Intel: первые пробы EUV-литографии

ПредыдущаяСледующая
1174

Intel сообщила сегодня о том, что установила на своем производстве ультрафиолетовый (EUV) литографический инструмент разработки Exitech. В инструменте используется источник света длиной волны 13,5 нм (жесткий ультрафиолет), что дает возможность создавать изолированные линии шириной 30 нм. В данный момент EUV-литографический инструмент используется для тестирования фоторезистов и фотомасок.

Как мы уже неоднократно сообщали ранее, Intel планирует использовать EUV-литографию для изготовления полупроводниковых микросхем по нормам 32 нм к 2009 году. Прогресс в разработке технологии на текущем этапе тестирования компания относит к path-finding (поиск пути), после чего должен будет наступить этап внедрения в массовое производство.

Главная проблема EUV-литографии заключается в том, что в этом диапазоне длин волн (около 13,5 нм) большинство используемых в обычной оптике материалов излучение поглощают хорошо, в связи с чем подложки приходится помещать в вакуум. Кроме того, вместо рефрактивной оптики для фокусирования 13,5-нм света используется рефлективная. Собирающие зеркала изготовлены с напылением 40 слоев кремния и молибдена. Размер обрабатываемой области составляет около 600 кв. мкм.

2 августа 2004 Г.

15:15

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

Apple запатентовала еще одно устройство со сгибающимся дисплеем: Apple действительно прорабатывает различные прототипы сгибающегося iPhone3

Безрамочный смартфон 360 N6 Pro, оснащенный SoC Snapdragon 660 и 6 ГБ ОЗУ, набрал более 110 тыс. баллов в AnTuTu: Смартфон должны представить 28 ноября

Meiigoo Note8 внешне копирует Samsung Galaxy Note8, при этом смартфон оснащен системой распознавания лиц пользователей: Смартфон получил дисплей с соотношением сторон 18:9, сдвоенную камеру и дактилоскопический датчик на задней панели1

Подводный бокс Nauticam NA-G9 предназначен для камеры Panasonic Lumix DC-G9: Бокс с каталожным номером 17715 оценен производителем в $26502

Смартфон Google Pixel 2 XL хотя бы в тестах JerryRigEverything показал себя лучше младшей модели: Смартфон Google Pixel 2 XL не трескается при попытке его согнуть7

Блок питания FSP FSP2000-A0AGPBI мощностью 2000 Вт имеет сертификат 80 Plus Platinum: Кабельная система FSP2000-A0AGPBI — полностью модульная10

Представлена системная плата Gigabyte X299 Aorus Gaming 7 Pro: Цену новинки производитель не называет8

Asus готовит ноутбук-трансформер TP370QL на платформе Snapdragon и под управлением Windows 10: Asus TP370QL получит 13-дюймовый дисплей7

В базе данных ЕЭК замечены камеры Canon EOS 2000D, 3000D, 4000D и M50: Выпуск камер Canon EOS 2000D, 3000D, 4000D и M50 можно ожидать в начале будущего года3

997
1318

iXBT TV

  • Обзор гладильного пресса MIE Romeo II для глажения постельного белья и одежды простых форм

  • Робот-гимнаст, неудачи Microsoft, переносы Apple, электрический трактор

  • Обзор проекционного документ-сканера Doko BS16

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

1212

Календарь

август
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать