Электронно-лучевая литография – в фокусе Maskless Meeting

ПредыдущаяСледующая
1174

Как мы уже сообщали, у исследователей есть серьезные опасения по поводу того, сможет ли промышленность преодолеть рубеж в 45 нм. Решению этого вопроса, отчасти, была посвящена конференция Maskless Meeting, на которой IMS Nanofabrication и Leica Microsystems представили электронно-литографический инструмент, позволяющий создавать рисунки с соблюдением норм 45 нм и менее.

Названный PLM-2, инструмент построен на базе текущей электронно-лучевой платформы Leica SB350DW. Утверждается, что разрешающая способность инструмента составляет 4 млн. точек. Испущенные 5-КэВ электронной пушкой с начальным диаметром пучка 1 мм, электроны разгоняются до энергий в 100 КэВ, а диаметр точки составляет не более 180 нм. Как ожидается, прототип PLM-2 будет готов к концу 2006 года, начало выпуска промышленных инструментов ожидается в 2008 году.

Еще одно интересное сообщение на Maskless Meeting сделала компания Novelx, сообщившая о разработке технологии монолитных керамических MEMS (micro electromechanical system) модулей для электронно-лучевой литографии. Каждый модуль содержит по четыре TF-излучателя, на выходе которых можно получать пучки электронов с энергией 1 КэВ.

Далее, Novelx предложила объединять модули с излучателями в массивы 12х12 для использования их в многолучевых электронно-лучевых литографических инструментах. При этом достигается достаточно высокая производительность – от 1 до 5 300-мм пластин в час, а размер элемента, как уже было сказано выше, может составлять до 45 нм.

19 января 2005 Г.

10:55

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В базе данных ЕЭК замечены камеры Canon EOS 2000D, 3000D, 4000D и M50: Выпуск камер Canon EOS 2000D, 3000D, 4000D и M50 можно ожидать в начале будущего года

Смартфоны Google Pixel научились более точно прогнозировать время работы без подзарядки: Прогноз по времени работы вы найдете в соответствующем разделе настроек смартфона

Цена грузовика Tesla Semi приятно удивила специалистов: В продажу Tesla Semi поступит в 2019 году9

Назван срок «ожидаемой доступности» объектива Sony FE 400mm F2.8 GM OSS: К сожалению, цена новинки пока остается неизвестной4

Обновление BIOS для системных плат ASUS подтвердило скорый выход процессоров Raven Ridge и Pinnacle Ridge: Выход этих процессоров ожидается не позднее февраля 2018 года

Агроэлектризация: в Германии представлен электрический трактор Fendt e100 Vario: Массовое производство Fendt e100 Vario начнется только через год37

Samsung Electronics создаст центр разработки искусственного интеллекта: Где будет расположен новый исследовательский центр — пока неизвестно10

Беззеркальная камера Leica CL оснащена электронным видоискателем и поддерживает запись видео 4K: Leica CL на родине оценена в 2500 евро7

В Бразилии цена iPhone X начинается с отметки $2170: Столь высокая цена в Бразилии, в частности, объясняется 60-процентным налогом на импортированные товары стоимостью до $3000 17

Экран смартфона Samsung Galaxy S9 будет занимать 90% лицевой панели: Автор слуха утверждает, что нижняя рамка дисплея смартфона практически полностью исчезнет50

Цены на оперативную память увеличатся на 10-15% в текущем квартале: Компании Nanya Technology и Winbond Electronics благодаря росту цен на оперативную памяти смогли попасть в пятерку лучших поставщиков DRAM6

Consumer Report поставила максимальные 100 баллов кухонным плитам Samsung: Обозреватели, в частности, выделили светодиодную систему виртуального пламени, которая имитирует горение газовой конфорки40

Работа камеры OnePlus 5T будет улучшена при помощи обновления ПО: К сожалению, сроки выпуска обновления пока не сообщаются2

Бюджетный смартфон Uhans i8 получил систему распознавания лиц пользователей: Цена Uhans I8 составляет 130 долларов

Экшн-камера MGCool Explorer 3 будет поддерживать запись видео разрешением 4К при 30 к/с: При помощи специального чехла камера сможет выдерживать погружения на глубину до 30 м2

Eluga C — первый «полноэкранный» смартфон Panasonic: Над дисплеем находится только вырез громкоговорителя, а фронтальная камера переместилась на нижнюю панель6

Смартфон 360 N6 Pro может получить второй экран и два дактилоскопических датчика: Анонс новинки состоится 28 ноября4

Производитель называет Vernee Active лучшим защищенным смартфоном на рынке: Vernee Active оснащен аккумулятором емкостью 4200 мА•ч, разъемом USB-С, модулем NFC, поддерживается 18-ваттная быстрая зарядка5

997
1318

iXBT TV

  • Обзор проекционного документ-сканера Doko BS16

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

1212

Календарь

январь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать