TSMC готова выпускать 45-нм чипы без иммерсии?

ПредыдущаяСледующая
1174

Как мы уже сообщали в самом начале этого года, иммерсионная литография с применением источников света длиной волны 193 нм предоставляет промышленникам ряд перспектив по масштабированию полупроводниковых микросхем – в частности, есть подтвержденное экспериментальными данными мнение, что с помощью иммерсионных 193-нм инструментов вполне можно выпускать чипы по нормам 35 нм. Однако поданным наших коллег из Silicon Strategies, тайваньская TSMC на предстоящем в июне симпозиуме VLSI Technology and Circuits должна будет представить о своих соображениях по поводу возможности использования 193-нм литографического оборудования для изготовления микросхем по 45-нм нормам. По сведениям источника, TSMC разработала технологию создания планарных транзисторов по технологии SOI (silicon-on-insulator, кремний на диэлектрике) с использованием 193-нм сканера с числовой апертурой 0,85.

Утверждается, что новый технологический процесс мало чем отличается от 65-нм SOI со слегка уменьшенным размером затвора и толщиной слоя полупроводника на изоляторе. По традиции, в качестве примера приводится созданная по новой технологии шеститранзисторная ячейка SRAM, размер которой составляет 0,296 кв. мкм. Что любопытно, в анонсе доклада TSMC ничего не говорится об использовании иммерсии, да и числовая апертура является характерной для «сухих» инструментов, так что, возможно, здесь обошлось без погружения полупроводника в воду. Из остальных изюминок технологии отметим планарность – не требуется трехмерных ухищрений (к примеру, finFET) и ставшее обычным использование техники «напряженного кремния» (создания механических напряжений в полупроводнике для улучшения подвижности носителей заряда). Длина транзистора составляет около 30 нм, напряжение питания от 0,6 В (для SRAM) до 0,85-1,0 В.

Тем временем на производственном фронте дела компании идут настолько хорошо, что TSMC вынуждена передать часть контрактов по выпуску чипов на 150-мм пластинах Mosel Vitelic на субподрядной основе. По всей видимости, начавшаяся еще в конце прошлого года перегрузка производственных мощностей, приведшая к одно-двухмесячным задержкам в отгрузке готовой продукции, начала компании надоедать. Отчасти, TSMC приходится компенсировать недостаточную производительность своего завода Fab 2 (в январе ожидалось, что его производительность составит 216000 150-мм пластин в месяц, но до сих пор удалось выполнить лишь 60% заказов). Mosel Vitelic будет выпускать микросхемы контроллеров ЖК-дисплеев и чипы стабилизации напряжения питания.

По материалам Silicon Strategies и The Digi Times

2 апреля 2004 Г.

12:46

Ctrl
ПредыдущаяСледующая

Все новости за сегодня

В лондонских автобусах будет использоваться биотопливо B20 на основе кофе : Лондонские автобусы будут использовать в качестве топлива кофе14

Смартфону Apple iPhone SE 2 приписывают параметры iPhone 7 и дизайн iPhone 5: Apple iPhone SE 2 может появиться весной 49

В мобильных сетях на долю Android приходится почти 70% заражений вредоносным ПО: iOS почти не подвержена вирусным атакам22

Аналитики прогнозируют рост спроса на плоские панели: Спрос на плоские панели в следующем году покажет существенный рост1

Представлен смартфон Vivo V7 с 24-мегапиксельной фронтальной камерой: Цена новинки составляет около 290 долларов4

Polaroid обвиняет Fujifilm в нарушении прав на квадратные фотографии: И требует многомиллионную компенсацию17

«Заряженная» версия нового Tesla Roadster будет еще более динамичной: Очевидно, что мы услышим еще много обещаний, только проверить их тестеры смогут не раньше 2020 года15

Apple открыла центр для посетителей в своей новой штаб-квартире: Сама территория Apple Park продолжает достраиваться и облагораживаться7

Ученые создали кевларовую хрящевую ткань: Ученые уже провели ряд испытаний, доказав прекрасные характеристики нового материала8

Опубликованы фотографии прототипа смартфона Aurora: Возможно, это Huawei P11 Plus или Nova 34

Promise Technology выпустила хаб с пятью разъемами USB-A, двумя Thunderbolt 3 и слотом для карт памяти SD: Стоит такой аксессуар внушительные 249 долларов9

Смартфон Samsung Galaxy S9 набрал 7787 баллов в Geekbench: В однопоточном тесте результат составил 2680 баллов, в многопоточном устройство набрало 7787 баллов44

Гарнитура Razer Hammerhead получила разъем USB-C: Новинка стоит 80 долларов6

В Германии запретили детские умные часы: В частности, сообщается, что родители подслушивают, что именно говорят учителя на занятиях81

Ulefone Power 3 станет первым долгоиграющим смартфоном, который получит Android 8.1 Oreo из коробки: Выход Ulefone Power 3 ожидается в декабре

Принята спецификация, описывающая оптоволоконное подключение длиной до 2 км, поддерживающее скорость 400 Гбит/с: Такие соединения предназначены для использования в вычислительных центрах

Моноблок Apple iMac Pro получит SoC A10 Fusion для реализации возможности запуска Siri посредством лишь голосовой команды: Моноблок Apple iMac Pro будет постоянно слушать пользователя24

Карманный прибор PocketLab Air позволяет следить за загрязнением атмосферы: PocketLab Air измеряет уровень CO2, озона и твердых частиц7

Смартфоны OnePlus 3 и OnePlus 3T уже начали получать обновление до Android 8.0: Смартфоны OnePlus 3 и OnePlus 3T начали обновляться до Android Oreo

997
1318

iXBT TV

  • Обзор материнской платы Z370 Aorus Gaming 7 под процессоры Coffee Lake

  • Обзор аккумуляторной дрели-шуруповерта Bosch GSR 12V-15 FC Professional

  • Заводские экзоскелеты, обновление Firefox, слишком умные наушники

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 3: стенд группы компаний РСК

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 2: стенд Intel

  • Репортаж с конференции Supercomputing 2017 (SC17), день 1: рейтинг Top500

  • Обзор кинотеатрального DLP-проектора LG PF1000U со встроенным ТВ-тюнером

  • Камера Panasonic G9, унитазный робот, игровой смартфон, кепка для водителей

  • Обзор портативной беспроводной колонки Sven PS-460

  • Обзор напольного пылесоса Tefal Silence Force 4A TW6477 с одноразовыми мешками для сбора мусора

  • Обзор сверхширокоугольного зум-объектива Canon EF 16-35mm f/2.8L III USM

  • Обзор изогнутого 34-дюймового IPS-монитора LG 34UC99 с соотношением сторон 21:9 и белым корпусом

1212

Календарь

апрель
Пн
Вт
Ср
Чт
Пт
Сб
Вс

Рекомендуем почитать