессор с какой архитектурой установлен в ASUSTOR AS6302T, благодаря которому производительно выросла на 30% по сравнению с прошлым поколением?
1318

iXBT TV

  • Обзор легкой, компактной и дешевой мясорубки Kitfort KT-2101 Carnivora

  • Обзор беззеркальной фотокамеры Fujifilm X-T20

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора BenQ W11000 с эмуляцией разрешения 4К

  • AMD Ryzen Threadripper 1920Х и 1950X — тестирование 12-ядерного и 16-ядерного процессоров

  • Обзор мини-ПК ECS Liva Z на базе процессора Apollo Lake

  • Самый лучший процессор, неудачи Microsoft, гибкие наушники Samsung

  • Обзор цветного МФУ Xerox VersaLink C405 для малых и средних офисов

  • Обзор умного чайника Redmond SkyKettle RK-G200S с подсветкой и нагревом воды до нужной температуры

  • Конфигурируем мини-ПК: изучаем влияние памяти и накопителя на быстродействие системы

  • 3D-карты AMD Radeon RX Vega, цены, спецификации, смартфон Meizu Pro 7

  • Обзор лазерного цветного МФУ Canon imageRunner Advance C3520i, младшего в новой линейке

  • Обзор робота-пылесоса iBoto Aqua V710 с функцией влажной уборки

1212

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать