Главная » Новости » 2004 » 09 » 15 15 сентября 2004

Погружение в твердое тело или как литографии обойтись без фотомасок

Как мы уже сообщали, Lucent по поручению DARPA (Defense Advanced Research Projects Agency) начала работу над безмасочной литографией. Однако, исследователи из Университета штата Аризона утверждают, что уже продвинулись в этом направлении со своей «иммерсией в твердое тело» (в оригинале — solid immersion).

С помощью этой технологии, говорят ученые, возможно создание литографических инструментов с эквивалентной числовой апертурой 2,3-2,4 (теоретический предел — 3,4) и нанесение рисунков размером в 20 нм.

Детали своей технологии исследователи обнародуют сегодня, но уже известно, что «иммерсия в твердое тело», конечно же, не более чем метафора, обозначающая использование массива наноскопических зондов, аналогичных по принципу действия зонду атомно-силового микроскопа. Важно отметить, что новая технология позволяет наносить литографические рисунки (patterns) без необходимости применения фотомасок.

Источник: PC Watch

01:30 15.09.2004
Оценить новость

Не работают комментарии или голосования? Читайте как почистить куки



ВИКТОРИНА MICROLAB

В каком году была основана компания Microlab?
сентябрь
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
2004

Нашли ошибку на сайте? Выделите текст и нажмите Shift+Enter

Код для блога бета

Выделите HTML-код в поле, скопируйте его в буфер и вставьте в свой блог.